Lakoko ilana epitaxy alakoso oru (VPE), ipa ti pedestal ni lati ṣe atilẹyin sobusitireti ati rii daju alapapo aṣọ nigba ilana idagbasoke. Awọn oriṣiriṣi awọn pedestals jẹ o dara fun awọn ipo idagbasoke oriṣiriṣi ati awọn eto ohun elo. Atẹle jẹ diẹ ninu awọn oriṣi pedestal ti o wọpọ ni ipele oruapọju:
Agba pedestal
Awọn pedestals Barrel jẹ lilo nigbagbogbo ni petele tabi tilted oru fase epitaxy awọn ọna ṣiṣe. Wọn le di sobusitireti mu ati gba gaasi laaye lati ṣan lori sobusitireti, eyiti o ṣe iranlọwọ lati ṣaṣeyọri idagbasoke epitaxial aṣọ.
Ẹ̀sẹ̀ tí ó ní ìrísí disiki (ipilẹ̀ inaro)
Awọn pedestal ti o ni apẹrẹ disiki jẹ o dara fun awọn eto epitaxy alakoso oru inaro, ninu eyiti a gbe sobusitireti ni inaro. Apẹrẹ yii ṣe iranlọwọ lati dinku agbegbe olubasọrọ laarin sobusitireti ati alailagbara, nitorinaa idinku pipadanu ooru ati ibajẹ ti o pọju.
Ifarahan petele
Awọn alailagbara petele ko wọpọ ni epitaxy alakoso oru, ṣugbọn o le ṣee lo ni diẹ ninu awọn eto idagbasoke kan pato lati gba idagbasoke epitaxial ni itọsọna petele.
Alailagbara ifaseyin epitaxial monolithic
Susceptor monolithic epitaxial ifura jẹ apẹrẹ fun sobusitireti ẹyọkan, eyiti o le pese iṣakoso iwọn otutu kongẹ diẹ sii ati ipinya igbona to dara julọ, o dara fun idagba ti awọn ipele epitaxial didara ga.
Kaabọ si oju opo wẹẹbu wa fun alaye ọja ati ijumọsọrọ.
Oju opo wẹẹbu wa: https://www.vet-china.com/
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-30-2024