Ohun elo ti awọn ohun elo ohun alumọni carbide ni aaye semikondokito

Ohun elo ti o fẹ fun awọn ẹya pipe ti awọn ẹrọ fọtolithography

Ni aaye semikondokito,ohun alumọni carbide seramikiAwọn ohun elo ni a lo ni akọkọ ni ohun elo bọtini fun iṣelọpọ iyika iṣọpọ, gẹgẹbi tabili ohun alumọni carbide worktable, awọn afowodimu itọsọna,reflectors, seramiki afamora Chuck, apá, lilọ disiki, amuse, ati be be lo fun lithography ero.

Silikoni carbide seramiki awọn ẹya arafun semikondokito ati opitika ẹrọ

● Silikoni carbide seramiki lilọ disiki. Ti disiki lilọ ba jẹ irin simẹnti tabi irin erogba, igbesi aye iṣẹ rẹ kuru ati imugboroja igbona rẹ tobi. Lakoko sisẹ awọn ohun alumọni ohun alumọni, paapaa lakoko lilọ iyara giga tabi didan, yiya ati abuku gbona ti disiki lilọ jẹ ki o ṣoro lati rii daju filati ati afiwera ti wafer silikoni. Disiki lilọ ti a ṣe ti awọn ohun elo ohun alumọni carbide ni lile giga ati yiya kekere, ati imudara imugboroja igbona jẹ ipilẹ kanna bi ti awọn wafers ohun alumọni, nitorinaa o le jẹ ilẹ ati didan ni iyara giga.
● Silicon carbide seramiki imuduro. Ni afikun, nigbati awọn ohun alumọni silikoni ti wa ni iṣelọpọ, wọn nilo lati faragba itọju igbona otutu-giga ati nigbagbogbo gbigbe ni lilo awọn ohun elo ohun alumọni carbide. Wọn jẹ sooro ooru ati ti kii ṣe iparun. Erogba ti o dabi Diamond (DLC) ati awọn aṣọ ibora miiran le ṣee lo lori dada lati mu iṣẹ ṣiṣe pọ si, dinku ibajẹ wafer, ati ṣe idiwọ ibajẹ lati tan kaakiri.
● Silikoni carbide worktable. Gbigba tabili iṣẹ ni ẹrọ lithography gẹgẹbi apẹẹrẹ, tabili iṣẹ jẹ iduro pataki fun ipari iṣipopada ifihan, nilo iyara giga, ọgbẹ-nla, iwọn mẹfa-ominira nano-ipele ultra-konge gbigbe. Fun apẹẹrẹ, fun ẹrọ lithography pẹlu ipinnu ti 100nm, išedede agbekọja ti 33nm, ati iwọn laini kan ti 10nm, deede ipo ipo iṣẹ ni a nilo lati de 10nm, iboju-boju-silicon wafer ni igbakanna ati awọn iyara ọlọjẹ jẹ 150nm/s ati 120nm / s ni atele, ati iyara ibojuwo iboju jẹ isunmọ si 500nm/s, ati pe tabili iṣẹ ni a nilo lati ni deede išipopada giga ati iduroṣinṣin.

Aworan atọka ti tabili iṣẹ ati tabili išipopada micro (apakan apakan)

● Silicon carbide seramiki square digi. Awọn paati bọtini ninu ohun elo iyika iṣọpọ bọtini gẹgẹbi awọn ẹrọ lithography ni awọn apẹrẹ eka, awọn iwọn eka, ati awọn ẹya iwuwo fẹẹrẹ ṣofo, ti o jẹ ki o nira lati mura iru awọn paati seramiki ohun alumọni carbide. Lọwọlọwọ, awọn aṣelọpọ ohun elo iyika ohun elo agbaye ti kariaye, gẹgẹ bi ASML ni Fiorino, NIKON ati CANON ni Japan, lo iye nla ti awọn ohun elo bii gilasi microcrystalline ati cordierite lati ṣeto awọn digi onigun mẹrin, awọn paati pataki ti awọn ẹrọ lithography, ati lilo ohun alumọni carbide awọn ohun elo amọ lati mura awọn paati igbekalẹ iṣẹ ṣiṣe giga miiran pẹlu awọn apẹrẹ ti o rọrun. Bibẹẹkọ, awọn amoye lati Ile-iṣẹ Iwadi Awọn ohun elo Ohun elo Ilu China ti lo imọ-ẹrọ igbaradi ohun-ini lati ṣaṣeyọri igbaradi ti iwọn-nla, apẹrẹ-eka, iwuwo fẹẹrẹ pupọ, awọn digi square seramiki ohun alumọni ohun alumọni ti o ni kikun ati awọn ẹya igbekalẹ ati awọn ẹya opiti iṣẹ ṣiṣe fun awọn ẹrọ lithography.