Awọn ibeere ile-iṣẹ semikondokito ti awọn ibeere ohun elo graphite jẹ giga paapaa, iwọn patiku to dara ti graphite ni pipe to gaju, resistance otutu otutu, agbara giga, pipadanu kekere ati awọn anfani miiran, bii: awọn ọja graphite sintered m.Nitori awọn ohun elo graphite ti a lo ninu ile-iṣẹ semikondokito (pẹlu awọn igbona ati awọn kuku sintered wọn) nilo lati koju alapapo ati awọn ilana itutu agbaiye leralera, lati faagun igbesi aye iṣẹ ti ohun elo graphite, o nilo nigbagbogbo pe awọn ohun elo graphite ti a lo ni iṣẹ iduroṣinṣin. ati ooru sooro ikolu iṣẹ.
01 Awọn ẹya ẹrọ Graphite fun idagba semikondokito gara
Gbogbo awọn ilana ti a lo lati dagba awọn kirisita semikondokito n ṣiṣẹ labẹ iwọn otutu giga ati agbegbe ibajẹ. Agbegbe gbigbona ti ileru idagbasoke kirisita nigbagbogbo ni ipese pẹlu sooro ooru ati ipata-sooro awọn ohun elo graphite mimọ giga-mimọ, gẹgẹbi igbona, crucible, silinda idabobo, silinda itọsọna, elekiturodu, dimu crucible, nut elekiturodu, ati bẹbẹ lọ.
A le ṣe iṣelọpọ gbogbo awọn ẹya graphite ti awọn ẹrọ iṣelọpọ gara, eyiti o le pese ni ẹyọkan tabi ni awọn eto, tabi awọn ẹya lẹẹdi ti adani ti awọn titobi pupọ ni ibamu si awọn ibeere alabara. Iwọn awọn ọja le ṣe iwọn lori aaye, ati akoonu eeru ti awọn ọja ti pari le jẹ kere siju 5ppm.
02 Awọn ẹya ẹrọ Graphite fun epitaxy semikondokito
Ilana Epitaxial n tọka si idagba ti Layer ti ohun elo gara kan pẹlu iṣeto lattice kanna gẹgẹbi sobusitireti lori sobusitireti gara kan ṣoṣo. Ninu ilana epitaxial, a ti kojọpọ wafer lori disiki graphite. Išẹ ati didara disiki graphite ṣe ipa pataki ninu didara ti epitaxial Layer ti wafer. Ni aaye ti iṣelọpọ epitaxial, ọpọlọpọ awọn lẹẹdi mimọ ultra-giga ati ipilẹ graphite mimọ giga pẹlu ibora SIC ni a nilo.
Ipilẹ lẹẹdi ti ile-iṣẹ wa fun epitaxy semikondokito ni ọpọlọpọ awọn ohun elo, o le baamu pupọ julọ awọn ohun elo ti a lo nigbagbogbo ni ile-iṣẹ naa, ati pe o ni mimọ giga, ibora aṣọ, igbesi aye iṣẹ ti o dara julọ, ati resistance kemikali giga ati iduroṣinṣin gbona.
03 Awọn ẹya ẹrọ Graphite fun gbin ion
Iyọnu ion n tọka si ilana ti isare ti ina pilasima ti boron, irawọ owurọ ati arsenic si agbara kan, ati lẹhinna abẹrẹ rẹ sinu Layer dada ti ohun elo wafer lati yi awọn ohun-ini ohun elo ti Layer dada pada. Awọn ẹya ara ẹrọ ti ohun elo ion ion yoo jẹ ti awọn ohun elo mimọ-giga pẹlu resistance ooru ti o dara julọ, imudani ti o gbona, kere si ipata ti o ṣẹlẹ nipasẹ ion beam ati akoonu aimọ kekere. Lẹẹdi mimọ-giga ni ibamu pẹlu awọn ibeere ohun elo, ati pe o le ṣee lo fun tube ọkọ ofurufu, ọpọlọpọ awọn slits, awọn amọna, awọn ideri elekiturodu, awọn conduits, awọn apanirun tan ina, ati bẹbẹ lọ ti ohun elo gbingbin ion.
A ko le pese ideri idabobo lẹẹdi nikan fun ọpọlọpọ awọn ẹrọ gbin ion, ṣugbọn tun pese awọn amọna lẹẹdi mimọ-giga ati awọn orisun ion pẹlu resistance ipata giga ti ọpọlọpọ awọn pato. Awọn awoṣe to wulo: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM ati awọn ohun elo miiran. Ni afikun, a tun le pese seramiki ti o baamu, tungsten, molybdenum, awọn ọja aluminiomu ati awọn ẹya ti a bo.
04 Awọn ohun elo idabobo Graphite ati awọn miiran
Awọn ohun elo idabobo gbona ti a lo ninu ohun elo iṣelọpọ semikondokito pẹlu rilara lile graphite, rirọ rirọ, bankanje lẹẹdi, iwe lẹẹdi, ati okun graphite.
Gbogbo awọn ohun elo aise ti wa ni okeere graphite, eyiti o le ge ni ibamu si iwọn pato ti awọn ibeere alabara tabi ta ni apapọ.
Awọn erogba-erogba atẹ ti wa ni lilo bi awọn ti ngbe fun film bora ninu awọn gbóògì ilana ti oorun monocrystalline silikoni ati polycrystalline silikoni ẹyin. Ilana iṣẹ ni: fi chirún ohun alumọni sinu atẹ CFC ki o firanṣẹ sinu tube ileru lati ṣe ilana ti a bo fiimu naa.
