סיק קאָוטינג / קאָוטאַד גראַפיטע סאַבסטרייט / טאַץ פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער

קורץ באַשרייַבונג:

VET Energy SiC קאָוטאַד גראַפיטע סוססעפּטאָר פֿאַר עפּיטאַקסיאַל גראָוט איז אַ הויך-פאָרשטעלונג פּראָדוקט דיזיינד צו צושטעלן קאָנסיסטענט און פאַרלאָזלעך פאָרשטעלונג איבער אַן עקסטענדעד צייט. עס האט סופּער גוט היץ קעגנשטעל און טערמאַל יונאַפאָרמאַטי, הויך ריינקייַט, יראָוזשאַן קעגנשטעל, מאכן עס די שליימעסדיק לייזונג פֿאַר ווייפער פּראַסעסינג אַפּלאַקיישאַנז.


פּראָדוקט דעטאַל

פּראָדוקט טאַגס

סיק קאָוטינג / קאָוטאַד פון גראַפיטע סאַסעפּטאָר פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער
 
דיסיק קאָוטאַד גראַפיטע סאַבסטרייטאיז אַ העכסט דוראַבאַל און עפעקטיוו לייזונג דיזיינד צו טרעפן די שטרענג פאדערונגען פון די סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסינג אינדוסטריע. מיט אַ שיכטע פון ​​הויך ריינקייַטסיליציום קאַרבידע (סיק) קאָוטינג, דעם סאַבסטרייט דיליווערז יקסעפּשאַנאַל טערמאַל פעסטקייַט, אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל און פּראַלאָנגד דינסט לעבן, וואָס מאכט עס ידעאַל פֿאַר אַפּלאַקיישאַנז אין MOCVD פּראַסעסאַז, גראַפייט ווייפער קאַריערז און אנדערע הויך-טעמפּעראַטור ינווייראַנמאַנץ.

 פֿעיִקייטן: 
· ויסגעצייכנט טערמאַל שאַק קעגנשטעל
· ויסגעצייכנט גשמיות שאַק קעגנשטעל
· ויסגעצייכנט כעמישער קעגנשטעל
· סופּער הויך ריינקייַט
· אַוואַילאַביליטי אין קאָמפּלעקס פאָרעם
· ניצלעך אונטער אַקסאַדייזינג אַטמאָספער

אַפּפּליקאַטיאָן:

3

פּראָדוקט פֿעיִקייטן און אַדוואַנטאַגעס:

1. העכער טערמאַל קעגנשטעל:מיט אַ הויך ריינקייַטSiC קאָוטינג, די סאַבסטרייט וויטסטאַנד עקסטרעם טעמפּעראַטורעס, ינשורינג קאָנסיסטענט פאָרשטעלונג אין פאדערן ינווייראַנמאַנץ אַזאַ ווי עפּיטאַקסי און סעמיקאַנדאַקטער פאַבריקיישאַן.

2. ענכאַנסט דוראַביליטי:די סיק קאָוטאַד גראַפייט קאַמפּאָונאַנץ זענען דיזיינד צו אַנטקעגנשטעלנ כעמישער קעראָוזשאַן און אַקסאַדיישאַן, ינקריסינג די לעבן פון די סאַבסטרייט קאַמפּערד מיט נאָרמאַל גראַפייט סאַבסטרייץ.

3. וויטריאָוס קאָוטאַד גראַפיטע:די יינציק וויטריאָוס סטרוקטור פון דיSiC קאָוטינגגיט ויסגעצייכנט ייבערפלאַך כאַרדנאַס, מינאַמייזינג טראָגן און טרער בעשאַס הויך-טעמפּעראַטור פּראַסעסינג.

4. הויך ריינקייַט סיק קאָוטינג:אונדזער סאַבסטרייט ינשורז מינימאַל קאַנטאַמאַניישאַן אין שפּירעוודיק סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסאַז, און אָפפערס רילייאַבילאַטי פֿאַר ינדאַסטריז וואָס דאַרפן שטרענג מאַטעריאַל ריינקייַט.

5. ברייט מאַרקעט אַפּפּליקאַטיאָן:דיסיק קאָוטאַד גראַפייט סאַסעפּטאָרמאַרק האלט צו וואַקסן ווי די פאָדערונג פֿאַר אַוואַנסירטע סיק קאָוטאַד פּראָדוקטן אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג ינקריסיז, פּאַזישאַנינג דעם סאַבסטרייט ווי אַ שליסל שפּילער אין ביידע די גראַפייט ווייפער טרעגער מאַרק און די סיליציום קאַרבידע קאָוטאַד גראַפייט טאַץ מאַרק.

טיפּיש פּראָפּערטיעס פון באַזע גראַפיטע מאַטעריאַל:

קלאָר געדיכטקייַט: 1.85 ג/קמ3
עלעקטריקאַל רעסיסטיוויטי: 11 μΩם
פלעקסוראַל שטאַרקייט: 49 מפּאַ (500 קגף / סענטימעטער 2)
ברעג כאַרדנאַס: 58
אַש: <5ppm
טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי: 116 וו/מק (100 קייקאַל / מהר-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

יקערדיק גשמיות פּראָפּערטיעס פון CVD SiCקאָוטינג

性质 / פאַרמאָג

典型数值 / טיפּיש ווערט

晶体结构 / קריסטאַל סטרוקטור

FCC β פאַסע 多晶,主要为(111)取向

密度 / געדיכטקייַט

3.21 ג/קם³

硬度 / כאַרדנאַס

2500 维氏硬度(500ג מאַסע)

晶粒大小 / קערל גרייס

2~10μם

纯度 / כעמישער ריינקייַט

99.99995%

热容 / היץ קאַפּאַסיטי

640 דזש·קג-1·ק-1

升华温度 / סובלימאַטיאָן טעמפּעראַטור

2700℃

抗弯强度 / פלעקסוראַל סטרענגטה

415 מפּאַ רט 4-פונט

杨氏模量 / יונג ס מאָדולע

430 גפּאַ 4 פּט בייגן, 1300 ℃

导热系数 / טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי

300 וו·ם-1·ק-1

热膨胀系数 / טערמאַל יקספּאַנשאַן (CTE)

4.5 × 10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy איז דער עמעס פאַבריקאַנט פון קאַסטאַמייזד גראַפייט און סיליציום קאַרבידע פּראָדוקטן מיט פאַרשידענע קאָאַטינגס ווי סיק קאָוטינג, טאַק קאָוטינג, גלאַסי טשאַד קאָוטינג, פּיראָליטיק טשאַד קאָוטינג, אאז"ו ו, קענען צושטעלן פאַרשידן קאַסטאַמייזד פּאַרץ פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער און פאָטאָוואָלטאַיק אינדוסטריע.

אונדזער טעכניש מאַנשאַפֿט קומט פון שפּיץ דינער פאָרשונג אינסטיטוציעס, קענען צושטעלן מער פאַכמאַן מאַטעריאַל סאַלושאַנז פֿאַר איר.

מיר קאַנטיניואַסלי אַנטוויקלען אַוואַנסירטע פּראַסעסאַז צו צושטעלן מער אַוואַנסירטע מאַטעריאַלס, און האָבן אַ ויסשליסיק פּאַטאַנטאַד טעכנאָלאָגיע, וואָס קענען מאַכן די באַנדינג צווישן די קאָוטינג און די סאַבסטרייט טייטער און ווייניקער פּראָנע צו דיטאַטשמאַנט.

באַגריסן איר צו באַזוכן אונדזער פאַבריק, לאָזן אונדז האָבן ווייַטער דיסקוסיע!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • פֿריִער:
  • ווייַטער:

  • ווהאַצאַפּפּ אָנליין שמועסן!