SiC קאָוטינג גראַפייט MOCVD וואַפער קאַריערז, גראַפיטע סוססעפּטאָרס פֿאַרSiC עפּיטאַקסי,
טשאַד סאַפּלייז סאַסעפּטערז, גראַפיטע עפּיטאַקסי סאַסעפּטערז, גראַפיטע שטיצן סאַבסטרייץ, MOCVD סאַסעפּטאָר, SiC עפּיטאַקסי, וואַפער סוססעפּטאָרס,

ספּעציעלע אַדוואַנטידזשיז פון אונדזער סיק-קאָוטאַד גראַפייט סאַסעפּטערז אַרייַננעמען גאָר הויך ריינקייַט, כאָומאַדזשיניאַס קאָוטינג און אַ ויסגעצייכנט דינסט לעבן. זיי אויך האָבן הויך כעמישער קעגנשטעל און טערמאַל פעסטקייַט פּראָפּערטיעס.

סיק קאָוטינג פון גראַפיטע סאַבסטרייט פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער אַפּלאַקיישאַנז טראגט אַ טייל מיט העכער ריינקייַט און קעגנשטעל צו אַקסאַדייזינג אַטמאָספער.
CVD SiC אָדער CVI SiC איז געווענדט צו גראַפיטע פון ​​פּשוט אָדער קאָמפּלעקס פּלאַן פּאַרץ. קאָוטינג קענען זיין געווענדט אין וועריינג טהיקנעססעס און צו זייער גרויס טיילן.

פֿעיִקייטן:
· ויסגעצייכנט טערמאַל שאַק קעגנשטעל
· ויסגעצייכנט גשמיות שאַק קעגנשטעל
· ויסגעצייכנט כעמישער קעגנשטעל
· סופּער הויך ריינקייַט
· אַוואַילאַביליטי אין קאָמפּלעקס פאָרעם
· ניצלעך אונטער אַקסאַדייזינג אַטמאָספער

אַפּפּליקאַטיאָן:

טיפּיש פּראָפּערטיעס פון באַזע גראַפיטע מאַטעריאַל:

טשאַד סאַפּלייז סאַסעפּטערזאון גראַפייט קאַמפּאָונאַנץ פֿאַר אַלע קראַנט עפּיטאַקסי רעאַקטאָרס. אונדזער פּאָרטפעל ינקלודז פאַס סאַסעפּטערז פֿאַר געווענדט און לפּע וניץ, פּאַנקייק סאַסעפּטערז פֿאַר לפּע, קסד און געמיני וניץ, און איין-ווייפער סאַסעפּטערז פֿאַר געווענדט און אַסם וניץ. דורך קאַמביינינג שטאַרק פּאַרטנערשיפּס מיט לידינג אָעם, מאַטעריאַלס עקספּערטיז און מאַנופאַקטורינג וויסן, SGL אָפפערס די אָפּטימאַל פּלאַן פֿאַר דיין אַפּלאַקיישאַן.