וואָס איז וואַפער דיסינג?

A ווייפערמוזן דורכגיין דריי ענדערונגען צו ווערן אַ פאַקטיש סעמיקאַנדאַקטער שפּאָן: ערשטער, די בלאָק-שייפּט ינגגאַט איז שנייַדן אין ווייפערז; אין די רגע פּראָצעס, טראַנזיסטערז זענען ינגרייווד אויף די פראָנט פון די ווייפער דורך די פריערדיקע פּראָצעס; לעסאָף, פּאַקקאַגינג איז געטאן, וואָס איז, דורך די קאַטינג פּראָצעס, דיווייפערווערט אַ גאַנץ סעמיקאַנדאַקטער שפּאָן. עס קענען זיין געזען אַז די פּאַקקאַגינג פּראָצעס געהערט צו די צוריק-סוף פּראָצעס. אין דעם פּראָצעס, די ווייפער וועט זיין שנייַדן אין עטלעכע העקסאַהעדראָן יחיד טשיפּס. דער פּראָצעס פון קריגן פרייַ טשיפּס איז גערופן "סינגולאַטיאָן", און דער פּראָצעס פון סאָינג די ווייפער ברעט אין פרייַ קובאָידס איז גערופן "ווייפער קאַטינג (די סאַווינג)". לעצטנס, מיט דער פֿאַרבעסערונג פון סעמיקאַנדאַקטער ינאַגריישאַן, די גרעב פוןווייפערזאיז געווארן דינער און דינער, וואָס אַוודאי ברענגט אַ פּלאַץ פון שוועריקייטן צו די "סינגולאַטיאָן" פּראָצעס.

די עוואָלוציע פון ​​ווייפער דייסינג

פראָנט-סוף און צוריק-סוף פּראַסעסאַז האָבן יוואַלווד דורך ינטעראַקשאַן אין פאַרשידן וועגן: די עוואָלוציע פון ​​​​באַק-סוף פּראַסעסאַז קענען באַשטימען די סטרוקטור און שטעלע פון ​​די העקסאַהעדראָן קליין טשיפּס אפגעשיידט פון די שטאַרבן אויף דיווייפער, ווי געזונט ווי די סטרוקטור און שטעלע פון ​​די פּאַדס (עלעקטריקאַל קשר פּאַטס) אויף די ווייפער; אויף די פאַרקערט, די עוואָלוציע פון ​​פראָנט-סוף פּראַסעסאַז האט געביטן דעם פּראָצעס און אופֿן פוןווייפערצוריק טינינג און "שטאַרבן דיסינג" אין די צוריק-סוף פּראָצעס. דעריבער, די ינקריסינגלי סאַפיסטאַקייטיד אויסזען פון דעם פּעקל וועט האָבן אַ גרויס פּראַל אויף די צוריק-סוף פּראָצעס. דערצו, די נומער, פּראָצעדור און טיפּ פון דיסינג וועט אויך טוישן אַקאָרדינגלי לויט די ענדערונג אין די אויסזען פון די פּעקל.

שרייב דיסינג

אין די פרי טעג, "ברייקינג" דורך אַפּלייינג פונדרויסנדיק קראַפט איז געווען דער בלויז דייסינג אופֿן וואָס קען טיילן דיווייפעראין כעקסאַהעדראָן שטאַרבן. אָבער, דעם אופֿן האט די דיסאַדוואַנטידזשיז פון טשיפּינג אָדער קראַקינג די ברעג פון די קליין שפּאָן. אין דערצו, זינט די בוררס אויף די מעטאַל ייבערפלאַך זענען נישט גאָר אַוועקגענומען, די שנייַדן ייבערפלאַך איז אויך זייער פּראָסט.
אין סדר צו סאָלווע דעם פּראָבלעם, די "סקריבינג" קאַטינג אופֿן געקומען אין זייַענדיק, דאָס איז, איידער "ברייקינג", די ייבערפלאַך פון דיווייפעראיז שנייַדן צו וועגן האַלב די טיף. "סקרייבינג", ווי דער נאָמען סאַגדזשעס, רעפערס צו ניצן אַ ימפּעללער צו געזען (האַלב-שנייַדן) די פראָנט זייַט פון די ווייפער אין שטייַגן. אין דער פרי טעג, רובֿ ווייפערז אונטער 6 אינטשעס געניצט דעם קאַטינג אופֿן פון ערשטער "סלייסינג" צווישן טשיפּס און דעמאָלט "ברייקינג".

בלייד דיסינג אָדער בלייד סאַווינג

די "סקרייבינג" קאַטינג אופֿן ביסלעכווייַז דעוועלאָפּעד אין די "בלייד דיסינג" קאַטינג (אָדער סאָינג) אופֿן, וואָס איז אַ אופֿן פון קאַטינג ניצן אַ בלייד צוויי אָדער דריי מאָל אין אַ רודערן. די "בלייד" קאַטינג אופֿן קענען מאַכן זיך פֿאַר די דערשיינונג פון קליין טשיפּס פּילינג אַוועק ווען "ברייקינג" נאָך "סקרייבינג", און קענען באַשיצן קליין טשיפּס בעשאַס די "סינגולאַטיאָן" פּראָצעס. "בלייד" קאַטינג איז אַנדערש פון די פריערדיקע "דייסינג" קאַטינג, דאָס איז, נאָך אַ "בלייד" קאַטינג, עס איז נישט "ברייקינג", אָבער קאַטינג ווידער מיט אַ בלייד. דעריבער, עס איז אויך גערופן "שריט דיסינג" אופֿן.

אין סדר צו באַשיצן די ווייפער פון פונדרויסנדיק שעדיקן בעשאַס די קאַטינג פּראָצעס, אַ פילם וועט זיין געווענדט צו די ווייפער אין שטייַגן צו ענשור סאַפער "סינגלינג". בעשאַס די "צוריק גרינדינג" פּראָצעס, די פילם וועט זיין אַטאַטשט צו די פראָנט פון די ווייפער. אבער אויף די פאַרקערט, אין "בלייד" קאַטינג, די פילם זאָל זיין אַטאַטשט צו די צוריק פון די ווייפער. בעשאַס די יוטעקטיק שטאַרבן באַנדינג (שטאַרבן באַנדינג, פיקסיר די אפגעשיידט טשיפּס אויף די פּקב אָדער פאַרפעסטיקט ראַם), דער פילם אַטאַטשט צו די צוריק וועט אויטאָמאַטיש פאַלן אַוועק. רעכט צו דער הויך רייַבונג בעשאַס קאַטינג, די וואַסער זאָל זיין ספּרייד קאַנטיניואַסלי פון אַלע אינסטרוקציעס. אין דערצו, די ימפּעללער זאָל זיין אַטאַטשט מיט דימענט פּאַרטיקאַלז אַזוי אַז די סלייסיז קענען זיין סלייסט בעסער. אין דעם צייַט, די שנייַדן (בלייד גרעב: נאָרע ברייט) מוזן זיין מונדיר און זאָל נישט יקסיד די ברייט פון די דיסינג נאָרע.
פֿאַר אַ לאַנג צייַט, סאָינג איז די מערסט וויידלי געניצט טראדיציאנעלן קאַטינג אופֿן. זייַן ביגאַסט מייַלע איז אַז עס קענען שנייַדן אַ גרויס נומער פון ווייפערז אין אַ קורץ צייט. אָבער, אויב די פידינג גיכקייַט פון די רעפטל איז זייער געוואקסן, די מעגלעכקייט פון טשיפּלעט ברעג פּילינג וועט פאַרגרעסערן. דעריבער, די נומער פון ראָוטיישאַנז פון די ימפּעללער זאָל זיין קאַנטראָולד וועגן 30,000 מאל פּער מינוט. עס קענען זיין געזען אַז די טעכנאָלאָגיע פון ​​סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס איז אָפט אַ סוד אַקיומיאַלייטיד סלאָולי דורך אַ לאַנג צייַט פון אַקיומיאַליישאַן און פּראָצעס און טעות (אין דער ווייַטער אָפּטיילונג אויף יוטעקטיק באַנדינג, מיר וועלן דיסקוטירן די אינהאַלט וועגן קאַטינג און DAF).

דיסינג איידער גרינדינג (DBG): די קאַטינג סיקוואַנס האט געביטן דעם אופֿן

ווען בלייד קאַטינג איז דורכגעקאָכט אויף אַ 8-אינטש דיאַמעטער ווייפער, עס איז ניט דאַרפֿן צו זאָרג וועגן טשיפּלעט ברעג פּילינג אָדער קראַקינג. אבער ווי די ווייפער דיאַמעטער ינקריסיז צו 21 אינטשעס און די גרעב ווערט גאָר דין, פּילינג און קראַקינג דערשיינונגען אָנהייבן צו דערשייַנען ווידער. אין סדר צו באטייטיק רעדוצירן די גשמיות פּראַל אויף די ווייפער בעשאַס די קאַטינג פּראָצעס, די DBG אופֿן פון "דיסינג איידער גרינדינג" ריפּלייסיז די טראדיציאנעלן קאַטינג סיקוואַנס. ניט ענלעך דעם טראדיציאנעלן "בלייד" קאַטינג אופֿן וואָס קאַטינג קאַנטיניואַסלי, DBG ערשטער פּערפאָרמז אַ "בלייד" שנייַדן, און דאַן ביסלעכווייַז טינז די ווייפער גרעב דורך קאַנטיניואַסלי טינינג די צוריק זייַט ביז די שפּאָן איז שפּאַלטן. עס קען זיין געזאָגט אַז DBG איז אַ אַפּגריידיד ווערסיע פון ​​​​די פריערדיקע "בלייד" קאַטינג אופֿן. ווייַל עס קענען רעדוצירן די פּראַל פון די רגע שנייַדן, די DBG אופֿן איז ראַפּאַדלי פּאָפּולאַרייזד אין "ווייפער-מדרגה פּאַקקאַגינג".

לאַזער דיסינג

די ווייפער-מדרגה שפּאָן וואָג פּעקל (WLCSP) פּראָצעס ניצט דער הויפּט לאַזער קאַטינג. לאַזער קאַטינג קענען רעדוצירן פענאָמענאַ אַזאַ ווי פּילינג און קראַקינג, דערמיט באַקומען בעסער קוואַליטעט טשיפּס, אָבער ווען די ווייפער גרעב איז מער ווי 100μם, די פּראָודאַקטיוויטי וועט זיין זייער רידוסט. דעריבער, עס איז מערסטנס געניצט אויף ווייפערז מיט אַ גרעב פון ווייניקער ווי 100μם (לעפיערעך דין). לאַזער קאַטינג קאַץ סיליציום דורך אַפּלייינג הויך-ענערגיע לאַזער צו די ווייפער ס שרייַבער נאָרע. אָבער, ווען ניצן די קאַנווענשאַנאַל לאַזער (קאַנווענשאַנאַל לאַזער) קאַטינג אופֿן, אַ פּראַטעקטיוו פילם מוזן זיין געווענדט צו די ווייפער ייבערפלאַך אין שטייַגן. ווייַל באַהיצונג אָדער יריידיייטינג די ייבערפלאַך פון די ווייפער מיט לאַזער, די גשמיות קאָנטאַקטן וועט פּראָדוצירן גרוווז אויף די ייבערפלאַך פון די ווייפער, און די שנייַדן סיליציום פראַגמאַנץ וועט אויך אַדכיר צו די ייבערפלאַך. עס קענען זיין געזען אַז די טראדיציאנעלן לאַזער קאַטינג אופֿן אויך גלייַך שנייַדן די ייבערפלאַך פון די ווייפער, און אין דעם רעספּעקט, עס איז ענלעך צו די "בלייד" קאַטינג אופֿן.

סטעלט דיסינג (SD) איז אַ מעטאָד פון ערשטער שניידן די אינעווייניק פון די ווייפער מיט לאַזער ענערגיע, און דעמאָלט אַפּלייינג פונדרויסנדיק דרוק צו די טאַשמע אַטאַטשט צו די צוריק צו ברעכן עס, און דערמיט סעפּערייטינג די שפּאָן. ווען דרוק איז געווענדט צו די טייפּ אויף די צוריק, די ווייפער וועט זיין גלייך אויפשטיין אַרוף רעכט צו דער סטרעטשינג פון די טייפּ, דערמיט סעפּערייטינג די שפּאָן. די אַדוואַנטידזשיז פון סד איבער דעם טראדיציאנעלן לאַזער קאַטינג אופֿן זענען: ערשטער, עס איז קיין סיליציום דעבריס; רגע, די קערף (קערף: די ברייט פון די שריפט גראָווע) איז שמאָל, אַזוי מער טשיפּס קענען זיין באקומען. אין אַדישאַן, די פּילינג און קראַקינג דערשיינונג וועט זיין זייער רידוסט מיט די SD אופֿן, וואָס איז קריטיש פֿאַר די קוילעלדיק קוואַליטעט פון די קאַטינג. דעריבער, די סד אופֿן איז זייער מסתּמא צו ווערן די מערסט פאָלקס טעכנאָלאָגיע אין דער צוקונפֿט.

פּלאַזמע דיסינג
פּלאַזמע קאַטינג איז אַ לעצטנס דעוועלאָפּעד טעכנאָלאָגיע וואָס ניצט פּלאַזמע עטשינג צו שנייַדן בעשאַס די מאַנופאַקטורינג (פאַב) פּראָצעס. פּלאַזמע קאַטינג ניצט האַלב-גאַז מאַטעריאַלס אַנשטאָט פון ליקווידס, אַזוי די פּראַל אויף די סוויווע איז לעפיערעך קליין. און דער אופֿן פון קאַטינג די גאנצע ווייפער אין איין מאָל איז אנגענומען, אַזוי די "קאַטינג" גיכקייַט איז לעפיערעך שנעל. אָבער, די פּלאַזמע אופֿן ניצט כעמישער רעאַקציע גאַז ווי רוי מאַטעריאַל, און די עטשינג פּראָצעס איז זייער קאָמפּליצירט, אַזוי זייַן פּראָצעס לויפן איז לעפיערעך קאַמבערסאַם. אָבער קאַמפּערד מיט "בלייד" קאַטינג און לאַזער קאַטינג, פּלאַזמע קאַטינג טוט נישט פאַרשאַפן שעדיקן צו די ווייפער ייבערפלאַך, דערמיט רידוסינג די כיסאָרן קורס און באַקומען מער טשיפּס.

לעצטנס, זינט די ווייפער גרעב איז רידוסט צו 30μם, און אַ פּלאַץ פון קופּער (קו) אָדער נידעריק דיעלעקטריק קעסיידערדיק מאַטעריאַלס (לאָו-ק) זענען געניצט. דעריבער, אין סדר צו פאַרמייַדן בוררס (בורר), פּלאַזמע קאַטינג מעטהאָדס וועט אויך זיין פייווערד. פון קורס, פּלאַזמע קאַטינג טעכנאָלאָגיע איז אויך קעסיידער דעוועלאָפּינג. איך גלויבן אַז אין דעם לעבן צוקונפֿט, איין טאָג עס וועט זיין ניט דאַרפֿן צו טראָגן אַ ספּעציעל מאַסקע ווען עטשינג, ווייַל דאָס איז אַ הויפּט אַנטוויקלונג ריכטונג פון פּלאַזמע קאַטינג.

ווי די גרעב פון ווייפערז איז קאַנטיניואַסלי רידוסט פון 100μם צו 50μם און דערנאָך צו 30μם, די קאַטינג מעטהאָדס פֿאַר באקומען פרייַ טשיפּס האָבן אויך טשאַנגינג און דעוועלאָפּינג פון "ברייקינג" און "בלייד" קאַטינג צו לאַזער קאַטינג און פּלאַזמע קאַטינג. כאָטש די ינקריסינגלי דערוואַקסן קאַטינג מעטהאָדס האָבן געוואקסן די פּראָדוקציע קאָס פון די קאַטינג פּראָצעס זיך, אויף די אנדערע האַנט, דורך באטייטיק רידוסינג די אַנדיזייראַבאַל דערשיינונגען אַזאַ ווי פּילינג און קראַקינג וואָס אָפט פאַלן אין סעמיקאַנדאַקטער שפּאָן קאַטינג און ינקריסינג די נומער פון טשיפּס באקומען פּער אַפּאַראַט ווייפער. , די פּראָדוקציע פּרייַז פון אַ איין שפּאָן האט געוויזן אַ דאַונווערד גאַנג. פון קורס, די פאַרגרעסערן אין די נומער פון טשיפּס באקומען פּער אַפּאַראַט געגנט פון די ווייפער איז ענג שייַכות צו די רעדוקציע אין די ברייט פון די דיסינג גאַס. ניצן פּלאַזמע קאַטינג, קימאַט 20% מער טשיפּס קענען זיין באקומען קאַמפּערד מיט די "בלייד" קאַטינג אופֿן, וואָס איז אויך אַ הויפּט סיבה וואָס מענטשן קלייַבן פּלאַזמע קאַטינג. מיט דער אַנטוויקלונג און ענדערונגען פון ווייפערז, שפּאָן אויסזען און פּאַקקאַגינג מעטהאָדס, פאַרשידן קאַטינג פּראַסעסאַז אַזאַ ווי ווייפער פּראַסעסינג טעכנאָלאָגיע און DBG זענען אויך ימערדזשינג.