כעמישער פארע דיפּאַזישאַן (CVD) רעפערס צו דער פּראָצעס פון דאַפּאַזיטינג אַ האַרט פילם אויף די ייבערפלאַך פון אַ סיליציוםווייפערדורך א כעמישע רעאקציע פון א גאז געמיש. לויט די פאַרשידענע אָפּרוף טנאָים (דרוק, פּריקערסער), עס קענען זיין צעטיילט אין פאַרשידן ויסריכט מאָדעלס.
וואָס פּראַסעסאַז זענען די צוויי דעוויסעס געניצט פֿאַר?
PECVD(פּלאַזמאַ ענהאַנסעד) ויסריכט איז די מערסט סך און מערסט קאַמאַנלי געניצט, געניצט אין אָקס, ניטרידע, מעטאַל טויער, אַמאָרפאַס טשאַד, אאז"ו ו; LPCVD (נידעריק פּאָווער) איז יוזשאַוואַלי געניצט אין ניטרידע, פּאָלי, טעאָס.
וואָס איז דער פּרינציפּ?
PECVD - אַ פּראָצעס וואָס בישליימעס קאַמביינז פּלאַזמע ענערגיע און CVD. PECVD טעכנאָלאָגיע ניצט נידעריק-טעמפּעראַטור פּלאַזמע צו ינדוסירן שייַנען אָפּזאָגן אין די קאַטאָוד פון די פּראָצעס קאַמער (ד"ה מוסטער טאַץ) אונטער נידעריק דרוק. דעם שייַנען אָפּזאָגן אָדער אנדערע באַהיצונג מיטל קענען כאַפּן די טעמפּעראַטור פון די מוסטער צו אַ פּרידיטערמינד מדרגה, און דעמאָלט פאָרשטעלן אַ קאַנטראָולד סומע פון פּראָצעס גאַז. דעם גאַז אַנדערגאָו אַ סעריע פון כעמישער און פּלאַזמע ריאַקשאַנז, און לעסאָף פארמען אַ האַרט פילם אויף די ייבערפלאַך פון די מוסטער.
LPCVD - נידעריק-דרוק כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (LPCVD) איז דיזיינד צו רעדוצירן די אָפּערייטינג דרוק פון די אָפּרוף גאַז אין די רעאַקטאָר צו וועגן 133 פּאַ אָדער ווייניקער.
וואָס זענען די טשאַראַקטעריסטיקס פון יעדער?
PECVD - אַ פּראָצעס וואָס בישליימעס קאַמביינז פּלאַזמע ענערגיע און CVD: 1) נידעריק-טעמפּעראַטור אָפּעראַציע (אַוווידיד הויך טעמפּעראַטור שעדיקן צו די עקוויפּמענט); 2) שנעל פילם גראָוט; 3) ניט פּיקי וועגן מאַטעריאַלס, אָקס, ניטרידע, מעטאַל טויער, אַמאָרפאַס טשאַד קענען אַלע וואַקסן; 4) עס איז אַן אין-סיטו מאָניטאָרינג סיסטעם, וואָס קענען סטרויערן די רעצעפּט דורך יאָן פּאַראַמעטערס, גאַז לויפן קורס, טעמפּעראַטור און פילם גרעב.
LPCVD - דין פילמס דאַפּאַזיטיד דורך LPCVD וועט האָבן בעסער שריט קאַווערידזש, גוט זאַץ און סטרוקטור קאָנטראָל, הויך דעפּאַזישאַן קורס און רעזולטאַט. אין אַדישאַן, LPCVD טוט נישט דאַרפן טרעגער גאַז, אַזוי עס זייער ראַדוסאַז די מקור פון פּאַרטאַקאַל פאַרפּעסטיקונג און איז וויידלי געניצט אין הויך ווערט-צוגעלייגט סעמיקאַנדאַקטער ינדאַסטריז פֿאַר דין פילם דעפּאַזישאַן.
באַגריסן קיין קאַסטאַמערז פון אַלע איבער די וועלט צו באַזוכן אונדז פֿאַר אַ ווייַטער דיסקוסיע!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
פּאָסטן צייט: יולי 24-2024