סיליציום קאַרבידע קאָוטינג,קאַמאַנלי באקאנט ווי SiC קאָוטינג, רעפערס צו דעם פּראָצעס פון אַפּלייינג אַ פּלאַסט פון סיליציום קאַרבידע אויף סערפאַסיז דורך מעטהאָדס אַזאַ ווי כעמישער פארע דעפּאָסיטיאָן (CVD), גשמיות פארע דעפּאָסיטיאָן (פּווד) אָדער טערמאַל ספּרייינג. דער סיליציום קאַרבידע סעראַמיק קאָוטינג ימפּרוווז די ייבערפלאַך פּראָפּערטיעס פון פאַרשידן סאַבסטרייץ דורך ימפּאַרטינג יקסעפּשאַנאַל טראָגן קעגנשטעל, טערמאַל פעסטקייַט און קעראָוזשאַן שוץ. SiC איז באַוווסט פֿאַר זייַן בוילעט גשמיות און כעמישער פּראָפּערטיעס, אַרייַנגערעכנט אַ הויך מעלטינג פונט (בעערעך 2700 ℃), עקסטרעם כאַרדנאַס (מאָהס וואָג 9), ויסגעצייכנט קעראָוזשאַן און אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל און יקסעפּשאַנאַל אַבלאַטיאָן פאָרשטעלונג.
שליסל בענעפיץ פון סיליציום קאַרבידע קאָוטינג אין ינדאַסטריאַל אַפּלאַקיישאַנז
רעכט צו די פֿעיִקייטן, סיליציום קאַרבידע קאָוטינג איז וויידלי געניצט אין פעלדער אַזאַ ווי אַעראָספּאַסע, וועפּאַנז ויסריכט און סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסינג. אין עקסטרעם ינווייראַנמאַנץ, ספּעציעל אין די 1800-2000 ℃ קייט, SiC קאָוטינג יגזיבאַץ מערקווירדיק טערמאַל פעסטקייַט און אַבלאַטיוו קעגנשטעל, וואָס מאכט עס ידעאַל פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור אַפּלאַקיישאַנז. אָבער, סיליציום קאַרבידע אַליין פעלן די סטראַקטשעראַל אָרנטלעכקייַט דארף פֿאַר פילע אַפּלאַקיישאַנז, אַזוי קאָוטינג מעטהאָדס זענען געניצט צו לעווערידזש זייַן יינציק פּראָפּערטיעס אָן קאַמפּראַמייזינג קאָמפּאָנענט שטאַרקייַט. אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג, סיליציום קאַרבידע קאָוטאַד עלעמענטן צושטעלן פאַרלאָזלעך שוץ און פאָרשטעלונג פעסטקייַט אין ויסריכט געניצט אין MOCVD פּראַסעסאַז.
פּראָסט מעטהאָדס פֿאַר צוגרייטונג פון סיליציום קאַרבידע קאָוטינג
Ⅰ● כעמישער פארע דעפּאָסיטיאָן (קווד) סיליציום קאַרבידע קאָוטינג
אין דעם אופֿן, SiC קאָאַטינגס זענען געשאפן דורך פּלייסינג סאַבסטרייץ אין אַ אָפּרוף קאַמער, ווו מעטהילטריטשלאָראָסילאַנע (MTS) אקטן ווי אַ פּריקערסער. אונטער קאַנטראָולד טנאָים - טיפּיקלי 950-1300 ° C און נעגאַטיוו דרוק - די MTS אַנדערגאָוז דיקאַמפּאָוזישאַן, און סיליציום קאַרבידע איז דאַפּאַזיטיד אויף די ייבערפלאַך. דעם CVD SiC קאָוטינג פּראָצעס ינשורז אַ געדיכט, מונדיר קאָוטינג מיט ויסגעצייכנט אַדכיראַנס, ידעאַל פֿאַר הויך-פּינטלעכקייַט אַפּלאַקיישאַנז אין סעמיקאַנדאַקטער און אַעראָספּאַסע סעקטאָרס.
Ⅱ● פּריקערסער קאַנווערזשאַן מעטאַד (פּאַלימער ימפּרעגניישאַן און פּיראָליסיס - פּיפּ)
אן אנדער עפעקטיוו סיליציום קאַרבידע שפּריץ קאָוטינג צוגאַנג איז די פּריקערסער קאַנווערזשאַן אופֿן, וואָס ינוואַלווז טבילה די פאַר-באהאנדלט מוסטער אין אַ סעראַמיק פּריקערסער לייזונג. נאָך וואַקיומינג די ימפּרעגניישאַן טאַנק און פּרעשערייזינג די קאָוטינג, דער מוסטער איז העאַטעד, וואָס פירן צו סיליציום קאַרבידע קאָוטינג פאָרמירונג נאָך קאָאָלינג. דעם אופֿן איז פייווערד פֿאַר קאַמפּאָונאַנץ וואָס דאַרפן מונדיר קאָוטינג גרעב און ענכאַנסט טראָגן קעגנשטעל.
גשמיות פּראָפּערטיעס פון סיליציום קאַרבידע קאָוטינג
סיליציום קאַרבידע קאָאַטינגס ויסשטעלונג פּראָפּערטיעס וואָס מאַכן זיי ידעאַל פֿאַר דימאַנדינג ינדאַסטריאַל אַפּלאַקיישאַנז. די פּראָפּערטיעס אַרייַננעמען:
טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי: 120-270 וו / מ·ק
קאָואַפישאַנט פון טערמאַל יקספּאַנשאַן: 4.3 × 10 ^(-6)/K (ביי 20~800℃)
עלעקטרישע רעסיסטיוויטעט: 10 ^5– 10 ^6Ω·קם
כאַרדנאַס: מאָהס וואָג 9
אַפּפּליקאַטיאָנס פון סיליציום קאַרבידע קאָוטינג
אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג, סיליציום קאַרבידע קאָוטינג פֿאַר MOCVD און אנדערע הויך-טעמפּעראַטור פּראַסעסאַז פּראַטעקץ קריטיש עקוויפּמענט, אַזאַ ווי רעאַקטאָרס און סאַסעפּטערז, דורך פאָרשלאָגן הויך-טעמפּעראַטור קעגנשטעל און פעסטקייַט. אין אַעראָספּאַסע און פאַרטיידיקונג, סיליציום קאַרבידע סעראַמיק קאָוטינגז זענען געווענדט צו קאַמפּאָונאַנץ וואָס מוזן וויטסטאַנד הויך-גיכקייַט ימפּאַקץ און קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ. דערצו, סיליציום קאַרבידע פאַרב אָדער קאָאַטינגס קענען אויך זיין געוויינט אויף מעדיציניש דעוויסעס וואָס דאַרפן געווער אונטער סטעראַליזיישאַן פּראָוסידזשערז.
פארוואס קלייַבן סיליציום קאַרבידע קאָוטינג?
מיט אַ פּראָווען רעקאָרד אין יקסטענדינג קאָמפּאָנענט לעבן, סיליציום קאַרבידע קאָוטינגז צושטעלן גלייַכן געווער און טעמפּעראַטור פעסטקייַט, מאכן זיי קאָס-עפעקטיוו פֿאַר לאַנג-טערמין נוצן. דורך טשוזינג אַ סיליציום קאַרבידע קאָוטאַד ייבערפלאַך, ינדאַסטריז נוץ פון דיקריסט וישאַלט קאָס, ימפּרוווד רילייאַבילאַטי פון ויסריכט און ימפּרוווד אַפּעריישאַנאַל עפעקטיווקייַט.
פארוואס קלייַבן VET ENERGY?
VET ENERGY איז אַ פאַכמאַן פאַבריקאַנט און פאַבריק פון סיליציום קאַרבידע קאָוטינג פּראָדוקטן אין טשיינאַ. די הויפּט סיק קאָוטינג פּראָדוקטן אַרייַננעמען סיליציום קאַרבידע סעראַמיק קאָוטינג כיטער,CVD סיליציום קאַרבידע קאָוטינג MOCVD סאַספּעקטער, MOCVD גראַפיטע קאַריער מיט CVD SiC קאָוטינג, סיק קאָוטאַד גראַפיטע באַסע קאַריערז, סיליציום קאַרבידע קאָוטאַד גראַפיטע סאַבסטרייט פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער,סיק קאָוטינג / קאָוטאַד גראַפיטע סאַבסטרייט / טאַץ פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער, קווד סיק קאָוטאַד טשאַד-טשאַד קאָמפּאָסיטע קפק שיפל פורעם. VET ENERGY איז קאַמיטאַד צו צושטעלן אַוואַנסירטע טעכנאָלאָגיע און פּראָדוקט סאַלושאַנז פֿאַר די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע. מיר בעעמעס האָפן צו ווערן דיין לאַנג-טערמין שוטעף אין טשיינאַ.
פּאָסטן צייט: סעפטעמבער 02-2023