א איין קריסטאל אויוון איז א מיטל וואס נוצט אגראַפייט כיטערצו צעשמעלצן פּאָליקריסטאַללינע סיליציום מאַטעריאַלס אין אַ ינערט גאַז (אַרגאָן) סוויווע און ניצט די Czochralski אופֿן צו וואַקסן ניט-דיסלאָקאַטעד איין קריסטאַלז. עס איז דער הויפּט קאַמפּאָוזד פון די פאלגענדע סיסטעמען:
מעטשאַניקאַל טראַנסמיסיע סיסטעם
די מעטשאַניקאַל טראַנסמיסיע סיסטעם איז די יקערדיק אָפּערייטינג סיסטעם פון די איין קריסטאַל אויוון, וואָס איז דער הויפּט פאַראַנטוואָרטלעך פֿאַר קאַנטראָולינג די באַוועגונג פון קריסטאַלז אוןקרוסיבלעם, אַרייַנגערעכנט די ליפטינג און ראָוטיישאַן פון זוימען קריסטאַלז און די ליפטינג און ראָוטיישאַן פוןקרוסיבלעם. עס קענען אַקיעראַטלי סטרויערן פּאַראַמעטערס אַזאַ ווי די שטעלע, גיכקייַט און ראָוטיישאַן ווינקל פון קריסטאַלז און קרוסיבלע צו ענשור די גלאַט פּראָגרעס פון די קריסטאַל וווּקס פּראָצעס. פֿאַר בייַשפּיל, אין פאַרשידענע סטאַגעס פון קריסטאַל וווּקס, אַזאַ ווי סידינג, נאַקינג, פּלייצעס, גראָוט פון גלייַך דיאַמעטער און טיילינג, די באַוועגונג פון זוימען קריסטאַלז און קרוסיבלע דאַרף זיין אַקיעראַטלי קאַנטראָולד דורך דעם סיסטעם צו טרעפן די פּראַסעסאַז פון קריסטאַל וווּקס.
באַהיצונג טעמפּעראַטור קאָנטראָל סיסטעם
דאָס איז איינער פון די האַרץ סיסטעמען פון די איין קריסטאַל אויוון, וואָס איז געניצט צו דזשענערייט היץ און אַקיעראַטלי קאָנטראָלירן די טעמפּעראַטור אין די אויוון. עס איז דער הויפּט קאַמפּאָוזד פון קאַמפּאָונאַנץ אַזאַ ווי כיטערז, טעמפּעראַטור סענסאָרס און טעמפּעראַטור קאַנטראָולערז. די כיטער איז יוזשאַוואַלי געמאכט פון מאַטעריאַלס אַזאַ ווי הויך-ריינקייַט גראַפייט. נאָך די אָלטערנייטינג קראַנט איז פארוואנדלען און רידוסט צו פאַרגרעסערן די קראַנט, די כיטער דזשענערייץ היץ צו צעשמעלצן פּאָליקריסטאַללינע מאַטעריאַלס אַזאַ ווי פּאָליסיליקאָן אין די קרוסיבלע. דער טעמפּעראַטור סענסער מאָניטאָרס די טעמפּעראַטור ענדערונגען אין די אויוון אין פאַקטיש צייט און טראַנסמיטט די טעמפּעראַטור סיגנאַל צו די טעמפּעראַטור קאָנטראָללער. דער טעמפּעראַטור קאָנטראָללער אַקיעראַטלי קאָנטראָלס די באַהיצונג מאַכט לויט די באַשטימט טעמפּעראַטור פּאַראַמעטערס און די באַמערקונגען טעמפּעראַטור סיגנאַל, דערמיט מיינטיינינג די פעסטקייַט פון די טעמפּעראַטור אין די אויוון און צושטעלן אַ פּאַסיק טעמפּעראַטור סוויווע פֿאַר קריסטאַל וווּקס.
וואַקוום סיסטעם
די הויפּט פֿונקציע פון די וואַקוום סיסטעם איז צו שאַפֿן און טייַנען אַ וואַקוום סוויווע אין די אויוון בעשאַס די קריסטאַל וווּקס פּראָצעס. די לופט און טומע גאַסאַז אין די אויוון זענען יקסטראַקטיד דורך וואַקוום פּאַמפּס און אנדערע ויסריכט צו מאַכן די גאַז דרוק אין די אויוון דערגרייכן אַ גאָר נידעריק מדרגה, בכלל אונטער 5טאָר (טאָר). דעם קענען פאַרמייַדן די סיליציום מאַטעריאַל פון אַקסאַדייזד אין הויך טעמפּעראַטורעס און ענשור די ריינקייַט און קוואַליטעט פון קריסטאַל וווּקס. אין דער זעלביקער צייט, די וואַקוום סוויווע איז אויך קאַנדוסיוו צו רימוווינג וואַלאַטאַל ימפּיוראַטיז דזשענערייטאַד בעשאַס די קריסטאַל וווּקס פּראָצעס און ימפּרוווינג די קוואַליטעט פון די קריסטאַל.
אַרגאָן סיסטעם
די אַרגאָן סיסטעם פיעסעס אַ ראָלע אין פּראַטעקטינג און רעגיאַלייטינג די דרוק אין די אויוון אין די איין קריסטאַל אויוון. נאָך וואַקווינג, הויך-ריינקייט אַרגאָן גאַז (ריינקייַט מוזן זיין העכער 6 9) איז אָנגעפילט אין די אויוון. אויף די איין האַנט, עס קענען פאַרמייַדן אַרויס לופט פון אַרייַן די אויוון און פאַרמייַדן סיליציום מאַטעריאַלס פון אַקסאַדייזד; אויף די אנדערע האַנט, די פילונג פון אַרגאָן גאַז קענען האַלטן די דרוק אין די אויוון סטאַביל און צושטעלן אַ פּאַסיק דרוק סוויווע פֿאַר קריסטאַל וווּקס. אין אַדישאַן, די לויפן פון אַרגאָן גאַז קענען אויך נעמען אַוועק די היץ דזשענערייטאַד בעשאַס די קריסטאַל וווּקס פּראָצעס, פּלייינג אַ זיכער קאָאָלינג ראָלע.
וואַסער קאָאָלינג סיסטעם
די פונקציע פון די וואַסער קאָאָלינג סיסטעם איז צו קילן די פאַרשידן הויך-טעמפּעראַטור קאַמפּאָונאַנץ פון די איין קריסטאַל אויוון צו ענשור נאָרמאַל אָפּעראַציע און דינסט לעבן פון די עקוויפּמענט. בעשאַס די אָפּעראַציע פון די איין קריסטאַל אויוון, די כיטער,קרוסאַבאַל, ילעקטראָוד און אנדערע קאַמפּאָונאַנץ וועט דזשענערייט אַ פּלאַץ פון היץ. אויב זיי זענען נישט קולד אין צייט, די עקוויפּמענט וועט אָוווערכיט, פאַרקרימען אָדער אפילו דאַמידזשד. די וואַסער קאָאָלינג סיסטעם נעמט אַוועק די היץ פון די קאַמפּאָונאַנץ דורך סערקיאַלייטינג קאָאָלינג וואַסער צו האַלטן די טעמפּעראַטור פון די ויסריכט אין אַ זיכער קייט. אין דער זעלביקער צייט, די וואַסער קאָאָלינג סיסטעם קענען אויך אַרוישעלפן אין אַדזשאַסטינג די טעמפּעראַטור אין די אויוון צו פֿאַרבעסערן די אַקיעראַסי פון טעמפּעראַטור קאָנטראָל.
עלעקטריקאַל קאָנטראָל סיסטעם
די עלעקטריקאַל קאָנטראָל סיסטעם איז דער "מאַרך" פון די איין קריסטאַל אויוון, פאַראַנטוואָרטלעך פֿאַר מאָניטאָרינג און קאַנטראָולינג די אָפּעראַציע פון די גאנצע ויסריכט. עס קענען באַקומען סיגנאַלז פון פאַרשידן סענסאָרס, אַזאַ ווי טעמפּעראַטור סענסאָרס, דרוק סענסאָרס, שטעלע סענסאָרס, אאז"ו ו, און קאָואָרדאַנאַט און קאָנטראָלירן די מעטשאַניקאַל טראַנסמיסיע סיסטעם, באַהיצונג טעמפּעראַטור קאָנטראָל סיסטעם, וואַקוום סיסטעם, אַרגאָן סיסטעם און וואַסער קאָאָלינג סיסטעם באזירט אויף די סיגנאַלז. פֿאַר בייַשפּיל, בעשאַס די קריסטאַל וווּקס פּראָצעס, די עלעקטריקאַל קאָנטראָל סיסטעם קענען אויטאָמאַטיש סטרויערן די באַהיצונג מאַכט לויט די טעמפּעראַטור סיגנאַל פעד צוריק דורך די טעמפּעראַטור סענסער; לויט צו דער וווּקס פון די קריסטאַל, עס קענען קאָנטראָלירן די באַוועגונג גיכקייַט און ראָוטיישאַן ווינקל פון די זוימען קריסטאַל און קרוסיבלע. אין דער זעלביקער צייט, די עלעקטריקאַל קאָנטראָל סיסטעם אויך האט שולד דיאַגנאָסיס און שרעק פאַנגקשאַנז, וואָס קענען דעטעקט אַבנאָרמאַל טנאָים פון די ויסריכט אין צייט און ענשור די זיכער אָפּעראַציע פון די ויסריכט.
פּאָסטן צייט: 23-2024 סעפטעמבער