סינטערעד סיליציום קאַרבידע איז אַ וויכטיק סעראַמיק מאַטעריאַל, וויידלי געניצט אין הויך טעמפּעראַטור, הויך דרוק און הויך שטאַרקייַט פעלדער. ריאַקטיוו סינטערינג פון SIC איז אַ שליסל שריט אין פּריפּערינג סינטערעד SIC מאַטעריאַלס. די אָפּטימאַל קאָנטראָל פון סינטערינג SIC אָפּרוף קענען העלפֿן אונדז קאָנטראָלירן אָפּרוף צושטאַנד און פֿאַרבעסערן פּראָדוקט קוואַליטעט. די אָפּטימאַל קאָנטראָל אופֿן פון סינטערעד סיליציום קאַרבידע אָפּרוף איז דיסקאַסט אין דעם פּאַפּיר.
1. אָפּטימיזאַטיאָן פון אָפּרוף סינטערינג סיק טנאָים
רעאַקציע טנאָים זענען וויכטיק פּאַראַמעטערס פון סינטערעד סיליציום קאַרבידע אָפּרוף, אַרייַנגערעכנט אָפּרוף טעמפּעראַטור, אָפּרוף דרוק, רעאַקטאַנט מאַסע פאַרהעלטעניש און אָפּרוף צייט. ווען אָפּטימיזינג די אָפּרוף טנאָים, עס איז נייטיק צו סטרויערן לויט די ספּעציפיש אַפּלאַקיישאַן רעקווירעמענץ און אָפּרוף מעקאַניזאַם.
(1) אָפּרוף טעמפּעראַטור: אָפּרוף טעמפּעראַטור איז איינער פון די שליסל סיבות וואָס ווירקן אָפּרוף גיכקייַט און פּראָדוקט קוואַליטעט. אין אַ זיכער קייט, די העכער די אָפּרוף טעמפּעראַטור, די פאַסטער די אָפּרוף גיכקייַט, די העכער די פּראָדוקט קוואַליטעט. אָבער, צו הויך אָפּרוף טעמפּעראַטור וועט פירן צו די פאַרגרעסערן פון פּאָרעס און קראַקס אין די פּראָדוקט, אַפעקטינג די קוואַליטעט פון די פּראָדוקט.
(2) אָפּרוף דרוק: אָפּרוף דרוק אויך האט אַ פּראַל אויף אָפּרוף גיכקייַט און פּראָדוקט געדיכטקייַט. אין אַ זיכער קייט, די העכער די אָפּרוף דרוק, די פאַסטער די אָפּרוף גיכקייַט און די העכער די פּראָדוקט געדיכטקייַט. אָבער, צו הויך אָפּרוף דרוק קענען אויך פירן צו מער פּאָרעס און קראַקס אין די פּראָדוקט.
(3) רעאַקטאַנט מאַסע פאַרהעלטעניש: רעאַקטאַנט מאַסע פאַרהעלטעניש איז אן אנדער וויכטיק פאַקטאָר וואָס אַפעקץ אָפּרוף גיכקייַט און פּראָדוקט קוואַליטעט. ווען די מאַסע פאַרהעלטעניש פון טשאַד צו סיליציום איז צונעמען, אָפּרוף קורס און פּראָדוקט מאַסע. אויב די רעאַקטאַנט מאַסע פאַרהעלטעניש איז נישט צונעמען, דאָס וועט ווירקן די אָפּרוף קורס און פּראָדוקט מאַסע.
(4) אָפּרוף צייט: אָפּרוף צייט איז איינער פון די סיבות וואָס ווירקן אָפּרוף גיכקייַט און פּראָדוקט קוואַליטעט. אין אַ זיכער קייט, די מער די אָפּרוף צייט, די סלאָוער די אָפּרוף גיכקייַט און די העכער די פּראָדוקט קוואַליטעט. אָבער, צו לאַנג אָפּרוף צייט וועט פירן צו די פאַרגרעסערן פון פּאָרעס און קראַקס אין די פּראָדוקט, אַפעקטינג די קוואַליטעט פון די פּראָדוקט.
2. פּראָצעס קאָנטראָל פון ריאַקטיוו סינטערינג סיליציום קאַרבידע
אין דעם פּראָצעס פון סינטערינג SIC אָפּרוף, עס איז נייטיק צו קאָנטראָלירן די אָפּרוף פּראָצעס. די אָביעקטיוו פון קאָנטראָל איז צו ענשור די פעסטקייַט פון דער אָפּרוף און די קאָנסיסטענסי פון די פּראָדוקט קוואַליטעט. אָפּרוף פּראָצעס קאָנטראָל כולל טעמפּעראַטור קאָנטראָל, דרוק קאָנטראָל, אַטמאָספער קאָנטראָל און רעאַקטאַנט קוואַליטעט קאָנטראָל.
(1) טעמפּעראַטור קאָנטראָל: טעמפּעראַטור קאָנטראָל איז איינער פון די וויכטיק אַספּעקץ פון אָפּרוף פּראָצעס קאָנטראָל. טעמפּעראַטור קאָנטראָל דער אָפּרוף טעמפּעראַטור זאָל זיין קאַנטראָולד ווי פּונקט ווי מעגלעך צו ענשור די פעסטקייַט פון דער אָפּרוף פּראָצעס און קאָנסיסטענט פּראָדוקט קוואַליטעט. אין מאָדערן פּראָדוקציע, די קאָמפּיוטער קאָנטראָל סיסטעם איז יוזשאַוואַלי געניצט צו אַקיעראַטלי קאָנטראָלירן די אָפּרוף טעמפּעראַטור.
(2) דרוק קאָנטראָל: דרוק קאָנטראָל איז אן אנדער וויכטיק אַספּעקט פון אָפּרוף פּראָצעס קאָנטראָל. דורך קאַנטראָולינג די אָפּרוף דרוק, די פעסטקייַט פון דער אָפּרוף פּראָצעס און די קאָנסיסטענסי פון פּראָדוקט קוואַליטעט קענען זיין ינשורד. אין מאָדערן פּראָדוקציע, די קאָמפּיוטער קאָנטראָל סיסטעם איז יוזשאַוואַלי געניצט צו אַקיעראַטלי קאָנטראָלירן די אָפּרוף דרוק.
(3) אַטמאָספער קאָנטראָל: אַטמאָספער קאָנטראָל רעפערס צו די נוצן פון ספּעציפיש אַטמאָספער (אַזאַ ווי ינערט אַטמאָספער) אין דער אָפּרוף פּראָצעס צו קאָנטראָלירן די אָפּרוף פּראָצעס. דורך קאַנטראָולינג די אַטמאָספער, די פעסטקייַט פון דער אָפּרוף פּראָצעס און די קאָנסיסטענסי פון פּראָדוקט קוואַליטעט קענען זיין ינשורד. אין מאָדערן פּראָדוקציע, קאָמפּיוטער קאָנטראָל סיסטעם איז יוזשאַוואַלי געניצט צו קאָנטראָלירן די אַטמאָספער.
(4) רעאַקטאַנט קוואַליטעט קאָנטראָל: רעאַקטאַנט קוואַליטעט קאָנטראָל איז איינער פון די וויכטיק אַספּעקץ צו ענשור די פעסטקייַט פון דער אָפּרוף פּראָצעס און די קאָנסיסטענסי פון פּראָדוקט קוואַליטעט. דורך קאַנטראָולינג די קוואַליטעט פון די רעאַקטאַנץ, די פעסטקייַט פון דער אָפּרוף פּראָצעס און די קאָנסיסטענסי פון די פּראָדוקט קוואַליטעט קענען זיין ינשורד. אין מאָדערן פּראָדוקציע, קאָמפּיוטער קאָנטראָל סיסטעם איז יוזשאַוואַלי געניצט צו קאָנטראָלירן די קוואַליטעט פון רעאַקטאַנץ.
אָפּטימאַל קאָנטראָל פון ריאַקטיוו סינטערינג SIC איז אַ שליסל שריט צו צוגרייטן הויך קוואַליטעט סינטערעד SIC מאַטעריאַלס. דורך אָפּטימיזינג אָפּרוף טנאָים, קאַנטראָולינג אָפּרוף פּראָצעס און מאָניטאָרינג אָפּרוף פּראָדוקטן, די פעסטקייַט פון אָפּרוף פּראָצעס און קאָנסיסטענסי פון פּראָדוקט קוואַליטעט קענען זיין ינשורד. אין פּראַקטיש אַפּלאַקיישאַן, דער אָפּרוף פון סינטערעד סיליציום קאַרבידע דאַרף זיין אַדזשאַסטיד לויט צו ספּעציפיש אַפּלאַקיישאַן סינעריאָוז צו טרעפן פאַרשידענע אַפּלאַקיישאַנז.
פּאָסטן צייט: יוני-05-2023