סיק קאָוטאַד גראַפייט באַסעס זענען קאַמאַנלי געניצט צו שטיצן און היץ איין קריסטאַל סאַבסטרייץ אין מעטאַל-אָרגאַניק כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (MOCVD) ויסריכט. די טערמאַל פעסטקייַט, טערמאַל יונאַפאָרמאַטי און אנדערע פאָרשטעלונג פּאַראַמעטערס פון סיק קאָוטאַד גראַפייט באַזע שפּילן אַ באַשטימענדיק ראָלע אין די קוואַליטעט פון עפּיטאַקסיאַל מאַטעריאַל וווּקס, אַזוי עס איז די האַרץ שליסל קאָמפּאָנענט פון MOCVD ויסריכט.
אין דעם פּראָצעס פון ווייפער מאַנופאַקטורינג, עפּיטאַקסיאַל לייַערס זענען ווייַטער קאַנסטראַקטאַד אויף עטלעכע ווייפער סאַבסטרייץ צו פאַסילאַטייט די מאַנופאַקטורינג פון דעוויסעס. טיפּיש געפירט ליכט-ימיטינג דעוויסעס דאַרפֿן צו צוגרייטן עפּיטאַקסיאַל לייַערס פון גאַאַס אויף סיליציום סאַבסטרייץ; די סיק עפּיטאַקסיאַל שיכטע איז דערוואַקסן אויף די קאַנדאַקטיוו סיק סאַבסטרייט פֿאַר די קאַנסטראַקשאַן פון דעוויסעס אַזאַ ווי SBD, MOSFET, אאז"ו ו, פֿאַר הויך וואָולטידזש, הויך קראַנט און אנדערע מאַכט אַפּלאַקיישאַנז; GaN עפּיטאַקסיאַל שיכטע איז קאַנסטראַקטאַד אויף האַלב-ינסאַלייטיד סיק סאַבסטרייט צו בויען HEMT און אנדערע דעוויסעס פֿאַר רף אַפּלאַקיישאַנז אַזאַ ווי קאָמוניקאַציע. דער פּראָצעס איז ינסעפּעראַבאַל פון CVD ויסריכט.
אין די CVD ויסריכט, די סאַבסטרייט קענען ניט זיין געשטעלט גלייַך אויף די מעטאַל אָדער פשוט געשטעלט אויף אַ באַזע פֿאַר עפּיטאַקסיאַל דעפּאַזישאַן, ווייַל עס ינוואַלווז די גאַז לויפן (האָריזאָנטאַל, ווערטיקאַל), טעמפּעראַטור, דרוק, פיקסיישאַן, שעדינג פון פּאַלוטאַנץ און אנדערע אַספּעקץ פון די השפּעה סיבות. דעריבער, עס איז נייטיק צו נוצן אַ באַזע און שטעלן די סאַבסטרייט אויף די דיסק, און דעמאָלט נוצן CVD טעכנאָלאָגיע צו עפּיטאַקסיאַל דעפּאַזישאַן אויף די סאַבסטרייט, וואָס איז די סיק קאָוטאַד גראַפייט באַזע (אויך באקאנט ווי די טאַץ).
סיק קאָוטאַד גראַפייט באַסעס זענען קאַמאַנלי געניצט צו שטיצן און היץ איין קריסטאַל סאַבסטרייץ אין מעטאַל-אָרגאַניק כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (MOCVD) ויסריכט. די טערמאַל פעסטקייַט, טערמאַל יונאַפאָרמאַטי און אנדערע פאָרשטעלונג פּאַראַמעטערס פון סיק קאָוטאַד גראַפייט באַזע שפּילן אַ באַשטימענדיק ראָלע אין די קוואַליטעט פון עפּיטאַקסיאַל מאַטעריאַל וווּקס, אַזוי עס איז די האַרץ שליסל קאָמפּאָנענט פון MOCVD ויסריכט.
מעטאַל-אָרגאַניק כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (MOCVD) איז די מיינסטרים טעכנאָלאָגיע פֿאַר די עפּיטאַקסיאַל וווּקס פון GaN פילמס אין בלוי געפירט. עס האט די אַדוואַנטידזשיז פון פּשוט אָפּעראַציע, קאַנטראָולאַבאַל וווּקס קורס און הויך ריינקייַט פון GaN פילמס. ווי אַ וויכטיק קאָמפּאָנענט אין דער אָפּרוף קאַמער פון MOCVD ויסריכט, די שייַכעס באַזע געניצט פֿאַר גאַן פילם עפּיטאַקסיאַל גראָוט דאַרף האָבן די אַדוואַנטידזשיז פון הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, מונדיר טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, גוט כעמישער פעסטקייַט, שטאַרק טערמאַל קלאַפּ קעגנשטעל, אאז"ו ו. די אויבן באדינגונגען.
ווי איינער פון די האַרץ קאַמפּאָונאַנץ פון MOCVD עקוויפּמענט, גראַפייט באַזע איז די טרעגער און באַהיצונג גוף פון די סאַבסטרייט, וואָס גלייך דיטערמאַנז די יונאַפאָרמאַטי און ריינקייַט פון די פילם מאַטעריאַל, אַזוי די קוואַליטעט איז גלייַך אַפעקץ די צוגרייטונג פון די עפּיטאַקסיאַל בויגן, און אין דער זעלביקער צייט. צייט, מיט די פאַרגרעסערן פון די נומער פון ניצט און די ענדערונג פון אַרבעט טנאָים, עס איז זייער גרינג צו טראָגן, בילאָנגינג צו די קאָנסומאַבלעס.
כאָטש גראַפייט האט ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און פעסטקייַט, עס האט אַ גוט מייַלע ווי אַ באַזע קאָמפּאָנענט פון MOCVD ויסריכט, אָבער אין די פּראָדוקציע פּראָצעס, גראַפיטע וועט קעראָוד די פּודער רעכט צו דער רעזאַדו פון קעראָוסיוו גאַסאַז און מעטאַלליק אָרגאַניקס, און די דינסט לעבן פון די גראַפייט באַזע וועט זיין זייער רידוסט. אין דער זעלביקער צייַט, די פאַלינג גראַפייט פּודער וועט פאַרשאַפן פאַרפּעסטיקונג צו די שפּאָן.
די ימערדזשאַנס פון קאָוטינג טעכנאָלאָגיע קענען צושטעלן ייבערפלאַך פּודער פיקסיישאַן, פאַרבעסערן טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און יקוואַלייז היץ פאַרשפּרייטונג, וואָס איז געווארן די הויפּט טעכנאָלאָגיע צו סאָלווע דעם פּראָבלעם. גראַפיטע באַזע אין MOCVD ויסריכט נוצן סוויווע, גראַפיטע באַזע ייבערפלאַך קאָוטינג זאָל טרעפן די פאלגענדע קעראַקטעריסטיקס:
(1) די גראַפיטע באַזע קענען זיין גאָר אלנגעוויקלט, און די געדיכטקייַט איז גוט, אַנדערש די גראַפייט באַזע איז גרינג צו קעראָוד אין די קעראָוסיוו גאַז.
(2) די קאָמבינאַציע שטאַרקייַט מיט די גראַפייט באַזע איז הויך צו ענשור אַז די קאָוטינג איז נישט גרינג צו פאַלן אַוועק נאָך עטלעכע הויך טעמפּעראַטור און נידעריק טעמפּעראַטור סייקאַלז.
(3) עס האט גוט כעמישער פעסטקייַט צו ויסמיידן קאָוטינג דורכפאַל אין הויך טעמפּעראַטור און קעראָוסיוו אַטמאָספער.
סיק האט די אַדוואַנטידזשיז פון קעראָוזשאַן קעגנשטעל, הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, טערמאַל קלאַפּ קעגנשטעל און הויך כעמישער פעסטקייַט, און קענען אַרבעט געזונט אין GaN עפּיטאַקסיאַל אַטמאָספער. אין אַדישאַן, די טערמאַל יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט פון סיק דיפערז זייער קליין פון די פון גראַפייט, אַזוי סיק איז די בילכער מאַטעריאַל פֿאַר די ייבערפלאַך קאָוטינג פון גראַפייט באַזע.
דערווייַל, דער פּראָסט SiC איז דער הויפּט 3C, 4H און 6H טיפּ, און די SiC ניצט פון פאַרשידענע קריסטאַל טייפּס זענען אַנדערש. פֿאַר בייַשפּיל, 4H-SiC קענען פּראָדוצירן הויך-מאַכט דעוויסעס; 6H-SiC איז די מערסט סטאַביל און קענען פּראָדוצירן פאָטאָעלעקטריק דעוויסעס; ווייַל פון זיין ענלעך סטרוקטור צו GaN, 3C-SiC קענען ווערן גענוצט צו פּראָדוצירן GaN עפּיטאַקסיאַל שיכטע און פּראָדוצירן SiC-GaN רף דעוויסעס. 3C-SiC איז אויך קאַמאַנלי באקאנט ווי β-SiC, און אַ וויכטיק נוצן פון β-SiC איז ווי אַ פילם און קאָוטינג מאַטעריאַל, אַזוי β-SiC איז דערווייַל דער הויפּט מאַטעריאַל פֿאַר קאָוטינג.
פּאָסטן צייט: Aug-04-2023