רעקריסטאַלליזעדסיליציום קאַרבידע (רסיק) סעראַמיקסזענען אהויך-פאָרשטעלונג סעראַמיק מאַטעריאַל. רעכט צו זייַן ויסגעצייכנט הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל און הויך כאַרדנאַס, עס איז וויידלי געניצט אין פילע פעלדער, אַזאַ ווי סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג, פאָטאָוואָלטאַיק אינדוסטריע, הויך טעמפּעראַטור אויוון און כעמישער ויסריכט. מיט די ינקריסינג פאָדערונג פֿאַר הויך-פאָרשטעלונג מאַטעריאַלס אין מאָדערן אינדוסטריע, די פאָרשונג און אַנטוויקלונג פון רעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע סעראַמיקס איז דיפּאַנינג.
1. צוגרייטונג טעכנאָלאָגיע פוןרעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע סעראַמיקס
דער צוגרייטונג טעכנאָלאָגיע פון רעקריסטאַלליזעדסיליציום קאַרבידע סעראַמיקסדער הויפּט כולל צוויי מעטהאָדס: פּודער סינטערינג און פארע דעפּאַזישאַן (CVD). צווישן זיי, די פּודער סינטערינג אופֿן איז צו סינטער סיליציום קאַרבידע פּודער אונטער הויך טעמפּעראַטור סוויווע אַזוי אַז סיליציום קאַרבידע פּאַרטיקאַלז פאָרעם אַ געדיכט סטרוקטור דורך דיפיוזשאַן און רעקריסטאַלליזאַטיאָן צווישן גריינז. דער פארע דעפּאַזישאַן אופֿן איז צו אַוועקלייגן סיליציום קאַרבידע אויף די ייבערפלאַך פון די סאַבסטרייט דורך אַ כעמישער פארע אָפּרוף ביי הויך טעמפּעראַטור, דערמיט פאָרמינג אַ הויך-ריינקייַט סיליציום קאַרבידע פילם אָדער סטראַקטשעראַל טיילן. די צוויי טעקנאַלאַדזשיז האָבן זייער אייגענע אַדוואַנטידזשיז. די פּודער סינטערינג אופֿן איז פּאַסיק פֿאַר גרויס-וואָג פּראָדוקציע און האט נידעריק פּרייַז, בשעת די פארע דעפּאַזישאַן אופֿן קענען צושטעלן העכער ריינקייַט און דענסער סטרוקטור, און איז וויידלי געניצט אין די סעמיקאַנדאַקטער פעלד.
2. מאַטעריאַל פּראָפּערטיעס פוןרעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע סעראַמיקס
די בוילעט כאַראַקטעריסטיש פון רעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע סעראַמיקס איז זייַן ויסגעצייכנט פאָרשטעלונג אין הויך טעמפּעראַטור ינווייראַנמאַנץ. די מעלטינג פונט פון דעם מאַטעריאַל איז ווי הויך ווי 2700 ° C, און עס האט גוט מעטשאַניקאַל שטאַרקייַט אין הויך טעמפּעראַטורעס. אין אַדישאַן, רעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע אויך האט ויסגעצייכנט אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל און קעראָוזשאַן קעגנשטעל, און קענען בלייַבן סטאַביל אין עקסטרעם כעמיש ינווייראַנמאַנץ. דעריבער, RSiC סעראַמיקס איז וויידלי געניצט אין די פעלד פון הויך-טעמפּעראַטור אויוון, הויך-טעמפּעראַטור ראַפראַקטערי מאַטעריאַלס און כעמישער ויסריכט.
אין אַדישאַן, רעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע האט אַ הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און קענען יפעקטיוולי פירן היץ, וואָס מאכט עס אַ וויכטיק אַפּלאַקיישאַן ווערט איןMOCVD רעאַקטאָרסאון היץ באַהאַנדלונג ויסריכט אין סעמיקאַנדאַקטער ווייפער מאַנופאַקטורינג. זייַן הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און טערמאַל קלאַפּ קעגנשטעל ענשור די פאַרלאָזלעך אָפּעראַציע פון די עקוויפּמענט אונטער עקסטרעם טנאָים.
3. אַפּפּליקאַטיאָן פעלדער פון רעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע סעראַמיקס
סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג: אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, רעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע סעראַמיקס זענען געניצט צו פּראָדוצירן סאַבסטרייץ און שטיצן אין MOCVD רעאַקטאָרס. רעכט צו זייַן הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל און הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, RSiC מאַטעריאַלס קענען האַלטן סטאַביל פאָרשטעלונג אין קאָמפּלעקס כעמיש אָפּרוף ינווייראַנמאַנץ, ינשורינג די קוואַליטעט און טראָגן פון סעמיקאַנדאַקטער ווייפערז.
פאָטאָוואָלטאַיק אינדוסטריע: אין די פאָטאָוואָלטאַיק אינדוסטריע, RSiC איז געניצט צו פּראָדוצירן די שטיצן סטרוקטור פון קריסטאַל גראָוט ויסריכט. זינט קריסטאַל וווּקס דאַרף זיין דורכגעקאָכט ביי הויך טעמפּעראַטור בעשאַס די מאַנופאַקטורינג פּראָצעס פון פאָטאָוואָלטאַיק סעלז, די היץ קעגנשטעל פון רעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע ינשורז די לאַנג-טערמין סטאַביל אָפּעראַציע פון די ויסריכט.
הויך-טעמפּעראַטור אויוון: RSiC סעראַמיקס זענען אויך וויידלי געניצט אין הויך-טעמפּעראַטור אויוון, אַזאַ ווי ליינינגז און קאַמפּאָונאַנץ פון וואַקוום פערנאַסאַז, מעלטינג אויוון און אנדערע ויסריכט. זייַן טערמאַל קלאַפּ קעגנשטעל און אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל מאַכן עס איינער פון די יראַפּלייסאַבאַל מאַטעריאַלס אין הויך-טעמפּעראַטור ינדאַסטריז.
4. פאָרשונג ריכטונג פון רעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע סעראַמיקס
מיט די גראָוינג פאָדערונג פֿאַר הויך-פאָרשטעלונג מאַטעריאַלס, די פאָרשונג ריכטונג פון רעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע סעראַמיקס האט ביסלעכווייַז ווערן קלאָר. צוקונפֿט פאָרשונג וועט פאָקוס אויף די פאלגענדע אַספּעקץ:
ימפּרוווינג מאַטעריאַל ריינקייַט: אין סדר צו טרעפן העכער ריינקייַט רעקווירעמענץ אין די סעמיקאַנדאַקטער און פאָטאָוואָלטאַיק פעלדער, ריסערטשערז ויספאָרשן וועגן צו פֿאַרבעסערן די ריינקייַט פון RSiC דורך ימפּרוווינג פארע דעפּאַזישאַן טעכנאָלאָגיע אָדער ינטראָודוסינג נייַ רוי מאַטעריאַלס, דערמיט ימפּרוווינג זייַן אַפּלאַקיישאַן ווערט אין די הויך-טעק פעלדער. .
אָפּטימיזינג מיקראָסטרוקטורע: דורך קאַנטראָולינג די סינטערינג טנאָים און די פאַרשפּרייטונג פון פּודער פּאַרטיקאַלז, די מיקראָסטרוקטורע פון רעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע קענען זיין ווייַטער אָפּטימיזעד, דערמיט ימפּרוווינג זייַן מעטשאַניקאַל פּראָפּערטיעס און טערמאַל קלאַפּ קעגנשטעל.
פאַנגקשאַנאַל קאַמפּאַזאַט מאַטעריאַלס: אין סדר צו אַדאַפּט צו מער קאָמפּליצירט נוצן ינווייראַנמאַנץ, ריסערטשערז זענען טריינג צו פאַרבינדן RSiC מיט אנדערע מאַטעריאַלס צו אַנטוויקלען קאַמפּאַזאַט מאַטעריאַלס מיט מולטיפונקטיאָנאַל פּראָפּערטיעס, אַזאַ ווי רעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע-באזירט קאַמפּאַזאַט מאַטעריאַלס מיט העכער טראָגן קעגנשטעל און עלעקטריקאַל קאַנדאַקטיוואַטי.
5. מסקנא
ווי אַ הויך-פאָרשטעלונג מאַטעריאַל, רעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע סעראַמיקס איז וויידלי געניצט אין פילע פעלדער רעכט צו זייער ויסגעצייכנט פּראָפּערטיעס אין הויך טעמפּעראַטור, אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל און קעראָוזשאַן קעגנשטעל. צוקונפֿט פאָרשונג וועט פאָקוס אויף ימפּרוווינג מאַטעריאַל ריינקייַט, אָפּטימיזינג מיקראָסטרוקטורע און דעוועלאָפּינג קאַמפּאַזאַט פאַנגקשאַנאַל מאַטעריאַלס צו טרעפן די גראָוינג ינדאַסטרי באדערפענישן. דורך די טעקנאַלאַדזשיקאַל ינאָווויישאַנז, רעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע סעראַמיקס איז געריכט צו שפּילן אַ גרעסערע ראָלע אין מער הויך-טעק פעלדער.
פּאָסטן צייט: 24 אקטאבער 2024