סינטערעד סיליציום קאַרבידע איז אַ וויכטיק סעראַמיק מאַטעריאַל וואָס איז וויידלי געניצט אין הויך טעמפּעראַטור, הויך דרוק און הויך שטאַרקייַט פעלדער. רעאַקציע סינטערינג פון סיק איז אַ שליסל שריט אין פּריפּערינג סינטערעד SIC מאַטעריאַלס. די אָפּטימאַל קאָנטראָל פון סינטערעד סיליציום קאַרבידע אָפּרוף קענען העלפֿן אונדז בעסער קאָנטראָלירן אָפּרוף טנאָים און פֿאַרבעסערן פּראָדוקט קוואַליטעט.
1. אָפּטימיזאַטיאָן פון אָפּרוף סינטערינג סיליציום קאַרבידע טנאָים
רעאַקציע טנאָים זענען וויכטיק פּאַראַמעטערס פון סינטערעד סיליציום קאַרבידע אָפּרוף, אַרייַנגערעכנט אָפּרוף טעמפּעראַטור, אָפּרוף דרוק, רעאַקטאַנט מאַסע פאַרהעלטעניש און אָפּרוף צייט. ווען אָפּטימיזינג די אָפּרוף טנאָים, עס איז נייטיק צו סטרויערן לויט די ספּעציפיש אַפּלאַקיישאַן רעקווירעמענץ און אָפּרוף מעקאַניזאַם.
(1) אָפּרוף טעמפּעראַטור: אָפּרוף טעמפּעראַטור איז איינער פון די שליסל סיבות וואָס ווירקן די אָפּרוף גיכקייַט און פּראָדוקט קוואַליטעט. אין אַ זיכער קייט, די העכער די אָפּרוף טעמפּעראַטור, די פאַסטער די אָפּרוף גיכקייַט און די העכער די פּראָדוקט קוואַליטעט. אָבער, צו הויך אָפּרוף טעמפּעראַטור וועט אויך פירן צו די פאַרגרעסערן פון פּאָרעס און קראַקס אין די פּראָדוקט, אַפעקטינג די קוואַליטעט פון די פּראָדוקט.
(2) אָפּרוף דרוק: אָפּרוף דרוק אויך האט אַ ווירקונג אויף אָפּרוף גיכקייַט און פּראָדוקט געדיכטקייַט. אין אַ זיכער קייט, די העכער די אָפּרוף דרוק, די פאַסטער די אָפּרוף גיכקייַט און די העכער די פּראָדוקט געדיכטקייַט. אָבער, צו הויך אָפּרוף דרוק קענען אויך פירן צו אַ פאַרגרעסערן אין פּאָרעס און קראַקס אין די פּראָדוקט.
(3) רעאַקטאַנט מאַסע פאַרהעלטעניש: די רעאַקטאַנט מאַסע פאַרהעלטעניש איז אן אנדער וויכטיק פאַקטאָר וואָס אַפעקץ די אָפּרוף גיכקייַט און פּראָדוקט קוואַליטעט. ווען די מאַסע פאַרהעלטעניש פון טשאַד צו סיליציום איז צונעמען, די אָפּרוף קורס און פּראָדוקט קוואַליטעט. אויב די רעאַקטאַנט מאַסע פאַרהעלטעניש איז נישט צונעמען, דאָס וועט ווירקן די אָפּרוף גיכקייַט און פּראָדוקט קוואַליטעט.
(4) אָפּרוף צייט: אָפּרוף צייט איז איינער פון די סיבות וואָס ווירקן די אָפּרוף גיכקייַט און פּראָדוקט קוואַליטעט. אין אַ זיכער קייט, די מער די אָפּרוף צייט, די סלאָוער די אָפּרוף גיכקייַט און די העכער די פּראָדוקט קוואַליטעט. אָבער, צו לאַנג אָפּרוף צייט וועט אויך פירן צו די פאַרגרעסערן פון פּאָרעס און קראַקס אין די פּראָדוקט, אַפעקטינג די קוואַליטעט פון די פּראָדוקט.
2. רעאַקטיאָן-סינטערינג סיליציום קאַרבידע פּראָצעס קאָנטראָל
אין דער אָפּרוף פּראָצעס פון סינטערעד סיליציום קאַרבידע, עס איז נייטיק צו קאָנטראָלירן די אָפּרוף פּראָצעס. דער ציל פון קאָנטראָל איז צו ענשור אַז דער אָפּרוף איז סטאַביל און די פּראָדוקט קוואַליטעט איז קאָנסיסטענט. די קאָנטראָל פון אָפּרוף פּראָצעס כולל טעמפּעראַטור קאָנטראָל, דרוק קאָנטראָל, אַטמאָספער קאָנטראָל און רעאַקטאַנט קוואַליטעט קאָנטראָל.
(1) טעמפּעראַטור קאָנטראָל: טעמפּעראַטור קאָנטראָל איז איינער פון די וויכטיק אַספּעקץ פון אָפּרוף פּראָצעס קאָנטראָל. טעמפּעראַטור קאָנטראָל די אָפּרוף טעמפּעראַטור זאָל זיין קאַנטראָולד ווי גענוי ווי מעגלעך צו ענשור אַ סטאַביל אָפּרוף פּראָצעס און קאָנסיסטענט פּראָדוקט קוואַליטעט. אין מאָדערן פּראָדוקציע, די קאָמפּיוטער קאָנטראָל סיסטעם איז יוזשאַוואַלי געניצט צו אַקיעראַטלי קאָנטראָלירן די אָפּרוף טעמפּעראַטור.
(2) דרוק קאָנטראָל: דרוק קאָנטראָל איז אן אנדער וויכטיק אַספּעקט פון אָפּרוף פּראָצעס קאָנטראָל. דורך קאַנטראָולינג די אָפּרוף דרוק, די פעסטקייַט פון דער אָפּרוף פּראָצעס און די קאָנסיסטענסי פון פּראָדוקט קוואַליטעט קענען זיין ינשורד. אין מאָדערן פּראָדוקציע, די קאָמפּיוטער קאָנטראָל סיסטעם איז יוזשאַוואַלי געניצט צו אַקיעראַטלי קאָנטראָלירן די אָפּרוף דרוק.
(3) אַטמאָספער קאָנטראָל: אַטמאָספער קאָנטראָל רעפערס צו די נוצן פון אַ ספּעציפיש אַטמאָספער (אַזאַ ווי אַ ינערט אַטמאָספער) אין דער אָפּרוף פּראָצעס צו קאָנטראָלירן די אָפּרוף פּראָצעס. דורך קאַנטראָולינג די אַטמאָספער, עס איז מעגלעך צו ענשור די פעסטקייַט פון דער אָפּרוף פּראָצעס און די קאָנסיסטענסי פון די פּראָדוקט קוואַליטעט. אין מאָדערן פּראָדוקציע, די אַטמאָספער איז יוזשאַוואַלי קאַנטראָולד דורך קאָמפּיוטער קאָנטראָל סיסטעם.
(4) רעאַקטאַנט קוואַליטעט קאָנטראָל: רעאַקטאַנט קוואַליטעט קאָנטראָל איז איינער פון די וויכטיק אַספּעקץ צו ענשור די פעסטקייַט פון דער אָפּרוף פּראָצעס און די קאָנסיסטענסי פון פּראָדוקט קוואַליטעט. דורך קאַנטראָולינג די קוואַליטעט פון די רעאַקטאַנץ, די פעסטקייַט פון דער אָפּרוף פּראָצעס און די קאָנסיסטענסי פון די פּראָדוקט קוואַליטעט קענען זיין ינשורד. אין מאָדערן פּראָדוקציע, קאָמפּיוטער קאָנטראָל סיסטעם איז יוזשאַוואַלי געניצט צו קאָנטראָלירן די קוואַליטעט פון רעאַקטאַנץ.
די אָפּטימאַל קאָנטראָל פון אָפּרוף-סינטערד סיליציום קאַרבידע איז דער שליסל שריט צו צוגרייטן הויך קוואַליטעט סינטערעד סיליציום קאַרבידע מאַטעריאַלס. דורך אָפּטימיזינג די אָפּרוף טנאָים, קאַנטראָולינג די אָפּרוף פּראָצעס און מאָניטאָרינג די אָפּרוף פּראָדוקטן, די פעסטקייַט פון דער אָפּרוף פּראָצעס און די קאָנסיסטענסי פון די פּראָדוקט קוואַליטעט קענען זיין ינשורד. אין פּראַקטיש אַפּלאַקיישאַנז, די סינטערעד סיליציום קאַרבידע אָפּרוף דאַרף זיין אַדזשאַסטיד לויט צו ספּעציפיש אַפּלאַקיישאַן סינעריאָוז צו טרעפן פאַרשידענע אַפּלאַקיישאַנז.
פּאָסטן צייט: יולי-06-2023