ווען סיליציום קאַרבידע קריסטאַל וואקסט, די "סוויווע" פון די גראָוט צובינד צווישן די אַקסיאַל צענטער פון די קריסטאַל און די ברעג איז אַנדערש, אַזוי אַז די קריסטאַל דרוק אויף דעם ברעג ינקריסיז, און די קריסטאַל ברעג איז גרינג צו פּראָדוצירן "פולשטענדיק חסרונות" צו דער השפּעה פון די גראַפייט האַלטן רינג "טשאַד", ווי צו סאָלווע די ברעג פּראָבלעם אָדער פאַרגרעסערן די עפעקטיוו געגנט פון דעם צענטער (מער ווי 95%) איז אַ וויכטיק טעכניש טעמע.
ווי מאַקראָו חסרונות אַזאַ ווי "מיקראָטובולעס" און "ינקלוזשאַנז" זענען ביסלעכווייַז קאַנטראָולד דורך די אינדוסטריע, טשאַלאַנדזשינג סיליציום קאַרבידע קריסטאַלז צו "וואַקסן שנעל, לאַנג און דיק און וואַקסן אַרויף", די ברעג "פולשטענדיק חסרונות" זענען אַבנאָרמאַלי באַוווסט, און מיט די פאַרגרעסערן אין דיאַמעטער און גרעב פון סיליציום קאַרבידע קריסטאַלז, די ברעג "פולשטענדיק חסרונות" וועט זיין געמערט דורך די דיאַמעטער קוואַדראַט און גרעב.
די נוצן פון טאַנטאַלום קאַרבידע טאַק קאָוטינג איז צו סאָלווע די ברעג פּראָבלעם און פֿאַרבעסערן די קוואַליטעט פון קריסטאַל וווּקס, וואָס איז איינער פון די האַרץ טעכניש אינסטרוקציעס פון "גראָוינג שנעל, גראָוינג דיק און וואַקסן אַרויף". אין סדר צו העכערן די אַנטוויקלונג פון ינדאַסטרי טעכנאָלאָגיע און סאָלווע די "אַרייַנפיר" אָפענגיקייַט פון שליסל מאַטעריאַלס, Hengpu האט ברייקטרו סאַלווד די טאַנטאַלום קאַרבידע קאָוטינג טעכנאָלאָגיע (CVD) און ריטשט די אינטערנאַציאָנאַלע אַוואַנסירטע מדרגה.
טאַנטאַלום קאַרבידע טאַק קאָוטינג, פֿון דער פּערספּעקטיוו פון מעקייַעם איז נישט שווער, מיט סינטערינג, קווד און אנדערע מעטהאָדס זענען גרינג צו דערגרייכן. סינטערינג אופֿן, די נוצן פון טאַנטאַלום קאַרבידע פּודער אָדער פּריקערסער, אַדינג אַקטיוו ינגרידיאַנץ (בכלל מעטאַל) און באַנדינג אַגענט (בכלל לאַנג קייט פּאָלימער), קאָוטאַד צו די ייבערפלאַך פון די גראַפיטע סאַבסטרייט סינטערד אין הויך טעמפּעראַטור. לויט CVD אופֿן, TaCl5 + H2 + CH4 איז געווען דאַפּאַזיטיד אויף די ייבערפלאַך פון גראַפייט מאַטריץ ביי 900-1500 ℃.
אָבער, די גרונט פּאַראַמעטערס אַזאַ ווי קריסטאַל אָריענטירונג פון טאַנטאַלום קאַרבידע דעפּאַזישאַן, מונדיר פילם גרעב, דרוק מעלדונג צווישן קאָוטינג און גראַפייט מאַטריץ, ייבערפלאַך קראַקס, אאז"ו ו, זענען גאָר טשאַלאַנדזשינג. ספּעציעל אין די סיק קריסטאַל וווּקס סוויווע, אַ סטאַביל דינסט לעבן איז די האַרץ פּאַראַמעטער, איז די מערסט שווער.
פּאָסטן צייט: יולי 21-2023