אַפּפּליקאַטיאָן פון סיליציום קאַרבידע סעראַמיקס אין די סעמיקאַנדאַקטער פעלד

די בילכער מאַטעריאַל פֿאַר פּינטלעכקייַט טיילן פון פאָטאָליטאָגראַפי מאשינען

אין די סעמיקאַנדאַקטער פעלד,סיליציום קאַרבידע סעראַמיקמאַטעריאַלס זענען דער הויפּט געניצט אין שליסל עקוויפּמענט פֿאַר ינאַגרייטיד קרייַז מאַנופאַקטורינג, אַזאַ ווי סיליציום קאַרבידע ווערקטייב, פירן ריילז,רעפלעקטאָרס, סעראַמיק סאַקשאַן טשאַק, געווער, גרינדינג דיסקס, פיקסטשערז, אאז"ו ו פֿאַר ליטהאָגראַפי מאשינען.

סיליציום קאַרבידע סעראַמיק טיילןפֿאַר סעמיקאַנדאַקטער און אָפּטיש ויסריכט

● סיליציום קאַרבידע סעראַמיק גרינדינג דיסק. אויב די גרינדינג דיסק איז געמאכט פון געשטאַלט אייַזן אָדער טשאַד שטאָל, זייַן דינסט לעבן איז קורץ און זייַן טערמאַל יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט איז גרויס. בעשאַס די פּראַסעסינג פון סיליציום ווייפערז, ספּעציעל בעשאַס הויך-גיכקייַט גרינדינג אָדער פּאַלישינג, די טראָגן און טערמאַל דיפאָרמיישאַן פון די גרינדינג דיסק מאַכן עס שווער צו ענשור די פלאַטנאַס און פּאַראַלעליזאַם פון די סיליציום וואַפער. די גרינדינג דיסק געמאכט פון סיליציום קאַרבידע סעראַמיקס האט הויך כאַרדנאַס און נידעריק טראָגן, און די טערמאַל יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט איז בייסיקלי די זעלבע ווי אַז פון סיליציום ווייפערז, אַזוי עס קענען זיין ערד און פּאַלישט מיט הויך גיכקייַט.
● סיליציום קאַרבידע סעראַמיק ייַנאָרדענונג. אין אַדישאַן, ווען סיליציום ווייפערז זענען געשאפן, זיי דאַרפֿן צו אַנדערגאָו הויך-טעמפּעראַטור היץ באַהאַנדלונג און זענען אָפט טראַנספּאָרטאַד מיט סיליציום קאַרבידע פיקסטשערז. זיי זענען היץ-קעגנשטעליק און ניט-דעסטרוקטיווע. דימענט-ווי טשאַד (DLC) און אנדערע קאָוטינגז קענען זיין געווענדט אויף די ייבערפלאַך צו פֿאַרבעסערן פאָרשטעלונג, גרינגער מאַכן ווייפער שעדיקן און פאַרמייַדן קאַנטאַמאַניישאַן פון פאַרשפּרייטן.
● סיליציום קאַרבידע אַרבעט טיש. גענומען די אַרבעט טיש אין די ליטהאָגראַפי מאַשין ווי אַ ביישפּיל, די וואָרק טיש איז דער הויפּט פאַראַנטוואָרטלעך פֿאַר קאַמפּליטינג די ויסשטעלן באַוועגונג, ריקוויירינג הויך-גיכקייַט, גרויס-מאַך, זעקס-גראַד-פון-פרייהייט נאַנאָ-מדרגה הינטער-פּינטלעכקייַט באַוועגונג. למשל, פֿאַר אַ ליטהאָגראַפי מאַשין מיט אַ האַכלאָטע פון ​​100 נם, אַ אָוווערליי אַקיעראַסי פון 33 נם, און אַ שורה ברייט פון 10 נם, די ווערקטייבאַל פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי איז פארלאנגט צו דערגרייכן 10 נם, די מאַסקע-סיליציום ווייפער סיימאַלטייניאַס סטעפּינג און סקאַנינג ספּידז זענען 150 נם / s. און 120nm / s ריספּעקטיוולי, און די מאַסקע סקאַנינג גיכקייַט איז נאָענט צו 500nm / s, און די אַרבעט טיש איז פארלאנגט צו האָבן זייער הויך באַוועגונג אַקיעראַסי און פעסטקייַט.

סכעמאַטיש דיאַגראַמע פון ​​די אַרבעט טיש און מיקראָ-באַוועגונג טיש (פּאַרטיייש אָפּטיילונג)

● סיליקאָן קאַרבידע סעראַמיק קוואַדראַט שפּיגל. שליסל קאַמפּאָונאַנץ אין שליסל ינאַגרייטיד קרייַז עקוויפּמענט אַזאַ ווי ליטהאָגראַפי מאשינען האָבן קאָמפּלעקס שאַפּעס, קאָמפּלעקס דימענשאַנז און פּוסט לייטווייט סטראַקטשערז, וואָס מאכט עס שווער צו צוגרייטן אַזאַ סיליציום קאַרבידע סעראַמיק קאַמפּאָונאַנץ. דערווייַל, מיינסטרים אינטערנאַציאָנאַלע ינאַגרייטיד קרייַז ויסריכט מאַניאַפאַקטשערערז, אַזאַ ווי ASML אין די נעטהערלאַנדס, NIKON און CANON אין יאַפּאַן, נוצן אַ גרויס סומע פון ​​מאַטעריאַלס אַזאַ ווי מיקראָקריסטאַללינע גלאז און קאָרדיעריטע צו צוגרייטן קוואַדראַט מירערז, די האַרץ קאַמפּאָונאַנץ פון ליטהאָגראַפי מאשינען און נוצן סיליציום קאַרבידע. סעראַמיקס צו צוגרייטן אנדערע הויך-פאָרשטעלונג סטראַקטשעראַל קאַמפּאָונאַנץ מיט פּשוט שאַפּעס. אָבער, עקספּערץ פון טשיינאַ בילדינג מאַטעריאַלס פאָרשונג אינסטיטוט האָבן געניצט פּראַפּרייאַטערי צוגרייטונג טעכנאָלאָגיע צו דערגרייכן די צוגרייטונג פון גרויס-גרייס, קאָמפּלעקס-שייפּט, העכסט לייטווייט, גאָר ענקלאָוזד סיליציום קאַרבידע סעראַמיק קוואַדראַט מירערז און אנדערע סטראַקטשעראַל און פאַנגקשאַנאַל אָפּטיש קאַמפּאָונאַנץ פֿאַר ליטהאָגראַפי מאשינען.