סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע רעקווירעמענץ פון גראַפייט מאַטעריאַל רעקווירעמענץ זענען דער הויפּט הויך, פייַן פּאַרטאַקאַל גרייס פון גראַפייט האט הויך פּינטלעכקייַט, הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, הויך שטאַרקייַט, קליין אָנווער און אנדערע אַדוואַנטידזשיז, אַזאַ ווי: סינטערעד גראַפייט פּראָדוקטן פורעם.ווייַל די גראַפייט עקוויפּמענט געניצט אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע (אַרייַנגערעכנט כיטערז און זייער סינטערד דייז) זענען פארלאנגט צו וויטסטאַנד ריפּיטיד באַהיצונג און קאָאָלינג פּראַסעסאַז, אין סדר צו פאַרברייטערן די דינסט לעבן פון גראַפייט ויסריכט, עס איז יוזשאַוואַלי פארלאנגט אַז די גראַפיטע מאַטעריאַלס געניצט האָבן סטאַביל פאָרשטעלונג און היץ קעגנשטעליק פּראַל פונקציאָנירן.
01 גראַפייט אַקסעסעריז פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער קריסטאַל וווּקס
אַלע פּראַסעסאַז געניצט צו וואַקסן סעמיקאַנדאַקטער קריסטאַלז זענען אַפּערייטינג אונטער הויך טעמפּעראַטור און קעראָוסיוו סוויווע. די הייס זאָנע פון קריסטאַל גראָוט אויוון איז יוזשאַוואַלי יקוויפּט מיט היץ-קעגנשטעליק און קעראָוזשאַן-קעגנשטעליק הויך-ריינקייַט גראַפייט קאַמפּאָונאַנץ, אַזאַ ווי כיטער, קרוסאַבאַל, ינסאַליישאַן צילינדער, פירן צילינדער, ילעקטראָוד, קרוסאַבאַל האָלדער, ילעקטראָוד נוס, עטק.
מיר קענען פּראָדוצירן אַלע גראַפייט טיילן פון קריסטאַל פּראָדוקציע דעוויסעס, וואָס קענען זיין סאַפּלייד ינדיווידזשואַלי אָדער אין שטעלט, אָדער קאַסטאַמייזד גראַפייט טיילן פון פאַרשידן סיזעס לויט צו קונה באדערפענישן. די גרייס פון פּראָדוקטן קענען זיין געמאסטן אויף פּלאַץ, און די אַש אינהאַלט פון פאַרטיק פּראָדוקטן קענען זיין ווייניקערמער ווי 5 פּפּם.
02 גראַפייט אַקסעסעריז פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער עפּיטאַקסי
עפּיטאַקסיאַל פּראָצעס רעפערס צו דער וווּקס פון אַ פּלאַסט פון איין קריסטאַל מאַטעריאַל מיט דער זעלביקער לאַטאַס אָרדענונג ווי די סאַבסטרייט אויף די איין קריסטאַל סאַבסטרייט. אין די עפּיטאַקסיאַל פּראָצעס, די ווייפער איז לאָודיד אויף די גראַפייט דיסק. די פאָרשטעלונג און קוואַליטעט פון די גראַפייט דיסק שפּילן אַ וויטאַל ראָלע אין די קוואַליטעט פון די עפּיטאַקסיאַל שיכטע פון די ווייפער. אין די פעלד פון עפּיטאַקסיאַל פּראָדוקציע, אַ פּלאַץ פון הינטער-הויך ריינקייַט גראַפיטע און הויך ריינקייַט גראַפיטע באַזע מיט SIC קאָוטינג זענען דארף.
אונדזער פירמע 'ס גראַפייט באַזע פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער עפּיטאַקסי האט אַ ברייט קייט פון אַפּלאַקיישאַנז, קענען גלייַכן רובֿ פון די קאַמאַנלי געוויינט ויסריכט אין די אינדוסטריע, און האט הויך ריינקייַט, מונדיר קאָוטינג, ויסגעצייכנט דינסט לעבן און הויך כעמישער קעגנשטעל און טערמאַל פעסטקייַט.
03 גראַפייט אַקסעסעריז פֿאַר יאָן ימפּלאַנטיישאַן
יאָן ימפּלאַנטיישאַן רעפערס צו דער פּראָצעס פון אַקסעלערייטינג די פּלאַזמע שטראַל פון באָראָן, פאַספעראַס און אַרסעניק צו אַ זיכער ענערגיע, און דעמאָלט ינדזשעקטינג עס אין די ייבערפלאַך שיכטע פון די ווייפער מאַטעריאַל צו טוישן די מאַטעריאַל פּראָפּערטיעס פון די ייבערפלאַך שיכטע. די קאַמפּאָונאַנץ פון די יאָן ימפּלאַנטיישאַן מיטל זאָל זיין געמאכט פון הויך-ריינקייַט מאַטעריאַלס מיט ויסגעצייכנט היץ קעגנשטעל, טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, ווייניקער קעראָוזשאַן געפֿירט דורך יאָן שטראַל און נידעריק טומע צופרידן. הויך-ריינקייַט גראַפיטע טרעפן די אַפּלאַקיישאַן רעקווירעמענץ, און קענען זיין געניצט פֿאַר די פלי רער, פאַרשידן סליץ, ילעקטראָודז, ילעקטראָוד קאָווערס, קאַנדויץ, שטראַל טערמינאַטאָרס, אאז"ו ו פון יאָן ימפּלאַנטיישאַן ויסריכט.
מיר קענען ניט בלויז צושטעלן גראַפייט שילדינג דעקן פֿאַר פאַרשידן יאָן ימפּלאַנטיישאַן מאשינען, אָבער אויך צושטעלן הויך-ריינקייַט גראַפייט ילעקטראָודז און יאָן קוואלן מיט הויך קעראָוזשאַן קעגנשטעל פון פאַרשידן ספּעסאַפאַקיישאַנז. אָנווענדלעך מאָדעלס: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM און אנדערע ויסריכט. אין אַדישאַן, מיר קענען אויך צושטעלן וואָס ריכטן סעראַמיק, טאַנגסטאַן, מאָליבדענום, אַלומינום פּראָדוקטן און קאָוטאַד טיילן.
04 גראַפיטע ינסאַליישאַן מאַטעריאַלס און אנדערע
טערמאַל ינסאַליישאַן מאַטעריאַלס געניצט אין סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע ויסריכט אַרייַננעמען גראַפייט שווער פּעלץ, ווייך פּעלץ, גראַפייט שטער, גראַפייט פּאַפּיר און גראַפייט שטריק.
אַלע אונדזער רוי מאַטעריאַלס זענען ימפּאָרטיד גראַפייט, וואָס קענען זיין שנייַדן לויט די ספּעציפיש גרייס פון קונה ס באדערפענישן אָדער סאָלד ווי אַ גאַנץ.
די טשאַד-טשאַד טאַץ איז געניצט ווי דער טרעגער פֿאַר פילם קאָוטינג אין די פּראָדוקציע פּראָצעס פון זונ - מאַנאַקריסטאַליין סיליציום און פּאָליקריסטאַללינע סיליציום סעלז. דער אַרבעט פּרינציפּ איז: אַרייַנלייגן די סיליציום שפּאָן אין די קפק טאַץ און שיקן עס אין די אויוון רער צו פּראָצעס די פילם קאָוטינג.