2022 הויך קוואַליטעט MOCVD סוסעפּטאָר קויפן אָנליין אין טשיינאַ, סיק גראַפיטע עפּיטאַקסי סאַסעפּטערז,
גראַפיטע שטיצן סאַבסטרייץ, גראַפיטע סאַסעפּטערז, גראַפיטע סוססעפּטאָרס פֿאַר סיק עפּיטאַקסי, גראַפיטע סוססעפּטאָרס פֿאַר סיליציום, גראַפיטע סאַסעפּטערז מיט סיליציום קאַרבידע קאָוטינג, גראַפיטע מכשירים אין סעמיקאַנדאַקטער גראַפיטע טאַץ גראַפיטע ווייפער סוססעפּטאָרס הויך ריינקייַט גראַפיטע מכשירים אָפּטאָ-עלעקטראָניק, סאַטעליט פּלאַטפאָרמס פֿאַר די MOCVD, סיק קאָוטאַד גראַפייט סאַטעליט פּלאַטפאָרמס פֿאַר MOCVD,
ספּעציעלע אַדוואַנטידזשיז פון אונדזער סיק-קאָוטאַד גראַפייט סאַסעפּטערז אַרייַננעמען גאָר הויך ריינקייַט, כאָומאַדזשיניאַס קאָוטינג און אַ ויסגעצייכנט דינסט לעבן. זיי אויך האָבן הויך כעמישער קעגנשטעל און טערמאַל פעסטקייַט פּראָפּערטיעס.
סיק קאָוטינג פון גראַפיטע סאַבסטרייט פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער אַפּלאַקיישאַנז טראגט אַ טייל מיט העכער ריינקייַט און קעגנשטעל צו אַקסאַדייזינג אַטמאָספער.
CVD SiC אָדער CVI SiC איז געווענדט צו גראַפיטע פון פּשוט אָדער קאָמפּלעקס פּלאַן פּאַרץ. קאָוטינג קענען זיין געווענדט אין וועריינג טהיקנעססעס און צו זייער גרויס טיילן.
פֿעיִקייטן:
· ויסגעצייכנט טערמאַל שאַק קעגנשטעל
· ויסגעצייכנט גשמיות שאַק קעגנשטעל
· ויסגעצייכנט כעמישער קעגנשטעל
· סופּער הויך ריינקייַט
· אַוואַילאַביליטי אין קאָמפּלעקס פאָרעם
· ניצלעך אונטער אַקסאַדייזינג אַטמאָספער
טיפּיש פּראָפּערטיעס פון באַזע גראַפיטע מאַטעריאַל:
קלאָר געדיכטקייַט: | 1.85 ג/קמ3 |
עלעקטריקאַל רעסיסטיוויטי: | 11 μΩם |
פלעקסוראַל שטאַרקייט: | 49 מפּאַ (500 קגף / סענטימעטער 2) |
ברעג כאַרדנאַס: | 58 |
אַש: | <5ppm |
טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי: | 116 וו/מק (100 קייקאַל / מהר-℃) |
טשאַד סאַפּלייז סאַסעפּטערז און גראַפייט קאַמפּאָונאַנץ פֿאַר אַלע קראַנט עפּיטאַקסי רעאַקטאָרס. אונדזער פּאָרטפעל ינקלודז פאַס סאַסעפּטערז פֿאַר געווענדט און לפּע וניץ, פּאַנקייק סאַסעפּטערז פֿאַר לפּע, קסד און געמיני וניץ, און איין-ווייפער סאַסעפּטערז פֿאַר געווענדט און אַסם וניץ. דורך קאַמביינינג שטאַרק פּאַרטנערשיפּס מיט לידינג אָעם, מאַטעריאַלס עקספּערטיז און מאַנופאַקטורינג וויסן, SGL אָפפערס די אָפּטימאַל פּלאַן פֿאַר דיין אַפּלאַקיישאַן.