Chất nhạy cảm được phủ TaC cho thiết bị Epitaxy

Mô tả ngắn gọn:

VET cung cấp lớp phủ tantalum cacbua (TaC) chuyên dụng cho các bộ phận và vật mang khác nhau. Quy trình phủ hàng đầu của VET cho phép lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đạt được độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt độ cao và khả năng chịu hóa chất cao, cải thiện chất lượng sản phẩm của tinh thể SIC/GAN và các lớp EPI, đồng thời kéo dài tuổi thọ của các thành phần lò phản ứng chính. Việc sử dụng lớp phủ tantalum cacbua TaC là để giải quyết vấn đề cạnh và cải thiện chất lượng phát triển của tinh thể, và VET đã giải quyết được bước đột phá về công nghệ phủ cacbua tantalum (CVD), đạt đến trình độ tiên tiến quốc tế.


Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

phủ TaCChất nền là một màng mỏng được làm bằngcacbua tantalumvật liệu, được áp dụng cho bề mặt chất nền của thiết bị epitaxy.lớp phủ TaCcó nhiều đặc tính tuyệt vời, khiến nó trở thành sự lựa chọn lý tưởng.

Lớp phủ TaC là một loại lớp phủ tantalum cacbua (TaC) được điều chế bằng công nghệ lắng đọng hơi vật lý, nó có các đặc điểm sau:

1. Độ cứng cao: Độ cứng của lớp phủ TaC cao, thường có thể đạt 2500-3000HV, là lớp phủ cứng tuyệt vời.

2. Chống mài mòn: Lớp phủ TaC có khả năng chống mài mòn rất cao, có thể làm giảm hiệu quả sự mài mòn và hư hỏng của các bộ phận cơ khí trong quá trình sử dụng.

3. Khả năng chịu nhiệt độ cao tốt: Lớp phủ TaC cũng có thể duy trì hiệu suất tuyệt vời trong môi trường nhiệt độ cao.

4. Độ ổn định hóa học tốt: Lớp phủ TaC có độ ổn định hóa học tốt và có thể chống lại nhiều phản ứng hóa học như axit và bazơ.

6 (3)
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Tính chất vật lý của TaC lớp phủ

密度/ Tỉ trọng

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Độ phát xạ riêng

0,3

热膨胀系数 / Hệ số dãn nở nhiệt

6,3 10-6/K

努氏硬度/ Độ cứng (HK)

2000 HK

电阻 / Sức chống cự

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Ổn định nhiệt

<2500oC

石墨尺寸变化 / Thay đổi kích thước than chì

-10~-20um

涂层厚度 / Độ dày lớp phủ

≥20um giá trị điển hình (35um±10um)

 

Công ty TNHH Công nghệ Năng lượng VET Ninh Ba là một doanh nghiệp công nghệ cao tập trung vào sản xuất và kinh doanh các vật liệu tiên tiến cao cấp, vật liệu và công nghệ bao gồm than chì, cacbua silic, gốm sứ, xử lý bề mặt, v.v. Các sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong quang điện, chất bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.

Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các tổ chức nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn cho bạn.

Nhiệt liệt chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Trước:
  • Kế tiếp:

  • Trò chuyện trực tuyến WhatsApp!