Khay chứa tấm silicon cacbua cho lò nung bán dẫn

Mô tả ngắn gọn:

Khay tấm epiticular Silicon Carbide VET Energy là sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để mang lại hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong thời gian dài. Nó có khả năng chịu nhiệt siêu tốt và độ đồng đều nhiệt, độ tinh khiết cao, khả năng chống xói mòn, khiến nó trở thành giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý wafer.


Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Cuộn cảm SiC1
Cuộn cảm SiC2

Khay tấm cacbua silic là thành phần chính được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn khác nhau. Chúng tôi sử dụng công nghệ đã được cấp bằng sáng chế của mình để chế tạo khay tấm cacbua silic có độ tinh khiết cực cao, độ đồng đều lớp phủ tốt và tuổi thọ tuyệt vời cũng như đặc tính ổn định nhiệt và kháng hóa chất cao.

VET Energy là nhà sản xuất thực sự các sản phẩm than chì và cacbua silic tùy chỉnh với các lớp phủ khác nhau như SiC, Tac, cacbon nhiệt phân, cacbon thủy tinh, v.v., có thể cung cấp các bộ phận tùy chỉnh khác nhau cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện. Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các tổ chức nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn cho bạn.

Chúng tôi liên tục phát triển các quy trình tiên tiến để cung cấp các vật liệu tiên tiến hơn và đã phát triển một công nghệ được cấp bằng sáng chế độc quyền, có thể làm cho liên kết giữa lớp phủ và chất nền chặt chẽ hơn và ít bị bong ra hơn.

Các tính năng của sản phẩm của chúng tôi:

1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao lên tới 1700oC.
2. Độ tinh khiết cao và độ đồng đều nhiệt
3. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: thuốc thử axit, kiềm, muối và hữu cơ.

4. Độ cứng cao, bề mặt nhỏ gọn, hạt mịn.
5. Tuổi thọ dài hơn và bền hơn

CVD SiC薄膜基本物理性能

Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp phủ

性质 / Tài sản

典型数值 / Giá trị điển hình

晶体结构 / Cấu trúc tinh thể

Giai đoạn FCC多晶, 主要为(111)取向

密度 / Tỉ trọng

3,21 g/cm³

硬度 / Độ cứng

2500 维氏硬度(tải 500g)

晶粒大小 / Kích thước hạt

2 ~ 10μm

纯度 / Độ tinh khiết hóa học

99,99995%

热容 / Công suất nhiệt

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa

2700oC

抗弯强度 / Độ bền uốn

415 MPa RT 4 điểm

杨氏模量 / Mô đun của Young

Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC

导热系数 / NhiệttôiĐộ dẫn điện

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Giãn nở nhiệt(CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Nhiệt liệt chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Trước:
  • Kế tiếp:

  • Trò chuyện trực tuyến WhatsApp!