Chất mang lớp phủ SiC cho RTP/RTA là thành phần chính được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn có tên là Xử lý và ủ nhiệt nhanh, chúng tôi sử dụng công nghệ đã được cấp bằng sáng chế của mình để tạo ra chất mang cacbua silic có độ tinh khiết cực cao, độ đồng đều lớp phủ tốt và tuổi thọ tuyệt vời, như cũng như tính kháng hóa chất cao và tính ổn định nhiệt.
Các tính năng của sản phẩm của chúng tôi:
1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao lên tới 1700oC.
2. Độ tinh khiết cao và độ đồng đều nhiệt
3. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: thuốc thử axit, kiềm, muối và hữu cơ.
4. Độ cứng cao, bề mặt nhỏ gọn, hạt mịn.
5. Tuổi thọ dài hơn và bền hơn
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp phủ | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 / Giá trị điển hình |
| 晶体结构 / Cấu trúc tinh thể | Giai đoạn FCC多晶, 主要为（111)取向 |
| 密度 / Tỉ trọng | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Độ cứng | 2500 维氏硬度(tải 500g) |
| 晶粒大小 / Kích thước hạt | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
| 热容 / Công suất nhiệt | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa | 2700oC |
| 抗弯强度 / Độ bền uốn | 415 MPa RT 4 điểm |
| 杨氏模量 / Mô đun của Young | Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC |
| 导热系数 / NhiệttôiĐộ dẫn điện | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Giãn nở nhiệt(CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy là nhà sản xuất thực sự các sản phẩm than chì và cacbua silic tùy chỉnh với các lớp phủ khác nhau như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ carbon thủy tinh, lớp phủ carbon nhiệt phân, v.v., có thể cung cấp các bộ phận tùy chỉnh khác nhau cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các tổ chức nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn cho bạn.
Chúng tôi liên tục phát triển các quy trình tiên tiến để cung cấp các vật liệu tiên tiến hơn và đã phát triển một công nghệ được cấp bằng sáng chế độc quyền, có thể làm cho liên kết giữa lớp phủ và chất nền chặt chẽ hơn và ít bị bong ra hơn.
Nhiệt liệt chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!
