Sự khác biệt giữa PECVD và LPCVD trong thiết bị CVD bán dẫn là gì?

Sự lắng đọng hơi hóa học (CVD) đề cập đến quá trình lắng đọng một màng rắn trên bề mặt siliconbánh xốpthông qua phản ứng hóa học của hỗn hợp khí. Theo các điều kiện phản ứng khác nhau (áp suất, tiền chất), nó có thể được chia thành các mô hình thiết bị khác nhau.

Hai thiết bị này được sử dụng cho những quy trình nào?

PECVDThiết bị (Tăng cường Plasma) có số lượng nhiều nhất và được sử dụng phổ biến nhất, được sử dụng trong OX, Nitride, cổng kim loại, carbon vô định hình, v.v.; LPCVD (Low Power) thường được sử dụng trong Nitride, poly, TEOS.
Nguyên tắc là gì?
PECVD-một quá trình kết hợp hoàn hảo giữa năng lượng plasma và CVD. Công nghệ PECVD sử dụng plasma nhiệt độ thấp để tạo ra sự phóng điện phát sáng ở cực âm của buồng xử lý (tức là khay mẫu) dưới áp suất thấp. Sự phóng điện phát sáng này hoặc thiết bị gia nhiệt khác có thể tăng nhiệt độ của mẫu lên mức xác định trước, sau đó đưa vào một lượng khí xử lý được kiểm soát. Khí này trải qua một loạt các phản ứng hóa học và plasma, và cuối cùng tạo thành một lớp màng rắn trên bề mặt mẫu.

LPCVD - Lắng đọng hơi hóa học ở áp suất thấp (LPCVD) được thiết kế để giảm áp suất vận hành của khí phản ứng trong lò phản ứng xuống khoảng 133Pa hoặc thấp hơn.

Đặc điểm của mỗi loại là gì?

PECVD - Quy trình kết hợp hoàn hảo giữa năng lượng plasma và CVD: 1) Vận hành ở nhiệt độ thấp (tránh hư hỏng thiết bị ở nhiệt độ cao); 2) Tốc độ tăng trưởng màng nhanh; 3) Không kén chọn vật liệu, OX, Nitride, cổng kim loại, carbon vô định hình đều có thể phát triển được; 4) Có hệ thống giám sát tại chỗ, có thể điều chỉnh công thức thông qua các thông số ion, tốc độ dòng khí, nhiệt độ và độ dày màng.
LPCVD - Màng mỏng được LPCVD lắng đọng sẽ có độ bao phủ bước tốt hơn, kiểm soát thành phần và cấu trúc tốt, tốc độ lắng và sản lượng cao. Ngoài ra, LPCVD không cần khí mang nên làm giảm đáng kể nguồn ô nhiễm hạt và được sử dụng rộng rãi trong các ngành công nghiệp bán dẫn có giá trị gia tăng cao để lắng đọng màng mỏng.

 

Chào mừng bất kỳ khách hàng nào từ khắp nơi trên thế giới đến thăm chúng tôi để thảo luận thêm!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/