Trong quá trình epit Wax pha hơi (VPE), vai trò của bệ là hỗ trợ chất nền và đảm bảo gia nhiệt đồng đều trong quá trình tăng trưởng. Các loại bệ khác nhau phù hợp với các điều kiện sinh trưởng và hệ thống vật liệu khác nhau. Sau đây là một số loại bệ thường được sử dụng trong pha hơiepitaxy:
Bệ thùng
Bệ thùng thường được sử dụng trong các hệ thống epit Wax pha hơi nằm ngang hoặc nghiêng. Chúng có thể giữ chất nền và cho phép khí chảy qua chất nền, giúp đạt được sự tăng trưởng epiticular đồng đều.
Bệ hình đĩa (bệ đứng)
Bệ hình đĩa thích hợp cho hệ thống epit Wax pha hơi thẳng đứng, trong đó chất nền được đặt thẳng đứng. Thiết kế này giúp giảm diện tích tiếp xúc giữa chất nền và chất nhạy cảm, từ đó giảm thất thoát nhiệt và khả năng ô nhiễm.
Cảm biến ngang
Các chất nhạy cảm theo chiều ngang ít phổ biến hơn trong epitaxy pha hơi, nhưng có thể được sử dụng trong một số hệ thống tăng trưởng cụ thể để cho phép tăng trưởng epitaxy theo hướng ngang.
Chất nhạy cảm với phản ứng epiticular nguyên khối
Chất nhạy cảm phản ứng epiticular nguyên khối được thiết kế cho một chất nền duy nhất, có thể kiểm soát nhiệt độ chính xác hơn và cách ly nhiệt tốt hơn, thích hợp cho sự phát triển của các lớp epiticular chất lượng cao.
Chào mừng bạn đến với trang web của chúng tôi để biết thông tin và tư vấn về sản phẩm.
Trang web của chúng tôi: https://www.vet-china.com/
Thời gian đăng: 30-07-2024