Mục tiêu phún xạ dùng trong mạch tích hợp bán dẫn

Mục tiêu phún xạchủ yếu được sử dụng trong các ngành công nghiệp điện tử và thông tin, như mạch tích hợp, lưu trữ thông tin, màn hình tinh thể lỏng, bộ nhớ laser, thiết bị điều khiển điện tử, v.v. Chúng cũng có thể được sử dụng trong lĩnh vực phủ kính, cũng như chống mài mòn vật liệu, chống ăn mòn ở nhiệt độ cao, sản phẩm trang trí cao cấp và các ngành công nghiệp khác.

Phún xạ là một trong những kỹ thuật chính để chế tạo vật liệu màng mỏng.Nó sử dụng các ion được tạo ra bởi các nguồn ion để tăng tốc và tổng hợp trong chân không để tạo thành chùm ion năng lượng tốc độ cao, bắn phá bề mặt rắn và trao đổi động năng giữa các ion và nguyên tử bề mặt rắn. Các nguyên tử trên bề mặt rắn rời khỏi chất rắn và lắng đọng trên bề mặt chất nền. Chất rắn bị bắn phá là nguyên liệu thô để lắng đọng màng mỏng bằng phương pháp phún xạ, được gọi là mục tiêu phún xạ. Nhiều loại vật liệu màng mỏng phún xạ khác nhau đã được sử dụng rộng rãi trong các mạch tích hợp bán dẫn, phương tiện ghi, màn hình phẳng và lớp phủ bề mặt phôi.

Trong số tất cả các ngành công nghiệp ứng dụng, ngành bán dẫn có yêu cầu chất lượng nghiêm ngặt nhất đối với màng phún xạ mục tiêu. Mục tiêu phún xạ kim loại có độ tinh khiết cao chủ yếu được sử dụng trong sản xuất tấm bán dẫn và quy trình đóng gói tiên tiến. Lấy việc sản xuất chip làm ví dụ, chúng ta có thể thấy từ một wafer silicon đến một con chip, nó cần phải trải qua 7 quy trình sản xuất chính đó là khuếch tán (Thermal Process), Photo-lithography (Photo-lithography), Etch (Etch), Cấy ion (IonImplant), Tăng trưởng màng mỏng (Lắng đọng điện môi), Đánh bóng cơ học hóa học (CMP), Kim loại hóa (Kim loại hóa) Các quy trình tương ứng từng cái một. Mục tiêu phún xạ được sử dụng trong quá trình “kim loại hóa”. Mục tiêu bị bắn phá bằng các hạt năng lượng cao bằng thiết bị lắng đọng màng mỏng và sau đó một lớp kim loại với các chức năng cụ thể được hình thành trên tấm wafer silicon, chẳng hạn như lớp dẫn điện, lớp rào cản. Đợi đã. Vì các quy trình của toàn bộ chất bán dẫn rất đa dạng nên đôi khi cần một số tình huống để xác minh hệ thống có tồn tại chính xác hay không, vì vậy chúng tôi yêu cầu một số loại vật liệu giả ở các giai đoạn sản xuất nhất định để xác nhận tác động.