Ngành công nghiệp bán dẫn yêu cầu vật liệu than chì đặc biệt cao, kích thước hạt mịn của than chì có độ chính xác cao, chịu nhiệt độ cao, độ bền cao, tổn thất nhỏ và các ưu điểm khác, chẳng hạn như: khuôn sản phẩm than chì thiêu kết.Bởi vì thiết bị than chì được sử dụng trong ngành bán dẫn (bao gồm cả lò sưởi và khuôn thiêu kết của chúng) cần phải chịu được quá trình làm nóng và làm mát lặp đi lặp lại, để kéo dài tuổi thọ của thiết bị than chì, thường yêu cầu vật liệu than chì được sử dụng phải có hiệu suất ổn định. và chức năng tác động chịu nhiệt.
01 Phụ kiện Graphite nuôi cấy tinh thể bán dẫn
Tất cả các quy trình được sử dụng để phát triển tinh thể bán dẫn đều hoạt động trong môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn. Vùng nóng của lò tăng trưởng tinh thể thường được trang bị các thành phần than chì có độ tinh khiết cao chịu nhiệt và chống ăn mòn, chẳng hạn như lò sưởi, nồi nấu kim loại, xi lanh cách nhiệt, xi lanh dẫn hướng, điện cực, giá đỡ nồi nấu kim loại, đai ốc điện cực, v.v.
Chúng tôi có thể sản xuất tất cả các bộ phận than chì của thiết bị sản xuất tinh thể, có thể được cung cấp riêng lẻ hoặc theo bộ, hoặc các bộ phận than chì tùy chỉnh với nhiều kích cỡ khác nhau theo yêu cầu của khách hàng. Kích thước của sản phẩm có thể được đo tại chỗ và hàm lượng tro của thành phẩm có thể ít hơnhơn 5 trang/phút.
02 Phụ kiện Graphite cho epitaxy bán dẫn
Quá trình epiticular đề cập đến sự phát triển của một lớp vật liệu tinh thể đơn có cách sắp xếp mạng giống như chất nền trên chất nền đơn tinh thể. Trong quá trình epiticular, wafer được nạp vào đĩa than chì. Hiệu suất và chất lượng của đĩa than chì đóng một vai trò quan trọng đối với chất lượng của lớp epitaxy của tấm bán dẫn. Trong lĩnh vực sản xuất epiticular, cần rất nhiều than chì có độ tinh khiết cực cao và nền than chì có độ tinh khiết cao với lớp phủ SIC.
Nền than chì của công ty chúng tôi dành cho epit Wax bán dẫn có nhiều ứng dụng, có thể phù hợp với hầu hết các thiết bị được sử dụng phổ biến trong ngành và có độ tinh khiết cao, lớp phủ đồng đều, tuổi thọ tuyệt vời, khả năng kháng hóa chất và ổn định nhiệt cao.
03 Phụ kiện Graphite cấy ion
Cấy ion đề cập đến quá trình tăng tốc chùm tia plasma của boron, phốt pho và asen đến một năng lượng nhất định, sau đó bơm nó vào lớp bề mặt của vật liệu wafer để thay đổi tính chất vật liệu của lớp bề mặt. Các bộ phận của thiết bị cấy ion phải được làm bằng vật liệu có độ tinh khiết cao, có khả năng chịu nhiệt, dẫn nhiệt tốt, ít bị ăn mòn do tia ion và hàm lượng tạp chất thấp. Than chì có độ tinh khiết cao đáp ứng các yêu cầu ứng dụng và có thể được sử dụng cho ống bay, các khe, điện cực, vỏ điện cực, ống dẫn, đầu cuối chùm tia, v.v. của thiết bị cấy ion.
Chúng tôi không chỉ có thể cung cấp vỏ bảo vệ than chì cho các máy cấy ion khác nhau mà còn cung cấp các điện cực than chì và nguồn ion có độ tinh khiết cao với khả năng chống ăn mòn cao với nhiều thông số kỹ thuật khác nhau. Các mẫu áp dụng: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM và các thiết bị khác. Ngoài ra, chúng tôi cũng có thể cung cấp các sản phẩm gốm, vonfram, molypden, nhôm và các bộ phận được phủ phù hợp.
04 Vật liệu cách nhiệt than chì và các loại khác
Vật liệu cách nhiệt được sử dụng trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn bao gồm nỉ cứng than chì, nỉ mềm, lá than chì, giấy than chì và dây than chì.
Tất cả nguyên liệu thô của chúng tôi là than chì nhập khẩu, có thể được cắt theo kích thước cụ thể theo yêu cầu của khách hàng hoặc bán toàn bộ.
Khay carbon-carbon được sử dụng làm chất mang cho lớp phủ màng trong quy trình sản xuất tế bào silicon đơn tinh thể và silicon đa tinh thể năng lượng mặt trời. Nguyên lý làm việc là: lắp chip silicon vào khay CFC và đưa vào ống lò để xử lý lớp phủ màng.
