Vòng than chì phủ silicon cacbua CVD

Mô tả ngắn gọn:

Vòng than chì phủ cacbua silicon VET Energy là sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để mang lại hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong thời gian dài. Nó có khả năng chịu nhiệt siêu tốt và độ đồng đều nhiệt, độ tinh khiết cao, khả năng chống xói mòn, khiến nó trở thành giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý wafer.

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Tính chất điển hình của vật liệu than chì cơ bản:

Mật độ biểu kiến:	1,85 g/cm3
Điện trở suất:	11 μΩm
Độ uốn uốn:	49 MPa (500kgf/cm2)
Độ cứng bờ:	58
Tro:	<5 trang/phút
Độ dẫn nhiệt:	116 W/mK (100 kcal/mhr-°C)

Chúng tôi cung cấp nhiều loại chất nhạy cảm và thành phần than chì cho tất cả các lò phản ứng epit Wax hiện tại. Các sản phẩm của chúng tôi bao gồm bộ cảm biến thùng cho các thiết bị LPE, bộ cảm biến bánh kếp cho các thiết bị LPE, CSD và Gemini cũng như bộ cảm biến wafer đơn cho các thiết bị ứng dụng và ASM.

Bằng cách kết hợp mối quan hệ đối tác mạnh mẽ với các OEM hàng đầu, chuyên môn về vật liệu và bí quyết sản xuất, vet cung cấp thiết kế tối ưu cho ứng dụng của bạn.

Năng lượng VET là cáinhà sản xuất thực sự của các sản phẩm than chì và cacbua silic tùy chỉnh với lớp phủ CVD,có thể cung cấpnhiềucác bộ phận tùy chỉnh cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện. OĐội ngũ kỹ thuật của bạn đến từ các tổ chức nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơndành cho bạn.

Făn các sản phẩm của chúng tôi:

1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao lên tới 1700oC.
2. Độ tinh khiết cao vàđộ đồng đều nhiệt
3. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: thuốc thử axit, kiềm, muối và hữu cơ.
4. Độ cứng cao, bề mặt nhỏ gọn, hạt mịn.
5. Tuổi thọ dài hơn và bền hơn

CVD SiC薄膜基本物理性能 Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp phủ
性质 / Tài sản	典型数值 / Giá trị điển hình
晶体结构 / Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC多晶, 主要为（111)取向
密度 / Tỉ trọng	3,21 g/cm³
硬度 / Độ cứng	2500 维氏硬度(tải 500g)
晶粒大小 / Kích thước hạt	2 ~ 10μm
纯度 / Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
热容 / Công suất nhiệt	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa	2700oC
抗弯强度 / Độ bền uốn	415 MPa RT 4 điểm
杨氏模量 / Mô đun của Young	Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC
导热系数 / NhiệttôiĐộ dẫn điện	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Giãn nở nhiệt(CTE)	4,5×10^-6K^-1