silikon karbidli keramik qoplamali isitgich

Vet-XitoySilikon karbid keramikaQoplama - bu juda qattiq va aşınmaya bardoshli bo'lgan yuqori samarali himoya qoplamasikremniy karbid (SiC)mukammal kimyoviy korroziyaga chidamlilik va yuqori harorat barqarorligini ta'minlaydigan material. Bu xususiyatlar yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda hal qiluvchi ahamiyatga ega, shuning uchunSilikon karbidli keramik qoplamayarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunasining asosiy qismlarida keng qo'llaniladi.

Vet-Xitoyning o'ziga xos roliSilikon karbid keramikaYarimo'tkazgich ishlab chiqarishda qoplama quyidagicha:

Uskunaning chidamliligini oshirish:Silikon karbid seramika qoplamasi Silikon karbid keramik qoplamasi o'zining yuqori qattiqligi va aşınma qarshiligi bilan yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalari uchun mukammal sirt himoyasini ta'minlaydi. Ayniqsa, kimyoviy bug'larning cho'kishi (CVD) va plazma bilan ishlov berish kabi yuqori haroratli va yuqori korroziyali texnologik muhitda qoplama uskunaning sirtini kimyoviy eroziya yoki jismoniy eskirish natijasida shikastlanishining oldini oladi va shu bilan xizmat muddatini sezilarli darajada uzaytiradi. uskunalar va tez-tez almashtirish va ta'mirlash natijasida kelib chiqadigan ish vaqtini qisqartirish.

Jarayonning tozaligini yaxshilash:Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonida mayda ifloslanish mahsulot nuqsonlariga olib kelishi mumkin. Silikon karbid seramika qoplamasining kimyoviy inertligi uning ekstremal sharoitlarda barqaror bo'lishiga imkon beradi, materialdan zarrachalar yoki aralashmalar chiqarilishiga yo'l qo'ymaydi va shu bilan jarayonning ekologik tozaligini ta'minlaydi. Bu PECVD va ion implantatsiyasi kabi yuqori aniqlik va yuqori tozalikni talab qiladigan ishlab chiqarish bosqichlari uchun ayniqsa muhimdir.

Issiqlik boshqaruvini optimallashtirish:Tez issiqlik bilan ishlov berish (RTP) va oksidlanish jarayonlari kabi yuqori haroratli yarimo'tkazgichlarni qayta ishlashda Silikon Karbid Seramika qoplamasining yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi uskuna ichidagi haroratni bir xil taqsimlash imkonini beradi. Bu haroratning o'zgarishi natijasida yuzaga keladigan termal stressni va material deformatsiyasini kamaytirishga yordam beradi va shu bilan mahsulot ishlab chiqarishning aniqligi va mustahkamligini yaxshilaydi.

Murakkab jarayon muhitlarini qo'llab-quvvatlash:ICP va PSS qirqish jarayonlari kabi murakkab atmosferani nazorat qilishni talab qiladigan jarayonlarda, Silikon Karbid keramik qoplamaning barqarorligi va oksidlanishga chidamliligi jihozning uzoq muddatli ishlashida barqaror ishlashini ta'minlaydi, bu esa materialning buzilishi yoki uskunaning shikastlanish xavfini kamaytiradi. atrof-muhit o'zgarishlariga.