PECVD Yuklash laganda yotqizish grafit laganda

PECVD yuklash laganda joylashtirish Grafit laganda Tanlangan rasm

Qisqacha tavsif:

VET Energy kompaniyasining PECVD yuklash patnisi cho‘kish jarayonida gofretlarni xavfsiz va bir tekis qo‘llab-quvvatlash uchun mo‘ljallangan bo‘lib, cho‘kish jarayonining mustahkamligi va sifatini yaxshilaydi. Ajoyib issiqlikka chidamliligi bilan Grafit laganda PECVD kameralari ichida boshqariladigan muhitni saqlashga yordam beradi, ifloslanish xavfini kamaytiradi va jarayonning yuqori samaradorligini ta'minlaydi.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring PDF sifatida yuklab oling

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

VET Energy PECVD yuklash patnisi PECVD (plazma bilan mustahkamlangan kimyoviy bug 'cho'ktirish) jarayoni uchun mo'ljallangan nozik tashuvchidir. Ushbu yuqori sifatli cho'kma grafit laganda yuqori toza, yuqori zichlikdagi grafit materialidan tayyorlangan. U mukammal yuqori haroratga chidamlilik, korroziyaga chidamlilik, o'lchov barqarorligi va boshqa xususiyatlarga ega. Bu PECVD jarayoni uchun barqaror tashuvchi platformani ta'minlashi va plyonka yotqizishning bir xilligi va tekisligini ta'minlashi mumkin.

VET Energy PECVD yuklash tovoqlari yarimo'tkazgich, fotovoltaik, LED va boshqa sohalarda keng qo'llaniladi. Masalan:

▪ Yarimo'tkazgich: kremniy va epitaksial gofretlar kabi yarimo'tkazgichli materiallar uchun PECVD jarayoni.

▪ Fotovoltaik: quyosh batareyasi yupqa plyonkalari uchun PECVD jarayoni.

▪ LED: LED chiplari uchun PECVD jarayoni.

Mahsulot afzalliklari

▪Film sifatini yaxshilash:Filmning bir xil yotqizilishini ta'minlash va kino sifatini yaxshilash.

▪Uskunaning ishlash muddatini uzaytirish:Zo'r korroziyaga chidamlilik, PECVD uskunasining ishlash muddatini uzaytiradi.

▪Ishlab chiqarish xarajatlarini kamaytirish:Yuqori sifatli grafit tovoqlar hurda tezligini kamaytirishi va ishlab chiqarish xarajatlarini kamaytirishi mumkin.

SGL dan grafit materiali:

Odatda parametr: R6510
indeks	Sinov standarti	Qiymat	Birlik
O'rtacha don hajmi	ISO 13320	10	mkm
Ommaviy zichlik	DIN IEC 60413/204	1.83	g/sm³
Ochiq porozlik	DIN66133	10	%
O'rtacha teshik hajmi	DIN66133	1.8	mkm
O'tkazuvchanlik	DIN 51935	0,06	sm²/s
Rokvellning qattiqligi HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Maxsus elektr qarshiligi	DIN IEC 60413/402	13	mkm
Bukilish kuchi	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Siqilish kuchi	DIN 51910	130	MPa
Young moduli	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termal kengayish (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Issiqlik o'tkazuvchanligi (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

U G12 katta o'lchamli gofretni qayta ishlashni qo'llab-quvvatlovchi yuqori samarali quyosh batareyasini ishlab chiqarish uchun maxsus ishlab chiqilgan. Optimallashtirilgan tashuvchi dizayni o'tkazish qobiliyatini sezilarli darajada oshiradi, bu esa yuqori rentabellik va ishlab chiqarish xarajatlarini kamaytirish imkonini beradi.

Element	Turi	Raqamli gofret tashuvchisi
PEVCD Grephite qayig'i - 156 seriyali	156-13 grefitli qayiq	144
	156-19 grefitli qayiq	216
	156-21 grefitli qayiq	240
	156-23 grafitli qayiq	308
PEVCD Grephite qayig'i - 125 seriyali	125-15 grefitli qayiq	196
	125-19 grefitli qayiq	252
	125-21 grfit qayiq	280