Kimyoviy bug'larning cho'kishi (CVD) kremniy yuzasiga qattiq plyonka yotqizish jarayonini bildiradigofretgaz aralashmasining kimyoviy reaktsiyasi orqali. Turli xil reaktsiya sharoitlariga (bosim, prekursor) ko'ra, uni turli xil uskunalar modellariga bo'lish mumkin.
Ushbu ikkita qurilma qanday jarayonlar uchun ishlatiladi?
PECVD(Plasma Enhanced) uskunalari OX, Nitrid, metall darvoza, amorf uglerod va boshqalarda qo'llaniladigan eng ko'p va eng ko'p qo'llaniladi; LPCVD (past quvvat) odatda nitrid, poli, TEOSda qo'llaniladi.
Prinsip nima?
PECVD - plazma energiyasi va CVD ni mukammal birlashtirgan jarayon. PECVD texnologiyasi past bosim ostida texnologik kameraning katodida (ya'ni, namuna tepsisi) porlashni keltirib chiqarish uchun past haroratli plazmadan foydalanadi. Ushbu porlash oqimi yoki boshqa isitish moslamasi namunaning haroratini oldindan belgilangan darajaga ko'tarishi va keyin nazorat qilinadigan texnologik gaz miqdorini kiritishi mumkin. Bu gaz bir qator kimyoviy va plazma reaksiyalaridan o'tadi va nihoyat namuna yuzasida qattiq plyonka hosil qiladi.
LPCVD - Past bosimli kimyoviy bug'larning cho'kishi (LPCVD) reaktordagi reaksiya gazining ish bosimini taxminan 133Pa yoki undan kam darajaga tushirish uchun mo'ljallangan.
Har birining xususiyatlari qanday?
PECVD - Plazma energiyasi va CVD ni mukammal birlashtirgan jarayon: 1) Past haroratda ishlash (uskunaning yuqori haroratli shikastlanishiga yo'l qo'ymaslik); 2) filmning tez o'sishi; 3) Materiallarni tanlamaslik, OX, Nitrid, metall darvoza, amorf uglerod hammasi o'sishi mumkin; 4) In-situ monitoring tizimi mavjud bo'lib, u retseptni ion parametrlari, gaz oqimi tezligi, harorat va plyonka qalinligi orqali sozlashi mumkin.
LPCVD - LPCVD tomonidan yotqizilgan yupqa plyonkalar yaxshiroq qadam qoplamasi, yaxshi kompozitsion va tuzilish nazorati, yuqori cho'kish tezligi va chiqishiga ega bo'ladi. Bunga qo'shimcha ravishda, LPCVD tashuvchi gazni talab qilmaydi, shuning uchun u zarrachalar ifloslanish manbasini sezilarli darajada kamaytiradi va nozik kino cho'kishi uchun yuqori qo'shimcha qiymatli yarimo'tkazgich sanoatida keng qo'llaniladi.
Keyingi munozara uchun bizga tashrif buyurish uchun butun dunyo bo'ylab mijozlarni xush kelibsiz!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Xabar vaqti: 24-iyul-2024