Silikon karbid qoplamasi,Odatda SiC qoplamasi sifatida tanilgan, kimyoviy bug'larni cho'ktirish (CVD), jismoniy bug'ni cho'ktirish (PVD) yoki termal püskürtme kabi usullar orqali yuzalarga kremniy karbid qatlamini qo'llash jarayonini nazarda tutadi. Ushbu kremniy karbidli keramik qoplama ajoyib aşınma qarshilik, termal barqarorlik va korroziyadan himoya qilish orqali turli substratlarning sirt xususiyatlarini yaxshilaydi. SiC o'zining ajoyib fizik va kimyoviy xususiyatlari, jumladan, yuqori erish nuqtasi (taxminan 2700 ℃), haddan tashqari qattiqlik (Mohs shkalasi 9), mukammal korroziyaga va oksidlanishga chidamliligi va ajoyib ablasyon ko'rsatkichlari bilan mashhur.
Sanoat ilovalarida silikon karbid qoplamasining asosiy afzalliklari
Ushbu xususiyatlar tufayli kremniy karbid qoplamasi aerokosmik, qurol uskunalari va yarimo'tkazgichlarni qayta ishlash kabi sohalarda keng qo'llaniladi. Ekstremal muhitda, ayniqsa 1800-2000 ℃ oralig'ida, SiC qoplamasi ajoyib termal barqarorlik va ablativ qarshilikni namoyish etadi, bu uni yuqori haroratli ilovalar uchun ideal qiladi. Biroq, kremniy karbidning o'zi ko'p ilovalar uchun zarur bo'lgan strukturaviy yaxlitlikka ega emas, shuning uchun qoplama usullari komponentlarning mustahkamligini buzmasdan uning noyob xususiyatlarini ishlatish uchun qo'llaniladi. Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda silikon karbid bilan qoplangan elementlar MOCVD jarayonlarida ishlatiladigan uskunalar ichida ishonchli himoya va ishlash barqarorligini ta'minlaydi.
Silikon karbid qoplamasini tayyorlashning umumiy usullari
Ⅰ● Kimyoviy bug'larni cho'ktirish (CVD) silikon karbid qoplamasi
Ushbu usulda SiC qoplamalari substratlarni reaktsiya kamerasiga joylashtirish orqali hosil bo'ladi, bu erda metiltriklorosilan (MTS) prekursor sifatida ishlaydi. Nazorat qilinadigan sharoitlarda - odatda 950-1300 ° S va manfiy bosim - MTS parchalanadi va silikon karbid sirtga yotqiziladi. Ushbu CVD SiC qoplama jarayoni yarimo'tkazgich va aerokosmik sohalarda yuqori aniqlikdagi ilovalar uchun ideal bo'lgan mukammal yopishgan zich, bir xil qoplamani ta'minlaydi.
Ⅱ● Prekursorni aylantirish usuli (polimerni emdirish va piroliz - PIP)
Silikon karbidli buzadigan amallar bilan qoplashning yana bir samarali usuli bu prekursorni konvertatsiya qilish usuli bo'lib, u oldindan ishlangan namunani keramik prekursor eritmasiga botirishni o'z ichiga oladi. Emdirish idishini changyutkichdan tozalash va qoplamaga bosim o'tkazgandan so'ng, namuna isitiladi, bu esa sovutilganda silikon karbid qoplamining shakllanishiga olib keladi. Bu usul bir xil qoplama qalinligi va yaxshilangan aşınma qarshiligini talab qiluvchi komponentlar uchun ma'qul.
Silikon karbid qoplamasining fizik xususiyatlari
Silikon karbid qoplamalari ularni talab qilinadigan sanoat ilovalari uchun ideal qiladigan xususiyatlarni namoyish etadi. Bu xususiyatlarga quyidagilar kiradi:
Issiqlik o'tkazuvchanligi: 120-270 Vt / m · K
Issiqlik kengayish koeffitsienti: 4,3 × 10 ^(-6)/K (20 ~ 800 ℃ da)
Elektr qarshiligi: 10^5– 10^6Ō·sm
Qattiqlik: Mohs shkalasi 9
Silikon karbid qoplamasini qo'llash
Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda MOCVD va boshqa yuqori haroratli jarayonlar uchun silikon karbid qoplamasi yuqori haroratga chidamlilik va barqarorlikni taklif qilish orqali reaktorlar va sensorlar kabi muhim uskunalarni himoya qiladi. Aerokosmik va mudofaa sohasida silikon karbidli keramik qoplamalar yuqori tezlikdagi ta'sirlarga va korroziy muhitlarga bardosh berishi kerak bo'lgan komponentlarga qo'llaniladi. Bundan tashqari, silikon karbidli bo'yoq yoki qoplamalar sterilizatsiya protseduralari ostida chidamlilikni talab qiladigan tibbiy asboblarda ham qo'llanilishi mumkin.
Nima uchun silikon karbid qoplamasini tanlaysiz?
Komponentlarning ishlash muddatini uzaytirish bo'yicha tasdiqlangan rekord bilan kremniy karbid qoplamalari tengsiz chidamlilik va harorat barqarorligini ta'minlaydi, bu ularni uzoq muddatli foydalanish uchun tejamkor qiladi. Silikon karbid bilan qoplangan sirtni tanlab, sanoat korxonalarga texnik xizmat ko'rsatish xarajatlarini kamaytirish, uskunaning ishonchliligini oshirish va ish samaradorligini oshirishdan foyda ko'radi.
Nima uchun VET ENERGY ni tanlaysiz?
VET ENERGY - Xitoyda kremniy karbid qoplama mahsulotlarini ishlab chiqaruvchi professional ishlab chiqaruvchi va zavod. Asosiy SiC qoplama mahsulotlari silikon karbidli keramik qoplamali isitgichni o'z ichiga oladi.CVD kremniy karbid qoplamasi MOCVD susceptor, CVD SiC qoplamali MOCVD grafit tashuvchisi, SiC qoplangan grafit asosli tashuvchilar, Yarimo'tkazgich uchun silikon karbid qoplangan grafit substrat,Yarimo'tkazgich uchun SiC qoplamasi / qoplangan grafitli substrat / laganda, CVD SiC qoplangan uglerod-uglerodli kompozit CFC qayiq qolipi. VET ENERGY yarimo‘tkazgich sanoati uchun ilg‘or texnologiyalar va mahsulot yechimlarini taqdim etishga sodiqdir. Biz chin dildan Xitoyda uzoq muddatli hamkoringiz bo'lishga umid qilamiz.
Yuborilgan vaqt: 2023-02-sentabr