CVD (Kimyoviy bug 'birikishi) kremniy karbid qoplamalarini tayyorlash uchun keng tarqalgan usuldir.CVD kremniy karbid qoplamalariko'plab noyob ishlash xususiyatlariga ega. Ushbu maqolada CVD silikon karbid qoplamasini tayyorlash usuli va uning ishlash ko'rsatkichlari keltirilgan.
1. Tayyorlash usuliCVD kremniy karbid qoplamasi
CVD usuli gazsimon prekursorlarni yuqori harorat sharoitida qattiq silikon karbid qoplamalariga aylantiradi. Turli gazsimon prekursorlarga ko'ra, uni gaz fazasi CVD va suyuq fazali CVDga bo'lish mumkin.
1. Bug 'fazasi CVD
Bug 'fazasi CVD silikon karbid plyonkalarining o'sishiga erishish uchun gazsimon prekursorlardan, odatda organosilikon birikmalaridan foydalanadi. Ko'p ishlatiladigan organosilikon birikmalariga metilsilan, dimetilsilan, monosilan va boshqalar kiradi, ular gazsimon prekursorlarni yuqori haroratli reaktsiya kameralariga tashish orqali metall tagliklarda silikon karbid plyonkalarini hosil qiladi. Reaksiya kamerasidagi yuqori haroratli joylar odatda induksion isitish yoki rezistiv isitish orqali hosil bo'ladi.
2. Suyuq fazali CVD
Suyuq fazali CVD suyuq kashshofdan, odatda kremniy va silanol birikmasini o'z ichiga olgan organik erituvchidan foydalanadi, u reaktsiya kamerasida isitiladi va bug'lanadi, so'ngra kimyoviy reaksiya orqali substratda silikon karbid plyonkasi hosil bo'ladi.
2. ning ishlash xususiyatlariCVD kremniy karbid qoplamasi
1.Excellent yuqori harorat ishlashi
CVD kremniy karbid qoplamalarimukammal yuqori harorat barqarorligi va oksidlanish qarshiligini taklif qiladi. U yuqori haroratli muhitda ishlashga qodir va yuqori haroratlarda ekstremal sharoitlarga bardosh bera oladi.
2.Yaxshi mexanik xususiyatlar
CVD kremniy karbid qoplamasiyuqori qattiqlik va yaxshi aşınma qarshilikka ega. Metall tagliklarni aşınma va korroziyadan himoya qiladi, materialning xizmat qilish muddatini uzaytiradi.
3. Ajoyib kimyoviy barqarorlik
CVD kremniy karbid qoplamalarikislotalar, ishqorlar va tuzlar kabi umumiy kimyoviy moddalarga juda chidamli. U substratning kimyoviy ta'siriga va korroziyaga qarshi turadi.
4. Kam ishqalanish koeffitsienti
CVD kremniy karbid qoplamasipast ishqalanish koeffitsienti va yaxshi o'z-o'zini moylash xususiyatlariga ega. Bu ishqalanish va eskirishni kamaytiradi va materialdan foydalanish samaradorligini oshiradi.
5.Yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligi
CVD silikon karbid qoplamasi yaxshi issiqlik o'tkazuvchanlik xususiyatlariga ega. U tezda issiqlikni o'tkazishi va metall taglikning issiqlik tarqalish samaradorligini oshirishi mumkin.
6.Excellent elektr izolyatsiya xususiyatlari
CVD silikon karbid qoplamasi yaxshi elektr izolyatsiyasi xususiyatlariga ega va oqim oqishini oldini oladi. Elektron qurilmalarning izolyatsiyasini himoya qilishda keng qo'llaniladi.
7. Sozlanishi qalinligi va tarkibi
CVD jarayonidagi sharoitlarni va prekursorning kontsentratsiyasini nazorat qilish orqali silikon karbid plyonkasi qalinligi va tarkibini sozlash mumkin. Bu turli xil ilovalar uchun ko'plab imkoniyatlar va moslashuvchanlikni ta'minlaydi.
Muxtasar qilib aytganda, CVD silikon karbid qoplamasi mukammal yuqori harorat ko'rsatkichlari, mukammal mexanik xususiyatlar, yaxshi kimyoviy barqarorlik, past ishqalanish koeffitsienti, yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligi va elektr izolyatsiyasi xususiyatlariga ega. Ushbu xususiyatlar CVD silikon karbid qoplamalarini ko'plab sohalarda, jumladan elektronika, optika, aerokosmik, kimyo sanoati va boshqalarda keng qo'llaniladi.
Yuborilgan vaqt: 20-mart-2024-yil