Qachonki spermabiznes yangiliklari, yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishning murakkabligini tushunish zaruratdir. yarimo'tkazgichli gofret bu sanoatda hal qiluvchi komponent hisoblanadi, lekin ular ko'pincha turli xil nopokliklardan ifloslanishga duch kelishadi. Bu ifloslantiruvchi moddalar, jumladan, atom, organik moddalar, metall element ioni va oksidi ishlab chiqarish jarayoniga ta'sir qilishi mumkin.
Zarrachalarpolimer va etching nopokligi gofret yuzasida adsorbsiya qilish uchun molekulalararo kuchga ishonish, qurilma fotolitografiyasiga ta'sir qiladi.organik aralashmalargomo teri yog'i va mashina moyi gofretda kino hosil qiladi, tozalashga to'sqinlik qiladi.metall elementlar ionlaritemir va alyuminiy kabi ko'pincha metall elementlarning ion kompleksi hosil bo'lishi orqali chiqariladi.Oksidlarishlab chiqarish jarayoniga to'sqinlik qiladi va odatda suyultirilgan gidroflorik kislotada namlash orqali chiqariladi.
kimyoviy usullarOdatda yarimo'tkazgichli gofretni tozalash va silkitish uchun ishlatiladi. eritmani cho'ktirish va mexanik skrab kabi namlikni kimyoviy tozalash texnikasi ustunlik qiladi. supersonik va megasonik tozalash usuli ifloslanishni olib tashlashning samarali usullarini taklif qiladi. quruq kimyoviy tozalash, plazma va gaz fazasi texnologiyasini o'z ichiga oladi, shuningdek, yarimo'tkazgichli gofretni tozalash jarayonlarida ham funktsiyani bajaradi.
Xabar vaqti: 29-oktabr-2024