Supero'tkazuvchilar SiC substratlarini bosqichma-bosqich ommaviy ishlab chiqarish bilan jarayonning barqarorligi va takrorlanishi uchun yuqori talablar qo'yiladi. Xususan, nuqsonlarni nazorat qilish, o'choqdagi issiqlik maydonining kichik sozlanishi yoki siljishi kristallarning o'zgarishiga yoki nuqsonlarning ko'payishiga olib keladi. Keyingi davrda biz "tez, uzun va qalin o'sish va o'sish" muammosiga duch kelishimiz kerak, nazariya va muhandislikni takomillashtirishdan tashqari, biz qo'llab-quvvatlash sifatida yanada ilg'or termal maydon materiallariga muhtojmiz. Ilg'or materiallardan foydalaning, ilg'or kristalllarni o'stiring.
Issiq maydonda grafit, gözenekli grafit, tantal karbid kukuni va boshqalar kabi tigelli materiallardan noto'g'ri foydalanish uglerodning ko'payishi kabi nuqsonlarga olib keladi. Bundan tashqari, ba'zi ilovalarda, gözenekli grafitning o'tkazuvchanligi etarli emas va o'tkazuvchanlikni oshirish uchun qo'shimcha teshiklar kerak. Yuqori o'tkazuvchanlikka ega bo'lgan gözenekli grafit qayta ishlash, changni olib tashlash, o'chirish va boshqalar bilan bog'liq qiyinchiliklarga duch keladi.
VET yangi avlod SiC kristalli o'sadigan termal maydon materialini, gözenekli tantal karbidini taqdim etadi. Jahon debyuti.
Tantal karbidining kuchi va qattiqligi juda yuqori va uni gözenekli qilish qiyin. Katta porozlik va yuqori tozalikka ega bo'lgan g'ovakli tantal karbidini tayyorlash katta muammodir. Hengpu Technology katta g'ovaklikka ega, maksimal g'ovakligi 75% bo'lgan g'ovakli tantal karbidini ishlab chiqardi va dunyoda yetakchilik qildi.
Gaz fazasi komponentlarini filtrlash, mahalliy harorat gradientini sozlash, material oqimining yo'nalishi, qochqinning nazorati va boshqalarni qo'llash mumkin. Har xil oqim o'tkazuvchanligiga ega mahalliy komponentlarni hosil qilish uchun Hengpu texnologiyasidan boshqa qattiq tantal karbid (ixcham) yoki tantal karbid qoplamasi bilan ishlatilishi mumkin.
Ba'zi komponentlar qayta ishlatilishi mumkin.
Xabar vaqti: 2023 yil 14 iyul