Bug 'fazasi epitaksisi (VPE) jarayonida poydevorning roli substratni qo'llab-quvvatlash va o'sish jarayonida bir xil isitishni ta'minlashdan iborat. Turli xil turdagi poydevorlar turli xil o'sish sharoitlari va moddiy tizimlar uchun javob beradi. Quyida bug 'fazasida tez-tez ishlatiladigan poydevor turlaridan ba'zilari keltirilganepitaksiya:
Barrel poydevori
Barrel tagliklari odatda gorizontal yoki egilgan bug 'fazali epitaksis tizimlarida qo'llaniladi. Ular substratni ushlab turishi va gazning substrat ustida oqishini ta'minlashi mumkin, bu esa bir xil epitaksial o'sishga erishishga yordam beradi.
Disk shaklidagi poydevor (vertikal)
Disk shaklidagi poydevorlar vertikal bug 'fazasi epitaksi tizimlari uchun javob beradi, unda substrat vertikal ravishda joylashtiriladi. Ushbu dizayn substrat va sezgir o'rtasidagi aloqa maydonini kamaytirishga yordam beradi va shu bilan issiqlik yo'qotilishi va potentsial ifloslanishni kamaytiradi.
Gorizontal sezgich
Gorizontal susseptorlar bug 'fazasi epitaksiyasida kamroq uchraydi, lekin gorizontal yo'nalishda epitaksial o'sishni ta'minlash uchun ba'zi o'ziga xos o'sish tizimlarida ishlatilishi mumkin.
Monolitik epitaksial reaksiya sezgichi
Monolitik epitaksial reaktsiya sezgichi yuqori sifatli epitaksial qatlamlarning o'sishi uchun mos keladigan aniqroq haroratni nazorat qilish va yaxshiroq issiqlik izolyatsiyasini ta'minlaydigan bitta substrat uchun mo'ljallangan.
Mahsulot haqida ma'lumot va maslahat olish uchun veb-saytimizga xush kelibsiz.
Bizning veb-saytimiz: https://www.vet-china.com/
Yuborilgan vaqt: 2024-yil-30-iyul