Silikon karbid (SiC) mukammal issiqlik o'tkazuvchanligiga, kimyoviy barqarorlikka va yuqori haroratga chidamliligiga ega bo'lgan keng qo'llanilishi mumkin bo'lgan keramik materialdir.Silikon karbidning ishlashi va qo'llanilishini yanada yaxshilash uchun kimyoviy bug 'cho'ktirish (CVD) texnologiyasi kremniy karbid qoplamasini tayyorlashning muhim usuliga aylandi.
Silikon karbid CVD qoplamasi turli xil substratlarda bir xil va zich himoya qatlamini hosil qilishi mumkin va turli xil ustun xususiyatlarga ega.Birinchidan, silikon karbid qoplamasi juda yuqori qattiqlik va aşınma qarshilikka ega, bu aşınmaya va chizishga samarali qarshilik ko'rsatishi va substratni aşınma va korroziyadan himoya qilishi mumkin.Ikkinchidan, silikon karbid qoplamasi mukammal yuqori harorat qarshiligiga ega va yuqori haroratli muhitda yuqori mexanik kuch va kimyoviy barqarorlikni saqlab turishi mumkin.Bu kremniy karbidli CVD qoplamasini aerokosmik, energetika, kimyo va boshqa sohalarda keng qo'llaniladi, masalan, yonish kamerasining ichki devorini qoplash, yuqori haroratli gaz sensorlari va yuqori haroratli elektron qurilmalar uchun.
Bundan tashqari, silikon karbid qoplamasi ham mukammal issiqlik o'tkazuvchanligi va elektr izolyatsiyasi xususiyatlariga ega.Issiqlik o'tkazuvchanligi materialning issiqlik o'tkazuvchanligini anglatadi va kremniy karbidli CVD qoplamalarining yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi ularni radiatorlar va issiqlik quvurlari kabi issiqlikni boshqarish dasturlari uchun ideal qiladi.Elektr izolyatsiyasi materialning oqimga nisbatan izolyatsiyalash ko'rsatkichlarini anglatadi va silikon karbid qoplamasining yaxshi elektr izolyatsiyasi uni yuqori kuchlanishli izolyatsiya qatlami va elektron qadoqlash kabi elektron qurilmalarda keng qo'llash imkonini beradi.
Silikon karbidli CVD qoplamalarini tayyorlashda umumiy prekursor gazlar silikon manbalarini va metan va silan kabi uglerod manbalarini o'z ichiga oladi.Bu gazlar CVD reaksiyasi orqali substrat yuzasida yupqa kremniy karbid qatlamini hosil qiladi.Harorat, havo bosimi va gaz oqimi kabi reaktsiya sharoitlarini sozlash orqali qoplamaning qalinligi, morfologiyasi va xususiyatlarini nazorat qilish mumkin.
Xulosa qilib aytganda, silikon karbid CVD qoplamasi yuqori qattiqlik, aşınma qarshilik, yuqori haroratga chidamlilik, issiqlik o'tkazuvchanligi va elektr izolyatsiyasi kabi bir qator ustun xususiyatlarga ega.Bu xususiyatlar kremniy karbid qoplamalarini aerokosmik, energetika, kimyo va elektronika kabi ko'plab sohalarda keng qo'llanilishiga olib keladi.CVD texnologiyasining uzluksiz rivojlanishi va takomillashtirilishi bilan kremniy karbid qoplamasining ishlashi yanada yaxshilanadi, bu esa ko'proq sohalarda ko'proq ilovalar uchun ko'proq imkoniyatlar beradi.
Yuborilgan vaqt: 2023 yil 18-dekabr