Maqsadlarni sochishasosan integral mikrosxemalar, axborotni saqlash, suyuq kristall displeylar, lazer xotiralari, elektron boshqaruv asboblari va boshqalar kabi elektronika va axborot sanoatida qo'llaniladi. Ular shisha qoplamasi sohasida, shuningdek, aşınmaya bardoshli sohalarda ham qo'llanilishi mumkin. materiallar, yuqori haroratli korroziyaga chidamlilik, yuqori darajadagi dekorativ mahsulotlar va boshqa sohalar.
Sputtering yupqa plyonkali materiallarni tayyorlashning asosiy usullaridan biridir.U yuqori tezlikdagi energiya ion nurlarini hosil qilish, qattiq sirtni bombardimon qilish va ionlar va qattiq sirt atomlari o'rtasida kinetik energiya almashish uchun vakuumda tezlashtirish va agregatsiya qilish uchun ion manbalari tomonidan yaratilgan ionlardan foydalanadi. Qattiq yuzadagi atomlar qattiq jismni tark etadi va substrat yuzasiga joylashadi. Bombardimon qilingan qattiq modda yupqa plyonkalarni purkash yo'li bilan yotqizish uchun xom ashyo bo'lib, u purkash maqsadi deb ataladi. Yarimo'tkazgichli integral mikrosxemalarda, yozib olish vositalarida, tekis panelli displeylarda va ishlov beriladigan qismlarning sirtini qoplashda har xil turdagi yupqa plyonkali materiallar keng qo'llanilgan.
Barcha amaliy sohalar orasida yarimo'tkazgich sanoati maqsadli püskürtme plyonkalari uchun eng qat'iy sifat talablariga ega.Yuqori tozalikdagi metall purkash maqsadlari asosan gofret ishlab chiqarish va ilg'or qadoqlash jarayonlarida qo'llaniladi. Chip ishlab chiqarishni misol qilib oladigan bo'lsak, biz kremniy gofretidan chipga qadar 7 ta asosiy ishlab chiqarish jarayonidan o'tishi kerakligini ko'ramiz, ya'ni diffuziya (termal jarayon), foto-litografiya (fotolitografiya), Etch (Etch), Ion implantatsiyasi (IonImplant), yupqa qatlam o'sishi (dielektrik cho'kma), kimyoviy mexanik polishing (CMP), metallizatsiya (Metalizatsiya) Jarayonlar birma-bir mos keladi. Sputtering nishoni "metallizatsiya" jarayonida qo'llaniladi. Maqsad yuqori energiyali zarrachalar bilan yupqa plyonkali yotqizish uskunasi bilan bombardimon qilinadi va keyin kremniy gofretda Supero'tkazuvchilar qatlam, to'siq qatlami kabi o'ziga xos funktsiyalarga ega bo'lgan metall qatlam hosil bo'ladi. Kuting. Butun yarimo'tkazgichlarning jarayonlari xilma-xil bo'lgani uchun tizimning to'g'ri mavjudligini tekshirish uchun ba'zi ba'zi holatlar talab qilinadi, shuning uchun biz ta'sirni tasdiqlash uchun ishlab chiqarishning muayyan bosqichlarida ba'zi turdagi qo'g'irchoq materiallarni talab qilamiz.
Xabar vaqti: 2022 yil 17-yanvar