Yarimo'tkazgich sanoatining grafit materiallariga bo'lgan talablari ayniqsa yuqori, grafitning nozik zarracha kattaligi yuqori aniqlik, yuqori haroratga chidamlilik, yuqori quvvat, kichik yo'qotish va boshqa afzalliklarga ega, masalan: sinterlangan grafit mahsulotlari qolipi.Yarimo'tkazgich sanoatida ishlatiladigan grafit uskunalari (shu jumladan, isitgichlar va ularning sinterlangan qoliplari) takroriy isitish va sovutish jarayonlariga bardosh berishi kerakligi sababli, grafit uskunasining xizmat qilish muddatini uzaytirish uchun odatda ishlatiladigan grafit materiallari barqaror ishlashga ega bo'lishi talab qilinadi. va issiqlikka chidamli zarba funktsiyasi.
01 Yarimo'tkazgich kristalli o'sishi uchun grafit aksessuarlari
Yarimo'tkazgich kristallarini etishtirish uchun ishlatiladigan barcha jarayonlar yuqori harorat va korroziy muhitda ishlaydi. Kristalli pechning issiq zonasi odatda issiqlikka bardoshli va korroziyaga chidamli yuqori toza grafit komponentlari bilan jihozlangan, masalan, isitgich, tigel, izolyatsiya tsilindri, hidoyat silindr, elektrod, tigel ushlagichi, elektrod gayka va boshqalar.
Biz kristall ishlab chiqarish qurilmalarining barcha grafit qismlarini ishlab chiqarishimiz mumkin, ular alohida-alohida yoki to'plamlarda yoki mijozning talablariga muvofiq har xil o'lchamdagi moslashtirilgan grafit qismlarini ishlab chiqarishimiz mumkin. Mahsulotlarning o'lchamini saytda o'lchash mumkin va tayyor mahsulotlarning kul miqdori kamroq bo'lishi mumkin5 ppm dan ortiq.
02 Yarimo'tkazgichli epitaksiya uchun grafit aksessuarlari
Epitaksial jarayon deganda, bitta kristalli substratdagi substrat bilan bir xil panjara tartibiga ega bo'lgan yagona kristalli material qatlamining o'sishi tushuniladi. Epitaksial jarayonda gofret grafit diskiga yuklanadi. Grafit diskining ishlashi va sifati gofretning epitaksial qatlamining sifati uchun muhim rol o'ynaydi. Epitaksial ishlab chiqarish sohasida juda ko'p ultra yuqori tozalikdagi grafit va SIC qoplamali yuqori toza grafit asoslari kerak.
Kompaniyamizning yarimo'tkazgichli epitaksiya uchun grafit bazasi keng ko'lamli ilovalarga ega, sanoatda keng tarqalgan ishlatiladigan uskunalarning ko'pchiligiga mos kelishi mumkin va yuqori tozalik, bir xil qoplama, mukammal xizmat muddati va yuqori kimyoviy qarshilik va termal barqarorlikka ega.
03 Ion implantatsiyasi uchun grafit aksessuarlari
Ion implantatsiyasi bor, fosfor va mishyakning plazma nurini ma'lum bir energiyaga tezlashtirish va undan keyin sirt qatlamining moddiy xususiyatlarini o'zgartirish uchun gofret materialining sirt qatlamiga AOK qilish jarayonini anglatadi. Ion implantatsiyasi moslamasining tarkibiy qismlari mukammal issiqlikka chidamliligi, issiqlik o'tkazuvchanligi, ion nurlari ta'sirida kamroq korroziya va past ifloslik tarkibiga ega bo'lgan yuqori toza materiallardan tayyorlanishi kerak. Yuqori tozalikdagi grafit dastur talablariga javob beradi va ion implantatsiyasi uskunasining uchish trubkasi, turli yoriqlar, elektrodlar, elektrod qopqoqlari, o'tkazgichlar, nur terminatorlari va boshqalar uchun ishlatilishi mumkin.
Biz nafaqat turli xil ion implantatsiya mashinalari uchun grafit himoya qopqog'ini ta'minlabgina qolmay, balki turli xil spetsifikatsiyalarning yuqori korroziyaga chidamliligi bilan yuqori toza grafit elektrodlari va ion manbalarini ham ta'minlay olamiz. Qo'llaniladigan modellar: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM va boshqa uskunalar. Bundan tashqari, biz mos keladigan keramika, volfram, molibden, alyuminiy mahsulotlari va qoplangan qismlarni ham taqdim eta olamiz.
04 Grafit izolyatsiya materiallari va boshqalar
Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlatiladigan issiqlik izolyatsiyalash materiallari orasida grafit qattiq namat, yumshoq namat, grafit folga, grafit qog'oz va grafit arqon mavjud.
Bizning barcha xom ashyolarimiz import qilinadigan grafit bo'lib, ular mijozning talablari bo'yicha aniq o'lchamlarga muvofiq kesilishi yoki umuman sotilishi mumkin.
Uglerod-uglerodli laganda quyosh monokristalli kremniy va polikristalli kremniy xujayralarini ishlab chiqarish jarayonida kino qoplamasi uchun tashuvchi sifatida ishlatiladi. Ish printsipi: kremniy chipini CFC tepsisiga joylashtiring va kino qoplamasini qayta ishlash uchun o'choq trubasiga yuboring.
