آئن بمباری کی عدم یکسانیت
خشکاینچنگعام طور پر ایک ایسا عمل ہے جو جسمانی اور کیمیائی اثرات کو یکجا کرتا ہے، جس میں آئن بمباری ایک اہم جسمانی اینچنگ طریقہ ہے۔ کے دوراننقاشی کا عمل، واقعہ کا زاویہ اور آئنوں کی توانائی کی تقسیم ناہموار ہوسکتی ہے۔
اگر آئن واقعہ کا زاویہ سائیڈ وال پر مختلف مقامات پر مختلف ہے تو سائیڈ وال پر آئنوں کا اینچنگ اثر بھی مختلف ہوگا۔ بڑے آئن واقعے کے زاویوں والے علاقوں میں، سائیڈ وال پر آئنوں کا اینچنگ اثر زیادہ مضبوط ہوتا ہے، جس کی وجہ سے اس علاقے میں سائیڈ وال کو زیادہ تر کیا جائے گا، جس کی وجہ سے سائیڈ وال جھک جائے گی۔ اس کے علاوہ، آئن توانائی کی غیر مساوی تقسیم بھی اسی طرح کے اثرات پیدا کرے گی۔ اعلی توانائی والے آئن مواد کو زیادہ مؤثر طریقے سے ہٹا سکتے ہیں، جس کے نتیجے میں متضاد ہوتا ہے۔اینچنگمختلف پوزیشنوں پر سائیڈ وال کی ڈگریاں، جس کے نتیجے میں سائیڈ وال موڑتا ہے۔
photoresist کے اثر و رسوخ
فوٹو ریزسٹ خشک اینچنگ میں ایک ماسک کا کردار ادا کرتا ہے، ان جگہوں کی حفاظت کرتا ہے جن کی کھدائی کی ضرورت نہیں ہے۔ تاہم، فوٹو ریزسٹ اینچنگ کے عمل کے دوران پلازما کی بمباری اور کیمیائی رد عمل سے بھی متاثر ہوتا ہے، اور اس کی کارکردگی بدل سکتی ہے۔
اگر فوٹو ریزسٹ کی موٹائی ناہموار ہے، اینچنگ کے عمل کے دوران استعمال کی شرح متضاد ہے، یا فوٹو ریزسٹ اور سبسٹریٹ کے درمیان چپکنے کا عمل مختلف مقامات پر مختلف ہے، تو یہ اینچنگ کے عمل کے دوران سائیڈ والز کے غیر مساوی تحفظ کا باعث بن سکتا ہے۔ مثال کے طور پر، پتلی فوٹو ریزسٹ یا کمزور چپکنے والی جگہیں بنیادی مواد کو زیادہ آسانی سے تراش سکتی ہیں، جس کی وجہ سے ان جگہوں پر سائیڈ والز جھک جاتے ہیں۔
سبسٹریٹ مادی خصوصیات میں فرق
اینچڈ سبسٹریٹ مواد میں خود مختلف خصوصیات ہوسکتی ہیں، جیسے مختلف کرسٹل واقفیت اور مختلف خطوں میں ڈوپنگ ارتکاز۔ یہ اختلافات اینچنگ کی شرح اور اینچنگ سلیکٹیوٹی کو متاثر کریں گے۔
مثال کے طور پر، کرسٹل لائن سلیکون میں، مختلف کرسٹل واقفیت میں سلکان ایٹموں کی ترتیب مختلف ہوتی ہے، اور اینچنگ گیس کے ساتھ ان کی رد عمل اور اینچنگ کی شرح بھی مختلف ہوتی ہے۔ اینچنگ کے عمل کے دوران، مادی خصوصیات میں فرق کی وجہ سے مختلف اینچنگ کی شرحیں مختلف مقامات پر سائیڈ والز کی اینچنگ گہرائی کو متضاد بنا دیں گی، جو بالآخر سائیڈ وال موڑنے کا باعث بنتی ہیں۔
آلات سے متعلقہ عوامل
اینچنگ کے سامان کی کارکردگی اور حیثیت کا بھی اینچنگ کے نتائج پر اہم اثر پڑتا ہے۔ مثال کے طور پر، رد عمل کے چیمبر میں پلازما کی ناہموار تقسیم اور غیر مساوی الیکٹروڈ پہننے جیسے مسائل اینچنگ کے دوران ویفر سطح پر آئن کی کثافت اور توانائی جیسے پیرامیٹرز کی غیر مساوی تقسیم کا باعث بن سکتے ہیں۔
اس کے علاوہ، آلات کا غیر مساوی درجہ حرارت کنٹرول اور گیس کے بہاؤ میں معمولی اتار چڑھاو بھی اینچنگ کی یکسانیت کو متاثر کر سکتا ہے، جس سے سائیڈ وال موڑنے کا باعث بنتا ہے۔
پوسٹ ٹائم: دسمبر-03-2024