سی ایم پی کا پلانرائزیشن میکانزم کیا ہے؟

Dual-Damascene ایک پراسیس ٹیکنالوجی ہے جو انٹیگریٹڈ سرکٹس میں میٹل انٹر کنیکٹس بنانے کے لیے استعمال ہوتی ہے۔ یہ دمشق کے عمل کی مزید ترقی ہے۔ ایک ہی عمل کے مرحلے میں ایک ہی وقت میں سوراخوں اور نالیوں کے ذریعے تشکیل دینے اور انہیں دھات سے بھرنے سے، دھاتی جڑوں کی مربوط مینوفیکچرنگ کا احساس ہوتا ہے۔

اسے دمشق کیوں کہا جاتا ہے؟

دمشق شہر شام کا دارالحکومت ہے اور دمشق کی تلواریں اپنی نفاست اور شاندار ساخت کی وجہ سے مشہور ہیں۔ جڑنے کے عمل کی ایک قسم کی ضرورت ہے: سب سے پہلے، مطلوبہ نمونہ دمشق سٹیل کی سطح پر کندہ کیا جاتا ہے، اور پہلے سے تیار شدہ مواد کو کندہ شدہ نالیوں میں مضبوطی سے جڑا جاتا ہے۔ جڑنا مکمل ہونے کے بعد، سطح تھوڑی ناہموار ہو سکتی ہے۔ کاریگر اسے احتیاط سے پالش کرے گا تاکہ مجموعی ہمواری کو یقینی بنایا جاسکے۔ اور یہ عمل چپ کے دوہری دمشق عمل کا پروٹو ٹائپ ہے۔ پہلے ڈائی الیکٹرک تہہ میں نالیوں یا سوراخوں کو کندہ کیا جاتا ہے، اور پھر ان میں دھات بھری جاتی ہے۔ بھرنے کے بعد، اضافی دھات کو cmp کے ذریعے ہٹا دیا جائے گا۔

دوہری ڈیماسین عمل کے اہم مراحل میں شامل ہیں:

▪ ڈائی الیکٹرک پرت کا جمع:

سیمی کنڈکٹر پر ڈائی الیکٹرک مواد کی ایک تہہ جمع کریں، جیسے کہ سلکان ڈائی آکسائیڈ (SiO2)ویفر.

▪ پیٹرن کی وضاحت کے لیے فوٹو لیتھوگرافی:

ڈائی الیکٹرک تہہ پر ویاس اور خندقوں کے پیٹرن کی وضاحت کرنے کے لیے فوٹو لیتھوگرافی کا استعمال کریں۔

▪اینچنگ:

خشک یا گیلی اینچنگ کے عمل کے ذریعے ویاس اور خندقوں کے پیٹرن کو ڈائی الیکٹرک تہہ میں منتقل کریں۔

▪ دھات کا ذخیرہ:

دھاتیں، جیسے کاپر (Cu) یا ایلومینیم (Al)، دھات کے آپس میں جڑنے کے لیے ویاس اور خندقوں میں جمع کریں۔

▪ کیمیکل مکینیکل پالش:

اضافی دھات کو ہٹانے اور سطح کو چپٹا کرنے کے لیے دھات کی سطح کی کیمیائی مکینیکل پالش۔

روایتی دھاتی آپس میں جڑے ہوئے مینوفیکچرنگ کے عمل کے مقابلے میں، دوہری ڈیماسین عمل کے درج ذیل فوائد ہیں:

▪سادہ عمل کے مراحل:ایک ہی عمل کے مرحلے میں ایک ساتھ ویاس اور خندقیں بنانے سے، عمل کے مراحل اور مینوفیکچرنگ کا وقت کم ہو جاتا ہے۔

▪بہتر مینوفیکچرنگ کارکردگی:عمل کے مراحل میں کمی کی وجہ سے، دوہری ڈیماسین عمل مینوفیکچرنگ کی کارکردگی کو بہتر بنا سکتا ہے اور پیداواری لاگت کو کم کر سکتا ہے۔

▪ دھاتی جڑوں کی کارکردگی کو بہتر بنائیں:دوہری ڈیماسین عمل دھاتی کے ایک دوسرے کو تنگ کر سکتا ہے، اس طرح سرکٹس کے انضمام اور کارکردگی کو بہتر بناتا ہے۔

▪ طفیلی صلاحیت اور مزاحمت کو کم کریں:لو-k ڈائی الیکٹرک مواد کا استعمال کرتے ہوئے اور دھاتی جڑوں کے ڈھانچے کو بہتر بنا کر، پرجیوی گنجائش اور مزاحمت کو کم کیا جا سکتا ہے، سرکٹس کی رفتار اور بجلی کی کھپت کی کارکردگی کو بہتر بنا کر۔