کیمیائی بخارات کا ذخیرہ (سی وی ڈی) سے مراد سلکان کی سطح پر ٹھوس فلم جمع کرنے کا عمل ہے۔ویفرگیس کے مرکب کے کیمیائی رد عمل کے ذریعے۔ ردعمل کے مختلف حالات (دباؤ، پیشگی) کے مطابق، اسے مختلف آلات کے ماڈلز میں تقسیم کیا جا سکتا ہے۔
یہ دو آلات کن عملوں کے لیے استعمال ہوتے ہیں؟
پی ای سی وی ڈی(پلازما بڑھا ہوا) سامان سب سے زیادہ اور سب سے زیادہ استعمال ہونے والا ہے، جو OX، نائٹرائڈ، میٹل گیٹ، بے کار کاربن وغیرہ میں استعمال ہوتا ہے۔ LPCVD (کم پاور) عام طور پر نائٹرائڈ، پولی، TEOS میں استعمال ہوتا ہے۔
اصول کیا ہے؟
PECVD-ایک ایسا عمل جو پلازما توانائی اور CVD کو بالکل یکجا کرتا ہے۔ PECVD ٹیکنالوجی کم دباؤ کے تحت پراسیس چیمبر (یعنی نمونے کی ٹرے) کے کیتھوڈ پر گلو ڈسچارج پیدا کرنے کے لیے کم درجہ حرارت والے پلازما کا استعمال کرتی ہے۔ یہ گلو ڈسچارج یا دیگر حرارتی آلہ نمونے کے درجہ حرارت کو پہلے سے طے شدہ سطح تک بڑھا سکتا ہے، اور پھر پروسیس گیس کی ایک کنٹرول شدہ مقدار متعارف کروا سکتا ہے۔ یہ گیس کیمیائی اور پلازما کے رد عمل کی ایک سیریز سے گزرتی ہے، اور آخر کار نمونے کی سطح پر ایک ٹھوس فلم بناتی ہے۔
LPCVD - کم پریشر کیمیائی بخارات جمع (LPCVD) کو ری ایکٹر میں رد عمل گیس کے آپریٹنگ پریشر کو تقریباً 133Pa یا اس سے کم کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔
ہر ایک کی خصوصیات کیا ہیں؟
PECVD - ایک ایسا عمل جو پلازما توانائی اور CVD کو بالکل یکجا کرتا ہے: 1) کم درجہ حرارت کا آپریشن (آلات کو زیادہ درجہ حرارت سے ہونے والے نقصان سے بچنا)؛ 2) تیزی سے فلم کی ترقی؛ 3) مواد کے بارے میں اچھا نہیں ہے، OX، نائٹرائڈ، دھاتی گیٹ، بے ترتیب کاربن سب بڑھ سکتے ہیں؛ 4) ایک ان سیٹو مانیٹرنگ سسٹم ہے، جو آئن پیرامیٹرز، گیس کے بہاؤ کی شرح، درجہ حرارت اور فلم کی موٹائی کے ذریعے ترکیب کو ایڈجسٹ کر سکتا ہے۔
LPCVD - LPCVD کی طرف سے جمع کردہ پتلی فلموں میں بہتر سٹیپ کوریج، اچھی ساخت اور ساخت کا کنٹرول، اعلی جمع کی شرح اور آؤٹ پٹ ہو گا۔ اس کے علاوہ، LPCVD کو کیریئر گیس کی ضرورت نہیں ہے، لہذا یہ ذرہ کی آلودگی کے منبع کو بہت حد تک کم کرتا ہے اور پتلی فلم کے جمع کرنے کے لیے ہائی ویلیو ایڈڈ سیمی کنڈکٹر صنعتوں میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔
مزید بحث کے لئے ہم سے ملنے کے لئے پوری دنیا سے کسی بھی صارفین کا خیرمقدم کریں!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
پوسٹ ٹائم: جولائی 24-2024