سلیکون کاربائیڈسلکان اور کاربن پر مشتمل ایک سخت مرکب ہے، اور فطرت میں انتہائی نایاب معدنی موئسانائٹ کے طور پر پایا جاتا ہے۔ سلیکون کاربائیڈ کے ذرات کو بہت سخت سیرامکس بنانے کے لیے sintering کے ذریعے آپس میں جوڑا جا سکتا ہے، جو بڑے پیمانے پر ایسی ایپلی کیشنز میں استعمال ہوتے ہیں جن میں اعلی پائیداری کی ضرورت ہوتی ہے، خاص طور پر سیمی کنڈکٹر جلوس میں۔
SiC کی جسمانی ساخت
SiC کوٹنگ کیا ہے؟
SiC کوٹنگ ایک گھنی، لباس مزاحم سلکان کاربائیڈ کوٹنگ ہے جس میں اعلی سنکنرن اور گرمی کی مزاحمت اور بہترین تھرمل چالکتا ہے۔ یہ اعلی پاکیزگی والی SiC کوٹنگ بنیادی طور پر سیمی کنڈکٹر اور الیکٹرانکس کی صنعتوں میں ویفر کیریئرز، بیسز اور حرارتی عناصر کو سنکنرن اور رد عمل والے ماحول سے بچانے کے لیے استعمال ہوتی ہے۔ SiC کوٹنگ ویکیوم فرنسز اور ہائی ویکیوم، ری ایکٹیو اور آکسیجن ماحول میں نمونے کو گرم کرنے کے لیے بھی موزوں ہے۔
اعلی طہارت SiC کوٹنگ کی سطح
SiC کوٹنگ کا عمل کیا ہے؟
سلکان کاربائیڈ کی ایک پتلی پرت کو استعمال کرتے ہوئے سبسٹریٹ کی سطح پر جمع کیا جاتا ہے۔CVD (کیمیائی بخارات جمع). جمع عام طور پر 1200-1300 ° C کے درجہ حرارت پر کیا جاتا ہے اور تھرمل تناؤ کو کم کرنے کے لیے سبسٹریٹ مواد کا تھرمل توسیعی رویہ SiC کوٹنگ کے ساتھ ہم آہنگ ہونا چاہیے۔
CVD SIC کوٹنگ فلم کرسٹل ڈھانچہ
SiC کوٹنگ کی جسمانی خصوصیات بنیادی طور پر اس کے اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، سختی، سنکنرن مزاحمت اور تھرمل چالکتا میں جھلکتی ہیں۔
عام جسمانی پیرامیٹرز عام طور پر مندرجہ ذیل ہیں:
سختی: SiC کوٹنگ میں عام طور پر 2000-2500 HV کی رینج میں Vickers Hardness ہوتی ہے، جو انہیں صنعتی ایپلی کیشنز میں انتہائی اعلی لباس اور اثر مزاحمت فراہم کرتی ہے۔
کثافت: SiC کوٹنگز میں عام طور پر 3.1-3.2 g/cm³ کی کثافت ہوتی ہے۔ اعلی کثافت کوٹنگ کی مکینیکل طاقت اور استحکام میں معاون ہے۔
تھرمل چالکتا: SiC کوٹنگز میں تھرمل چالکتا زیادہ ہوتی ہے، عام طور پر 120-200 W/mK (20°C پر)۔ یہ اسے اعلی درجہ حرارت والے ماحول میں اچھی تھرمل چالکتا فراہم کرتا ہے اور اسے سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں گرمی کے علاج کے آلات کے لیے خاص طور پر موزوں بناتا ہے۔
پگھلنے کا نقطہ: سلکان کاربائیڈ کا پگھلنے کا نقطہ تقریباً 2730°C ہے اور انتہائی درجہ حرارت پر بہترین تھرمل استحکام رکھتا ہے۔
تھرمل توسیع کا گتانک: SiC کوٹنگز میں تھرمل ایکسپینشن (CTE) کا کم لکیری گتانک ہوتا ہے، عام طور پر 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃ میں)۔ اس کا مطلب یہ ہے کہ درجہ حرارت کے بڑے فرق پر اس کی جہتی استحکام بہترین ہے۔
سنکنرن مزاحمت: SiC کوٹنگز مضبوط تیزاب، الکلی اور آکسیڈائزنگ ماحول میں سنکنرن کے خلاف انتہائی مزاحم ہیں، خاص طور پر جب مضبوط تیزاب (جیسے HF یا HCl) کا استعمال کرتے ہوئے، ان کی سنکنرن مزاحمت روایتی دھاتی مواد سے کہیں زیادہ ہے۔
مندرجہ ذیل مواد پر SiC کوٹنگز کا اطلاق کیا جا سکتا ہے:
اعلی طہارت isostatic گریفائٹ (کم CTE)
ٹنگسٹن
Molybdenum
سلیکون کاربائیڈ
سلیکن نائٹرائیڈ
کاربن کاربن مرکبات (CFC)
SiC لیپت مصنوعات عام طور پر درج ذیل علاقوں میں استعمال ہوتی ہیں۔
ایل ای ڈی چپ کی پیداوار
پولی سیلیکون کی پیداوار
سیمی کنڈکٹرکرسٹل ترقی
سلیکون اورایس آئی سی ایپیٹیکسی
ویفر ہیٹ ٹریٹمنٹ اور اینچنگ
VET توانائی کا انتخاب کیوں کریں؟
VET انرجی چین میں SiC کوٹنگ مصنوعات کا ایک سرکردہ صنعت کار، اختراعی اور رہنما ہے، جس میں اہم SiC کوٹنگ مصنوعات شامل ہیںSiC کوٹنگ کے ساتھ ویفر کیریئر، SiC لیپتepitaxial susceptor, SiC لیپت گریفائٹ انگوٹی, SiC کوٹنگ کے ساتھ نصف چاند کے حصے, SiC لیپت کاربن کاربن مرکب, SiC لیپت ویفر کشتی, ایس سی لیپت ہیٹروغیرہ۔ VET Energy سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کو حتمی ٹیکنالوجی اور مصنوعات کے حل فراہم کرنے کے لیے پرعزم ہے، اور حسب ضرورت خدمات کی حمایت کرتی ہے۔ ہم خلوص دل سے چین میں آپ کے طویل مدتی پارٹنر بننے کے منتظر ہیں۔
اگر آپ کی کوئی پوچھ گچھ ہے یا اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے، تو براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں سنکوچ نہ کریں۔
واٹس ایپ اور وی چیٹ:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
پوسٹ ٹائم: اکتوبر 18-2024