سنگل کرسٹل سلکان کا تھرمل آکسیکرن

سلکان کی سطح پر سلکان ڈائی آکسائیڈ کی تشکیل کو آکسیڈیشن کہا جاتا ہے، اور مستحکم اور مضبوطی سے پیروی کرنے والی سلکان ڈائی آکسائیڈ کی تخلیق نے سلیکون انٹیگریٹڈ سرکٹ پلانر ٹیکنالوجی کی پیدائش کا باعث بنا۔ اگرچہ سلیکون ڈائی آکسائیڈ کو براہ راست سلکان کی سطح پر اگانے کے بہت سے طریقے ہیں، لیکن یہ عام طور پر تھرمل آکسیڈیشن کے ذریعے کیا جاتا ہے، جس کا مقصد سلکان کو اعلی درجہ حرارت کے آکسیڈائزنگ ماحول (آکسیجن، پانی) کے سامنے لانا ہے۔ تھرمل آکسیڈیشن کے طریقے سلکان ڈائی آکسائیڈ فلموں کی تیاری کے دوران فلم کی موٹائی اور سلکان/سلیکان ڈائی آکسائیڈ انٹرفیس کی خصوصیات کو کنٹرول کر سکتے ہیں۔ سلکان ڈائی آکسائیڈ کو اگانے کے لیے دیگر تکنیکیں پلازما انوڈائزیشن اور گیلے انوڈائزیشن ہیں، لیکن ان میں سے کوئی بھی تکنیک VLSI عمل میں بڑے پیمانے پر استعمال نہیں ہوئی ہے۔

سلکان مستحکم سلکان ڈائی آکسائیڈ بنانے کا رجحان ظاہر کرتا ہے۔ اگر تازہ کٹے ہوئے سلکان کو آکسیڈائزنگ ماحول (جیسے آکسیجن، پانی) کے سامنے لایا جائے تو یہ کمرے کے درجہ حرارت پر بھی ایک بہت ہی پتلی آکسائیڈ پرت (<20Å) بنائے گا۔ جب سلکان اعلی درجہ حرارت پر آکسائڈائزنگ ماحول کے سامنے آتا ہے، تو ایک موٹی آکسائڈ پرت تیز رفتار سے پیدا ہوتی ہے۔ سلکان سے سلکان ڈائی آکسائیڈ کی تشکیل کا بنیادی طریقہ کار بخوبی سمجھا جاتا ہے۔ ڈیل اور گروو نے ایک ریاضیاتی ماڈل تیار کیا جو 300Å سے زیادہ موٹی آکسائیڈ فلموں کی ترقی کی حرکیات کو درست طریقے سے بیان کرتا ہے۔ انہوں نے تجویز پیش کی کہ آکسیڈیشن مندرجہ ذیل طریقے سے کی جاتی ہے، یعنی آکسیڈینٹ (پانی کے مالیکیولز اور آکسیجن کے مالیکیولز) موجودہ آکسائیڈ پرت کے ذریعے Si/SiO2 انٹرفیس میں پھیل جاتے ہیں، جہاں آکسیڈینٹ سلکان کے ساتھ رد عمل ظاہر کر کے سلکان ڈائی آکسائیڈ بناتا ہے۔ سلکان ڈائی آکسائیڈ کی تشکیل کا بنیادی ردعمل اس طرح بیان کیا گیا ہے:

آکسیکرن ردعمل Si/SiO2 انٹرفیس پر ہوتا ہے، لہذا جب آکسائڈ کی تہہ بڑھتی ہے، سلکان مسلسل استعمال ہوتا ہے اور انٹرفیس آہستہ آہستہ سلکان پر حملہ کرتا ہے۔ سلکان اور سلکان ڈائی آکسائیڈ کے متعلقہ کثافت اور سالماتی وزن کے مطابق، یہ پایا جا سکتا ہے کہ آخری آکسائیڈ پرت کی موٹائی کے لیے استعمال ہونے والا سلیکان 44% ہے۔ اس طرح، اگر آکسائیڈ کی تہہ 10,000Å بڑھ جاتی ہے، تو 4400Å سلکان استعمال ہو جائے گا۔ یہ تعلق پر بننے والے مراحل کی اونچائی کا حساب لگانے کے لیے اہم ہے۔سلکان ویفر. یہ اقدامات سلکان ویفر کی سطح پر مختلف مقامات پر مختلف آکسیکرن کی شرح کا نتیجہ ہیں۔

ہم اعلی پیوریٹی گریفائٹ اور سلکان کاربائیڈ پروڈکٹس بھی فراہم کرتے ہیں، جو بڑے پیمانے پر ویفر پروسیسنگ جیسے آکسیڈیشن، ڈفیوژن اور اینیلنگ میں استعمال ہوتے ہیں۔

مزید بحث کے لیے ہم سے ملنے کے لیے دنیا بھر سے کسی بھی گاہک کو خوش آمدید کہتے ہیں!

https://www.vet-china.com/