سیمی کنڈکٹر فیلڈ میں سلکان کاربائیڈ سیرامکس کا اطلاق

فوٹو لیتھوگرافی مشینوں کے درست حصوں کے لیے ترجیحی مواد

سیمی کنڈکٹر فیلڈ میں،سلکان کاربائڈ سیرامکمواد بنیادی طور پر انٹیگریٹڈ سرکٹ مینوفیکچرنگ کے لیے کلیدی آلات میں استعمال ہوتے ہیں، جیسے کہ سلکان کاربائیڈ ورک ٹیبل، گائیڈ ریل،عکاس, سیرامک ​​سکشن چکلتھوگرافی مشینوں کے لیے ہتھیار، پیسنے والی ڈسکس، فکسچر وغیرہ۔

سلیکن کاربائیڈ سیرامک ​​پارٹسسیمی کنڈکٹر اور آپٹیکل آلات کے لیے

● سلکان کاربائیڈ سیرامک ​​پیسنے والی ڈسک۔ اگر پیسنے والی ڈسک کاسٹ آئرن یا کاربن اسٹیل سے بنی ہے، تو اس کی سروس لائف مختصر ہے اور اس کا تھرمل ایکسپینشن گتانک بڑا ہے۔ سلیکون ویفرز کی پروسیسنگ کے دوران، خاص طور پر تیز رفتار پیسنے یا پالش کرنے کے دوران، پیسنے والی ڈسک کے پہننے اور تھرمل اخترتی کی وجہ سے سلیکون ویفر کی چپٹی اور ہم آہنگی کو یقینی بنانا مشکل ہو جاتا ہے۔ سلکان کاربائیڈ سیرامکس سے بنی پیسنے والی ڈسک میں زیادہ سختی اور کم لباس ہوتا ہے، اور تھرمل ایکسپینشن گتانک بنیادی طور پر سلیکون ویفرز جیسا ہی ہوتا ہے، اس لیے اسے تیز رفتاری سے گراؤنڈ اور پالش کیا جا سکتا ہے۔
● سلکان کاربائیڈ سیرامک ​​فکسچر۔ اس کے علاوہ، جب سلیکون ویفرز تیار کیے جاتے ہیں، تو انہیں اعلی درجہ حرارت کے ہیٹ ٹریٹمنٹ سے گزرنا پڑتا ہے اور اکثر سلکان کاربائیڈ فکسچر کا استعمال کرتے ہوئے منتقل کیا جاتا ہے۔ وہ گرمی مزاحم اور غیر تباہ کن ہیں. کارکردگی کو بڑھانے، ویفر کو پہنچنے والے نقصان کو کم کرنے اور آلودگی کو پھیلنے سے روکنے کے لیے ڈائمنڈ نما کاربن (DLC) اور دیگر کوٹنگز کو سطح پر لگایا جا سکتا ہے۔
● سلکان کاربائیڈ ورک ٹیبل۔ مثال کے طور پر لیتھوگرافی مشین میں ورک ٹیبل کو لے کر، ورک ٹیبل بنیادی طور پر نمائش کی نقل و حرکت کو مکمل کرنے کے لیے ذمہ دار ہے، جس میں تیز رفتار، بڑے اسٹروک، چھ ڈگری آف فریڈم نینو لیول الٹرا پریزین موومنٹ کی ضرورت ہوتی ہے۔ مثال کے طور پر، 100nm کی ریزولوشن والی لتھوگرافی مشین کے لیے، 33nm کی اوورلے کی درستگی، اور 10nm کی لائن کی چوڑائی، 10nm تک پہنچنے کے لیے ورک ٹیبل پوزیشننگ کی درستگی کی ضرورت ہوتی ہے، ماسک-سلیکون ویفر بیک وقت قدم اور سکیننگ کی رفتار 150nm/ہیں اور بالترتیب 120nm/s، اور ماسک اسکیننگ کی رفتار 500nm/s کے قریب ہے، اور ورک ٹیبل کو بہت زیادہ حرکت کی درستگی اور استحکام کی ضرورت ہے۔

ورک ٹیبل اور مائیکرو موشن ٹیبل کا اسکیمیٹک ڈایاگرام (جزوی سیکشن)

● سلکان کاربائیڈ سیرامک ​​مربع آئینہ۔ کلیدی انٹیگریٹڈ سرکٹ آلات میں کلیدی اجزاء جیسے لتھوگرافی مشینوں میں پیچیدہ شکلیں، پیچیدہ طول و عرض، اور کھوکھلی ہلکے وزن کے ڈھانچے ہوتے ہیں، جس کی وجہ سے ایسے سلکان کاربائیڈ سیرامک ​​اجزاء کو تیار کرنا مشکل ہو جاتا ہے۔ فی الحال، مرکزی دھارے کے بین الاقوامی مربوط سرکٹ سازوسامان بنانے والے، جیسے نیدرلینڈ میں ASML، جاپان میں NIKON اور CANON، مربع آئینہ تیار کرنے کے لیے مائکرو کرسٹل لائن گلاس اور کورڈیرائٹ جیسے مواد کی ایک بڑی مقدار استعمال کرتے ہیں، لیتھوگرافی مشینوں کے بنیادی اجزاء، اور سلکان کاربائیڈ استعمال کرتے ہیں۔ سیرامکس سادہ شکلوں کے ساتھ دیگر اعلی کارکردگی والے ساختی اجزاء تیار کرنے کے لیے۔ تاہم، چائنا بلڈنگ میٹریلز ریسرچ انسٹی ٹیوٹ کے ماہرین نے بڑے سائز، پیچیدہ شکل کے، انتہائی ہلکے، مکمل طور پر بند سیلیکون کاربائیڈ سیرامک ​​اسکوائر آئینے اور لتھوگرافی مشینوں کے لیے دیگر ساختی اور فعال آپٹیکل اجزاء کی تیاری کے حصول کے لیے ملکیتی تیاری کی ٹیکنالوجی کا استعمال کیا ہے۔