VET توانائیPECVD پروسیس گریفائٹ کیریئر PECVD (پلازما میں اضافہ شدہ کیمیائی بخارات جمع کرنے) کے عمل کے لیے تیار کردہ ایک اعلیٰ معیار کا قابل استعمال ہے۔ یہ گریفائٹ کیریئر اعلی پاکیزگی، اعلی کثافت گریفائٹ مواد سے بنا ہے، بہترین اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، جہتی استحکام اور دیگر خصوصیات کے ساتھ، پی ای سی وی ڈی کے عمل کے لیے ایک مستحکم کیریئر پلیٹ فارم مہیا کر سکتا ہے، تاکہ پتلی فلم کی یکسانیت اور ہمواری کو یقینی بنایا جا سکے۔ جمع
پی ای سی وی ڈی عمل کے لیے گریفائٹ کیریئرز میں درج ذیل خصوصیات ہیں:
▪ اعلی پاکیزگی: انتہائی کم ناپاک مواد، فلم کی آلودگی سے بچنا اور فلم کے معیار کو یقینی بنانا۔
▪ اعلی کثافت: اعلی کثافت، اعلی مکینیکل طاقت، اعلی درجہ حرارت اور ہائی پریشر PECVD ماحول کو برداشت کرنے کے قابل۔
▪ اچھا جہتی استحکام: اعلی درجہ حرارت پر چھوٹی جہتی تبدیلی، عمل کے استحکام کو یقینی بناتی ہے۔
▪ بہترین تھرمل چالکتا: ویفر کو زیادہ گرم ہونے سے روکنے کے لیے حرارت کو مؤثر طریقے سے منتقل کریں۔
▪ مضبوط سنکنرن مزاحمت: مختلف سنکنرن گیسوں اور پلازما کے ذریعہ کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کرنے کے قابل۔
▪ حسب ضرورت سروس: مختلف سائز اور اشکال کے گریفائٹ کیریئرز کو کسٹمر کی ضروریات کے مطابق اپنی مرضی کے مطابق بنایا جا سکتا ہے۔
SGL سے گریفائٹ مواد:
| عام پیرامیٹر: R6510 | |||
| انڈیکس | ٹیسٹ کا معیار | قدر | یونٹ |
| اناج کا اوسط سائز | آئی ایس او 13320 | 10 | μm |
| بلک کثافت | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| کھلی porosity | DIN66133 | 10 | % |
| درمیانی تاکنا سائز | DIN66133 | 1.8 | μm |
| پارگمیتا | دین 51935 | 0.06 | cm²/s |
| راک ویل سختی HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| مخصوص برقی مزاحمت | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| لچکدار طاقت | DIN IEC 60413/501 | 60 | ایم پی اے |
| دبانے والی طاقت | DIN 51910 | 130 | ایم پی اے |
| ینگ کا ماڈیولس | DIN 51915 | 11.5×10³ | ایم پی اے |
| حرارتی توسیع (20-200 ℃) | دین 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| تھرمل چالکتا (20℃) | دین 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
یہ خاص طور پر اعلی کارکردگی والے سولر سیل مینوفیکچرنگ کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، جو G12 بڑے سائز کے ویفر پروسیسنگ کو سپورٹ کرتا ہے۔ آپٹمائزڈ کیریئر ڈیزائن تھرو پٹ کو نمایاں طور پر بڑھاتا ہے، اعلی پیداوار کی شرح اور کم پیداواری لاگت کو قابل بناتا ہے۔
| آئٹم | قسم | نمبر ویفر کیریئر |
| PEVCD گریفائٹ کشتی - 156 سیریز | 156-13 گریفائٹ کشتی | 144 |
| 156-19 گریفائٹ کشتی | 216 | |
| 156-21 گریفائٹ کشتی | 240 | |
| 156-23 گریفائٹ کشتی | 308 | |
| PEVCD گریفائٹ کشتی - 125 سیریز | 125-15 گریفائٹ کشتی | 196 |
| 125-19 گریفائٹ کشتی | 252 | |
| 125-21 گریفائٹ کشتی | 280 |
