Що таке механізм планаризації CMP?

Dual-Damascene — це технологія, яка використовується для виготовлення металевих з’єднань в інтегральних схемах. Це подальший розвиток Дамаського процесу. Формуючи наскрізні отвори та канавки одночасно на одному етапі процесу та заповнюючи їх металом, реалізується інтегроване виробництво металевих з’єднань.

Чому він називається Дамаск?

Місто Дамаск є столицею Сирії, а дамаські мечі славляться своєю гостротою і вишуканою фактурою. Потрібен своєрідний процес інкрустації: спочатку на поверхні дамаської сталі гравірується необхідний малюнок, а попередньо підготовлені матеріали щільно інкрустуються в гравіровані канавки. Після завершення інкрустації поверхня може бути трохи нерівною. Майстер ретельно відполірує його, щоб забезпечити загальну гладкість. І цей процес є прототипом подвійного дамаського процесу чіпа. Спочатку в шарі діелектрика гравірують канавки або отвори, а потім заповнюють їх металом. Після заповнення надлишки металу будуть видалені cmp.

Основні етапи подвійного дамаського процесу включають:

▪ Нанесення шару діелектрика:

Нанесіть на напівпровідник шар діелектричного матеріалу, наприклад діоксиду кремнію (SiO2).вафельний.

▪ Фотолітографія для визначення малюнка:

Використовуйте фотолітографію, щоб визначити малюнок отворів і канавок на шарі діелектрика.

▪Офорт:

Перенесіть малюнок отворів і канавок на шар діелектрика за допомогою процесу сухого або мокрого травлення.

▪ Осадження металу:

Покладіть метал, наприклад мідь (Cu) або алюміній (Al), у отвори та жолоби для формування металевих з’єднань.

▪ Хіміко-механічне полірування:

Хіміко-механічне полірування металевої поверхні для видалення надлишків металу та вирівнювання поверхні.

У порівнянні з традиційним процесом виробництва металевих з’єднань подвійний дамаський процес має такі переваги:

▪Спрощені етапи процесу:завдяки формуванню отворів і жолобів одночасно на одній і тій самій стадії процесу стадії процесу та час виробництва скорочуються.

▪Підвищення ефективності виробництва:завдяки скороченню кроків процесу подвійний дамаський процес може підвищити ефективність виробництва та знизити витрати на виробництво.

▪Покращення продуктивності металевих з’єднань:процес подвійного дамасцену може досягти більш вузьких металевих з’єднань, тим самим покращуючи інтеграцію та продуктивність схем.

▪Зменшити паразитну ємність і опір:Використовуючи діелектричні матеріали з низьким рівнем k і оптимізуючи структуру металевих з’єднань, паразитну ємність і опір можна зменшити, покращуючи швидкість і енергоспоживання схем.