Яка різниця між PECVD та LPCVD у напівпровідниковому обладнанні CVD?

Хімічне осадження з парової фази (ССЗ) відноситься до процесу осадження твердої плівки на поверхню кремніювафельнийчерез хімічну реакцію газової суміші. Відповідно до різних умов реакції (тиск, прекурсор) його можна розділити на різні моделі обладнання.

Для яких процесів використовуються ці два пристрої?

PECVDОбладнання (Plasma Enhanced) є найбільш численним і найчастіше використовуваним, використовується в OX, нітриді, металевому затворі, аморфному вуглеці тощо; LPCVD (Low Power) зазвичай використовується в нітриді, полі, TEOS.
Який принцип?
PECVD - процес, який ідеально поєднує енергію плазми та CVD. Технологія PECVD використовує низькотемпературну плазму для індукції тліючого розряду на катоді технологічної камери (тобто лотка для зразків) під низьким тиском. Цей тліючий розряд або інший нагрівальний пристрій може підвищити температуру зразка до заданого рівня, а потім ввести контрольовану кількість технологічного газу. Цей газ проходить серію хімічних і плазмових реакцій і, нарешті, утворює тверду плівку на поверхні зразка.

LPCVD – хімічне осадження з парової фази при низькому тиску (LPCVD) розроблено для зниження робочого тиску реакційного газу в реакторі приблизно до 133 Па або менше.

Які характеристики кожного з них?

PECVD - процес, який ідеально поєднує енергію плазми та CVD: 1) Низькотемпературна робота (уникнення високотемпературного пошкодження обладнання); 2) Швидке зростання плівки; 3) Не вибагливий до матеріалів, OX, нітрид, металеві ворота, аморфний вуглець можуть рости; 4) Існує система моніторингу на місці, яка може регулювати рецепт за допомогою іонних параметрів, швидкості потоку газу, температури та товщини плівки.
LPCVD - Тонкі плівки, нанесені методом LPCVD, матимуть краще покриття кроків, хороший контроль складу та структури, високу швидкість осадження та вихід. Крім того, для LPCVD не потрібен газ-носій, тому він значно зменшує джерело забруднення частинками та широко використовується в напівпровідниковій промисловості з високою доданою вартістю для осадження тонкої плівки.

 

Ласкаво просимо всіх клієнтів з усього світу відвідати нас для подальшого обговорення!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/