Покриття з карбіду кремнію,широко відоме як покриття SiC, відноситься до процесу нанесення шару карбіду кремнію на поверхні за допомогою таких методів, як хімічне осадження з парової фази (CVD), фізичне осадження з парової фази (PVD) або термічне напилення. Це керамічне покриття з карбіду кремнію покращує властивості поверхні різних підкладок, надаючи виняткову зносостійкість, термостабільність і захист від корозії. SiC відомий своїми видатними фізичними та хімічними властивостями, включаючи високу температуру плавлення (приблизно 2700 ℃), надзвичайну твердість (шкала Мооса 9), чудову стійкість до корозії та окислення та виняткову ефективність абляції.
Ключові переваги покриття з карбіду кремнію в промисловому застосуванні
Завдяки цим особливостям покриття з карбіду кремнію широко використовується в таких галузях, як аерокосмічна промисловість, озброєння та обробка напівпровідників. В екстремальних умовах, особливо в діапазоні 1800-2000 ℃, покриття SiC демонструє чудову термічну стабільність і стійкість до абляції, що робить його ідеальним для застосування при високих температурах. Однак карбід кремнію сам по собі не має структурної цілісності, необхідної для багатьох застосувань, тому застосовуються методи нанесення покриття, щоб підвищити його унікальні властивості без шкоди для міцності компонентів. У виробництві напівпровідників елементи, покриті карбідом кремнію, забезпечують надійний захист і стабільність роботи обладнання, що використовується в процесах MOCVD.
Загальні методи підготовки покриття з карбіду кремнію
Ⅰ● Покриття з карбіду кремнію методом хімічного осадження з парової фази (CVD).
У цьому методі покриття SiC утворюються шляхом розміщення підкладок у реакційній камері, де метилтрихлорсилан (MTS) виступає в якості прекурсора. У контрольованих умовах — як правило, 950-1300 °C і негативному тиску — MTS розкладається, і карбід кремнію осідає на поверхні. Цей процес нанесення покриття CVD SiC забезпечує щільне однорідне покриття з відмінною адгезією, ідеальне для високоточних застосувань у напівпровідниковій та аерокосмічній галузях.
Ⅱ● Метод перетворення прекурсорів (полімерна імпрегнація та піроліз – PIP)
Іншим ефективним підходом до покриття карбідом кремнію є метод перетворення прекурсора, який передбачає занурення попередньо обробленого зразка в розчин прекурсора кераміки. Після вакуумування резервуара для просочування та створення тиску для покриття зразок нагрівається, що призводить до утворення покриття з карбіду кремнію при охолодженні. Цей метод кращий для компонентів, які потребують рівномірної товщини покриття та підвищеної зносостійкості.
Фізичні властивості покриття з карбіду кремнію
Покриття з карбіду кремнію демонструють властивості, які роблять їх ідеальними для складних промислових застосувань. Ці властивості включають:
Теплопровідність: 120-270 Вт/м·К
Коефіцієнт теплового розширення: 4,3 × 10^(-6)/K (при 20~800 ℃)
Питомий електричний опір: 10^5– 10^6Ω·см
Твердість: шкала Мооса 9
Застосування покриття з карбіду кремнію
У виробництві напівпровідників покриття з карбіду кремнію для MOCVD та інших високотемпературних процесів захищає критично важливе обладнання, таке як реактори та токоприймачі, забезпечуючи як стійкість до високих температур, так і стабільність. В аерокосмічній та оборонній сферах керамічні покриття з карбіду кремнію наносяться на компоненти, які повинні витримувати високошвидкісні удари та корозійне середовище. Крім того, фарбу або покриття з карбіду кремнію також можна використовувати на медичних пристроях, які вимагають довговічності під час процедур стерилізації.
Чому варто вибрати покриття з карбіду кремнію?
Завдяки підтвердженій історії подовження терміну служби компонентів покриття з карбіду кремнію забезпечують неперевершену довговічність і температурну стабільність, що робить їх економічно ефективними для тривалого використання. Вибираючи поверхню з покриттям з карбіду кремнію, промисловість отримує вигоду від зниження витрат на технічне обслуговування, підвищення надійності обладнання та підвищення ефективності роботи.
Чому варто вибрати VET ENERGY?
VET ENERGY є професійним виробником і фабрикою з виробництва покриттів з карбіду кремнію в Китаї. Основні продукти покриття SiC включають нагрівач керамічного покриття з карбіду кремнію,CVD Покриття з карбіду кремнію MOCVD Susceptor, Графітовий носій MOCVD з CVD покриттям SiC, Графітові базові носії з покриттям SiC, Графітова підкладка з покриттям з карбіду кремнію для напівпровідників,SiC покриття/графітова підкладка з покриттям/лоток для напівпровідників, Вуглець-вуглецева композиційна форма для човна CVD з покриттям SiC. VET ENERGY прагне надавати передові технології та продуктові рішення для напівпровідникової промисловості. Ми щиро сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
Час публікації: 02 вересня 2023 р