Під час процесу парофазної епітаксії (VPE) роль підставки полягає в тому, щоб підтримувати підкладку та забезпечувати рівномірне нагрівання під час процесу росту. Для різних умов зростання і систем матеріалів підходять різні типи тумб. Нижче наведено деякі типові підставки, які зазвичай використовуються в паровій фазіепітаксія:
Бочка постамент
П’єдестали бочок зазвичай використовуються в горизонтальних або нахилених системах епітаксії з парової фази. Вони можуть утримувати підкладку та пропускати газ через підкладку, що допомагає досягти рівномірного епітаксійного зростання.
Постамент дископодібний (постамент вертикальний)
П’єдестали у формі диска підходять для вертикальних систем епітаксії з парової фази, у яких підкладка розміщена вертикально. Така конструкція допомагає зменшити площу контакту між підкладкою та чутливим елементом, тим самим зменшуючи втрати тепла та потенційне забруднення.
Горизонтальний суцептор
Горизонтальні рецептори менш поширені в епітаксії з парової фази, але можуть використовуватися в деяких конкретних системах вирощування, щоб забезпечити епітаксійне зростання в горизонтальному напрямку.
Монолітний епітаксіальний реакційний суцептор
Монолітний епітаксіальний реакційний рецептор розроблений для однієї підкладки, яка може забезпечити точніший контроль температури та кращу теплоізоляцію, придатну для вирощування високоякісних епітаксійних шарів.
Ласкаво просимо на наш веб-сайт для отримання інформації та консультацій щодо продуктів.
Наш сайт: https://www.vet-china.com/
Час публікації: 30 липня 2024 р