Вимоги напівпровідникової промисловості щодо вимог до графітового матеріалу особливо високі, дрібний розмір частинок графіту має високу точність, високу термостійкість, високу міцність, невеликі втрати та інші переваги, такі як: прес-форма для спечених графітових виробів.Оскільки графітове обладнання, яке використовується в напівпровідниковій промисловості (включно з нагрівачами та їх спеченими матрицями), повинно витримувати повторювані процеси нагрівання та охолодження, щоб продовжити термін служби графітового обладнання, зазвичай потрібно, щоб використовувані графітові матеріали мали стабільні характеристики і термостійкість ударної функції.
01 Графітові аксесуари для вирощування кристалів напівпровідників
Усі процеси, які використовуються для вирощування напівпровідникових кристалів, працюють у високій температурі та корозійному середовищі. Гаряча зона печі для вирощування кристалів зазвичай оснащена термостійкими та корозійно-стійкими графітовими компонентами високої чистоти, такими як нагрівач, тигель, ізоляційний циліндр, напрямний циліндр, електрод, тримач тигля, гайка електрода тощо.
Ми можемо виготовити всі графітові частини пристроїв для виробництва кристалів, які можуть поставлятися окремо або в комплекті, або індивідуальні графітові деталі різних розмірів відповідно до вимог замовника. Розмір продукції можна виміряти на місці, а зольність готової продукції може бути меншоюніж 5 ppm.
02 Графітові аксесуари для епітаксії напівпровідників
Епітаксіальний процес стосується вирощування шару монокристалічного матеріалу з таким самим розташуванням решітки, що й підкладка, на монокристалічній підкладці. У процесі епітаксіювання пластина завантажується на графітовий диск. Продуктивність і якість графітового диска відіграють важливу роль у якості епітаксійного шару пластини. У сфері епітаксійного виробництва потрібна велика кількість графіту надвисокої чистоти та основи графіту високої чистоти з SIC-покриттям.
Графітова основа нашої компанії для напівпровідникової епітаксії має широкий спектр застосувань, може відповідати більшості обладнання, що зазвичай використовується в промисловості, і має високу чистоту, рівномірне покриття, відмінний термін служби, а також високу хімічну стійкість і термічну стабільність.
03 Графітові аксесуари для іонної імплантації
Іонна імплантація стосується процесу прискорення плазмового пучка бору, фосфору та миш’яку до певної енергії з подальшим введенням його в поверхневий шар матеріалу пластини для зміни властивостей матеріалу поверхневого шару. Компоненти пристрою для іонної імплантації повинні бути виготовлені з матеріалів високої чистоти з відмінною термостійкістю, теплопровідністю, меншою корозією, викликаною іонним променем, і низьким вмістом домішок. Графіт високої чистоти відповідає вимогам застосування та може бути використаний для польотної труби, різних щілин, електродів, кришок електродів, каналів, обмежувачів пучка тощо обладнання для іонної імплантації.
Ми можемо не тільки забезпечити графітове екранування для різних машин для іонної імплантації, але й надати графітові електроди високої чистоти та джерела іонів з високою корозійною стійкістю різних специфікацій. Застосовні моделі: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM та інше обладнання. Крім того, ми також можемо надати відповідні вироби з кераміки, вольфраму, молібдену, алюмінію та деталі з покриттям.
04 Графітові ізоляційні матеріали та ін
Теплоізоляційні матеріали, що використовуються в обладнанні для виробництва напівпровідників, включають графітовий твердий фетр, м’який фетр, графітову фольгу, графітовий папір і графітовий трос.
Вся наша сировина — це імпортований графіт, який можна розрізати відповідно до конкретних розмірів вимог замовника або продати цілком.
Карбон-вуглецевий лоток використовується як носій для плівкового покриття в процесі виробництва сонячних монокристалічних кремнієвих і полікристалічних кремнієвих елементів. Принцип роботи такий: вставте силіконовий чіп у лоток із CFC і відправте його в трубу печі для обробки плівкового покриття.
