Vet-Chinaكرېمنىي كاربىد ساپال بۇيۇملىرىسىرلاش ئىنتايىن قاتتىق ۋە ئۇپراشقا چىداملىق يۇقىرى ئىقتىدارلىق قوغداش قەۋىتىكرېمنىي كاربون (SiC)ئەلا خىمىيىلىك چىرىشكە قارشى تۇرۇش ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى بىلەن تەمىنلەيدىغان ماتېرىيال. بۇ ئالاھىدىلىكلەر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا ئىنتايىن مۇھىم ، شۇڭاكرېمنىي كاربون ساپال قەۋىتىيېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ مۇھىم زاپچاسلىرىدا كەڭ قوللىنىلىدۇ.
ۋېت-جۇڭگونىڭ كونكرېت رولىكرېمنىي كاربىد ساپال بۇيۇملىرىيېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى سىر تۆۋەندىكىچە:
ئۈسكۈنىلەرنىڭ چىدامچانلىقىنى ئاشۇرۇش:كرېمنىي كاربون ساپال ساپال كرېمنىي كاربون ساپال قەۋىتى ئىنتايىن قاتتىقلىقى ۋە ئۇپراشقا چىدامچانلىقى بىلەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىنى يەر يۈزىنى قوغداش بىلەن تەمىنلەيدۇ. بولۇپمۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە چىرىتىشچانلىقى يۇقىرى بولغان مۇھىت مۇھىتىدا ، مەسىلەن خىمىيىلىك ھور چۆكۈش (CVD) ۋە پلازما قېتىش قاتارلىقلار ، سىرلاش ئۈسكۈنىلەرنىڭ يۈزىنىڭ خىمىيىلىك چىرىش ياكى جىسمانى جەھەتتىن ئۇپراشنىڭ بۇزۇلۇشىنىڭ ئالدىنى ئالالايدۇ ، بۇ ئارقىلىق خىزمەت ئۆمرىنى كۆرۈنەرلىك ئۇزارتىدۇ. ئۈسكۈنىلەر ۋە دائىم ئالماشتۇرۇش ۋە رېمونت قىلىش سەۋەبىدىن كېلىپ چىققان چۈشۈش ۋاقتىنى قىسقارتىش.
جەرياننىڭ ساپلىقىنى ئاشۇرۇش:يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ، كىچىككىنە بۇلغىنىش مەھسۇلاتنىڭ كەمتۈكلىكىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. كرېمنىي كاربون كاربون ساپال قەۋىتىنىڭ خىمىيىلىك ئىنېرتسىيەسى ئۇنى پەۋقۇلئاددە شارائىتتا تۇراقلىق ھالەتكە كەلتۈرۈپ ، ماتېرىيالنىڭ زەررىچە ياكى بۇلغانمىلارنى قويۇپ بېرىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ ، بۇ ئارقىلىق مۇھىتنىڭ ساپلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇ PECVD ۋە ئىئون كۆچۈرۈش قاتارلىق يۇقىرى ئېنىقلىق ۋە يۇقىرى پاكىزلىقنى تەلەپ قىلىدىغان ئىشلەپچىقىرىش باسقۇچلىرى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
ئىسسىقلىق باشقۇرۇشنى ئەلالاشتۇرۇش:يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ پىششىقلاپ ئىشلەشتە ، مەسىلەن تېز ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىش (RTP) ۋە ئوكسىدلىنىش جەريانى ، كرېمنىي كاربون كاربون ساپال قەۋىتىنىڭ يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ئۈسكۈنىنىڭ ئىچىدە بىردەك تېمپېراتۇرا تارقىتىدۇ. بۇ تېمپېراتۇرىنىڭ داۋالغۇشىدىن كېلىپ چىققان ئىسسىقلىق بېسىمى ۋە ماددىنىڭ ئۆزگىرىشىنى ئازايتىشقا ياردەم بېرىدۇ ، بۇ ئارقىلىق مەھسۇلات ئىشلەپچىقىرىشنىڭ توغرىلىقى ۋە ئىزچىللىقىنى ئۆستۈرىدۇ.
مۇرەككەپ جەريان مۇھىتىنى قوللاش:مۇرەككەپ ئاتموسفېرا كونترول قىلىشنى تەلەپ قىلىدىغان جەريانلاردا ، مەسىلەن ICP قىرىش ۋە PSS قىرىش جەريانى ، كرېمنىي كاربون ساپال قەۋىتىنىڭ مۇقىملىقى ۋە ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئۇزۇن مۇددەتلىك مەشغۇلاتتا مۇقىم ئىقتىدارنى ساقلىشىغا كاپالەتلىك قىلىپ ، ماددىنىڭ بۇزۇلۇش ياكى ئۈسكۈنىلەرنىڭ بۇزۇلۇش خەۋىپىنى تۆۋەنلىتىدۇ. مۇھىت ئۆزگىرىشى.
CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC نىڭ ئاساسلىق فىزىكىلىق خۇسۇسىيىتىسىر | |
性质 / مۈلۈك | 典型数值 / تىپىك قىممەت |
晶体结构 / خرۇستال قۇرۇلما | FCC β باسقۇچى多晶,主要为(111 )取向 |
密度 / زىچلىقى | 3.21 g / cm³ |
硬度 / قاتتىقلىق | 2500 维氏硬度( 500g يۈك) |
晶粒大小 / Grain SiZe | 2 ~ 10μm |
纯度 / خىمىيىلىك ساپلىق | 99.99995% |
热容 / ئىسسىقلىق ئىقتىدارى | 640 J · kg-1· K.-1 |
升华温度 / Sublimation Temperature | 2700 ℃ |
抗弯强度 / ئەۋرىشىم كۈچ | 415 MPa RT 4-نومۇر |
杨氏模量 / Young 's Modulus | 430 Gpa 4pt ئەگمە ، 1300 ℃ |
导热系数 / Thermalئۆتكۈزۈشچانلىقى | 300W · m-1· K.-1 |
热膨胀系数 / ئىسسىقلىق كېڭەيتىش (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
زاۋۇتىمىزنى زىيارەت قىلىشىڭىزنى قىزغىن قارشى ئالىمىز ، داۋاملىق مۇلاھىزە قىلايلى!