نېپىزلەش كېرەك؟

ئارقا باسقۇچ باسقۇچىدا ،wafer (كرېمنىيلىق ۋافېرئالدى توك يولى بىلەن) كېيىنكى بوياش ، كەپشەرلەش ۋە ئوراشتىن بۇرۇن كەينىگە نېپىزلەپ ، ئورالمىنىڭ ئورنىتىش ئېگىزلىكىنى تۆۋەنلىتىش ، ئۆزەك ئورالمىسىنىڭ ئاۋازىنى تۆۋەنلىتىش ، ئۆزەكنىڭ ئىسسىقلىق تارقىتىش ئۈنۈمى ، ئېلېكتر ئىقتىدارى ، مېخانىكىلىق خۇسۇسىيىتىنى ياخشىلاش ۋە مىقدارىنى ئازايتىش كېرەك. dicing. ئارقىنى ئۇۋىلاش يۇقىرى ئۈنۈم ۋە تۆۋەن تەننەرخ ئەۋزەللىكىگە ئىگە. ئۇ ئەنئەنىۋى ھۆل تەمرەتكە ۋە ئىئون قىرىش جەريانىنىڭ ئورنىنى ئېلىپ ، ئەڭ مۇھىم بەلنى شالاڭلىتىش تېخنىكىسىغا ئايلاندى.

نېپىز ۋافېر

نېپىز؟

ئەنئەنىۋى ئورالما جەريانىدىكى ۋافېر شالاڭلىشىشنىڭ ئاساسلىق جەريانى

كونكرېت قەدەم باسقۇچلىرىwaferنېپىزلىتىش بىر تەرەپ قىلىنىدىغان ۋافېرنى نېپىز پەردىگە باغلاپ ، ئاندىن ۋاكۇئۇم ئىشلىتىپ نېپىز پەردە ۋە ئۇنىڭدىكى ئۆزەكنى تۆشۈك ساپال ساپال ئۈستەلگە توغرىلاپ ، خىزمەت يۈزىنىڭ ئىچكى ۋە تاشقى ئايلانما كېمە مەركىزى لىنىيىسىنى تەڭشەيدۇ. ئىستاكان شەكىللىك ئالماس ئۇلاش چاقى كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ مەركىزىگە كېلىدۇ ، كرېمنىيلىق ۋافېر ۋە ئۇلاش چاقى ئۆز ئوقىنىڭ ئەتراپىدا ئايلىنىدۇ. ئۇۋىلاش ئۈچ باسقۇچنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ: يىرىك ئۇۋىلاش ، ئىنچىكە ئۇۋىلاش ۋە سىلىقلاش.

ۋافېر زاۋۇتىدىن چىقىدىغان ۋافېر ئارقا-ئارقىدىن ئېلىنىپ ، ئورالما قاچىلىنىشقا ئېھتىياجلىق قېلىنلىقتا نېپىز بولىدۇ. ۋاگوننى ئۇۋۇلىغاندا ، توك يولى رايونىنى قوغداش ئۈچۈن ئالدى (ئاكتىپ رايون) غا لېنتا ئىشلىتىش كېرەك ، ئارقا تەرىپى بىرلا ۋاقىتتا يەر. ئۇۋۇلاپ بولغاندىن كېيىن ، لېنتىنى ئېلىۋېتىپ ، قېلىنلىقىنى ئۆلچەڭ.
كرېمنىيلىق ۋافېر تەييارلىقىغا مۇۋەپپەقىيەتلىك قوللىنىلغان ئۇۋىلاش جەريانى ئايلانما ئۈستەل ئۇۋىلاشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.كرېمنىيلىق ۋافېرئايلانما ئۇۋىلاش ، قوش يۈزلۈك ئۇۋلاش قاتارلىقلار يەككە خرۇستال كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ يەر يۈزى سۈپىتىنىڭ تەلىپىنىڭ يەنىمۇ يۇقىرى كۆتۈرۈلۈشىگە ئەگىشىپ ، يېڭى گىرىم قىلىش تېخنىكىسى توختىماي ئوتتۇرىغا قويۇلدى ، مەسىلەن TAIKO ئۇۋىلاش ، خىمىيىلىك مېخانىكىلىق ئۇۋىلاش ، سىلىقلاش ئۇلاش ۋە سەييارە دىسكا ئۇۋىلاش.

ئايلانما ئۈستەل ئۇۋلاش:

ئايلانما ئۈستەل ئۇۋىلاش (ئايلانما ئۈستەل ئۇۋىلاش) كرېمنىيلىق ۋافېر تەييارلاش ۋە دۈمبە شالاڭلىتىشتا ئىشلىتىلىدىغان بالدۇر ئۇۋىلاش جەريانى. ئۇنىڭ پرىنسىپى 1-رەسىمدە كۆرسىتىلدى. كرېمنىيلىق ۋافېر ئايلانما ئۈستەلنىڭ سۈمۈرگۈچ ئىستاكانلىرىغا مۇقىملاشتۇرۇلغان بولۇپ ، ئايلانما ئۈستەل تەرىپىدىن ماس قەدەمدە ئايلىنىدۇ. كرېمنىيلىق ۋافېرلارنىڭ ئۆز ئوقى ئەتراپىدا ئايلانمايدۇ سۈرتۈش چاقى يۇقىرى سۈرئەتتە ئايلىنىۋاتقاندا ئوق بىلەن ئوزۇقلىنىدۇ ، ئۇلاش چاقىنىڭ دىئامېتىرى كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ دىئامېتىرىدىن چوڭ. ئايلانما ئۈستەلنى ئۇۋىلاشنىڭ ئىككى خىل شەكلى بار: يۈزنى ئۇۋىلاش ۋە يۈزنى ئۇۋىلاش. يۈز قىسقۇچنى ئۇۋىلاشتا ، چاقنىڭ چاقىنىڭ كەڭلىكى كرېمنىيلىق ۋافېر دىئامېتىرىدىن چوڭ بولىدۇ ، ھەمدە چاق چاق چاقى ئايلانما ئۈستەل يۆنىلىشىدە ئۇدا ئوزۇقلىنىدۇ ، ئارتۇقچە پىششىقلاپ ئىشلەنگەنگە قەدەر ، ئاندىن كرېمنىيلىق ۋاگون ئايلانما ئۈستەلنىڭ قوزغاتقۇچ ئاستىدا ئايلىنىدۇ. چىراي شەكىللىك ئۇۋىلاشتا ، ئىتتىرىش چاقى ئوق يۆنىلىشى بويىچە ئوزۇقلىنىدۇ ، كرېمنىيلىق ۋافېر ئايلانما دىسكىنىڭ قوزغاتقۇچ ئاستىدا ئۇدا ئايلىنىدۇ ، ئۇلاش ئۆز-ئارا بېقىش (ئۆز-ئارا) ياكى سىيرىلما ئوزۇقلاندۇرۇش (سىيرىلما) ئارقىلىق تاماملىنىدۇ.

1-رەسىم ، ئايلانما جەدۋەلنى ئۇۋۇلاش (يۈز شەكلى) پرىنسىپىنىڭ سىخېما دىئاگراممىسى

ئۇۋىلاش ئۇسۇلىغا سېلىشتۇرغاندا ، ئايلانما ئۈستەل ئۇۋىلاشنىڭ چىقىرىۋېتىش نىسبىتى يۇقىرى ، يەر يۈزىنىڭ بۇزۇلۇشى ۋە ئاسان ئاپتوماتلاشتۇرۇش ئەۋزەللىكى بار. قانداقلا بولمىسۇن ، ئۇۋاقلاش جەريانىدىكى ئەمەلىي ئۇۋىلاش رايونى (ئاكتىپ ئۇۋىلاش) B ۋە كېسىش بۇلۇڭى θ (ئۇلاش چاقىنىڭ سىرتقى چەمبىرىكى بىلەن كرېمنىي ۋافېرنىڭ سىرتقى چەمبىرىكى ئوتتۇرىسىدىكى بۇلۇڭ) كېسىش ئورنىنىڭ ئۆزگىرىشى بىلەن ئۆزگىرىدۇ. سۈرتۈش چاقىنىڭ تۇراقسىز تارتىش كۈچى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ ، كۆڭۈلدىكىدەك يەر يۈزىنىڭ توغرىلىقىغا (يۇقىرى TTV قىممىتى) ئېرىشىشنى قىيىنلاشتۇرۇۋېتىدۇ ھەمدە ئاسانلا قىرغاقنىڭ يىمىرىلىشى ۋە قىرنىڭ يىمىرىلىشى قاتارلىق كەمتۈكلۈكلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ئايلانما ئۈستەل ئۇۋىلاش تېخنىكىسى ئاساسلىقى 200 مىللىمېتىردىن تۆۋەن يەككە كىرىستال كرېمنىيلىق ۋافېرنى پىششىقلاپ ئىشلەشكە ئىشلىتىلىدۇ. يەككە خرۇستال كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ چوڭ-كىچىكلىكىنىڭ ئېشىشى ئۈسكۈنىلەر خىزمەت پونكىتىنىڭ يەر يۈزىنىڭ توغرىلىقى ۋە ھەرىكەت توغرىلىقىغا تېخىمۇ يۇقىرى تەلەپ قويدى ، شۇڭا ئايلانما ئۈستەلنى ئۇۋىلاش 300 مىللىمېتىردىن يۇقىرى يەككە كىرىستال كرېمنىيلىق ۋافېرنى ئۇۋىلاشقا ماس كەلمەيدۇ.
ئۇۋىلاش ئۈنۈمىنى يۇقىرى كۆتۈرۈش ئۈچۈن ، سودا ئايروپىلانى شەكىللىك ئۇۋلاش ئۈسكۈنىسى ئادەتتە كۆپ چاقلىق چاق قۇرۇلمىسىنى قوللىنىدۇ. مەسىلەن ، ئۈسكۈنىلەرگە بىر يۈرۈش يىرىك ئۇلاش چاقى ۋە بىر يۈرۈش ئىنچىكە ئۇلاش چاقى ئورنىتىلغان ، ئايلانما ئۈستەل بىر چەمبەرنى ئايلاندۇرۇپ يىرىك ئۇۋىلاش ۋە ئىنچىكە ئۇۋىلاشنى ئۆز نۆۋىتىدە تاماملايدۇ. بۇ خىل ئۈسكۈنىلەر ئامېرىكا GTI شىركىتىنىڭ G-500DS نى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ (2-رەسىم).

2-رەسىم ، ئامېرىكىدىكى GTI شىركىتىنىڭ G-500DS ئايلانما ئۈستەل ئۇلاش ئۈسكۈنىسى

كرېمنىيلىق ۋافېر ئايلىنىش:

چوڭ رازمېرلىق كرېمنىيلىق ۋافېر تەييارلاش ۋە كەينى شالاڭ پىششىقلاپ ئىشلەش ئېھتىياجىنى قاندۇرۇش ۋە ياخشى TTV قىممىتى بىلەن يەر يۈزىنىڭ توغرىلىقىغا ئېرىشىش ئۈچۈن. 1988-يىلى ، ياپونىيە ئالىمى ماتسۈي كرېمنىيلىق ۋافېر ئايلىنىش ئۇۋىلاش (يەم-خەشەكتە) ئۇسۇلىنى ئوتتۇرىغا قويدى. ئۇنىڭ پرىنسىپى 3-رەسىمدە كۆرسىتىلدى. خىزمەت كارىدورىغا چاپلانغان يەككە خرۇستال كرېمنىيلىق ۋافېر ۋە ئىستاكان شەكىللىك ئالماس ئۇلاش چاقى ئۆز ئوقىنىڭ ئەتراپىدا ئايلىنىدۇ ، ئۇلاش چاقى بىرلا ۋاقىتتا ئوق يۆنىلىشى بويىچە ئۇدا ئوزۇقلىنىدۇ. بۇنىڭ ئىچىدە ، چاقنىڭ چاقىنىڭ دىئامېتىرى پىششىقلاپ ئىشلەنگەن كرېمنىي ۋافېرنىڭ دىئامېتىرىدىن چوڭ ، ئۇنىڭ ئايلانمىسى كرېمنىي ۋافېرنىڭ مەركىزىدىن ئۆتىدۇ. ئۇۋۇلاش كۈچىنى تۆۋەنلىتىش ۋە تارتىش كۈچىنى ئازايتىش ئۈچۈن ، ۋاكۇئۇم سۈمۈرگۈچ ئىستاكان ئادەتتە ئەگمە شەكىللىك ياكى ئەگمە شەكىلدە قىسقارتىلىدۇ ياكى ئۇۋىلاش چاقى ئايلانمىسى بىلەن سۈمۈرگۈچ لوڭقىسى ئايلانما ئوقى ئوتتۇرىسىدىكى بۇلۇڭ تەڭشەلگەن بولۇپ ، ئارىلىقتىكى يېرىم ئالاقىلىشىشكە كاپالەتلىك قىلىدۇ. چاق ۋە چاقلىق ئورۇندۇق.

3-رەسىم ، كرېمنىيلىق ۋافېر ئايلانما ئۇۋىلاش پرىنسىپىنىڭ سىخېما دىئاگراممىسى

ئايلانما ئۈستەل ئۇۋىلاشقا سېلىشتۇرغاندا ، كرېمنىيلىق ۋافېرلىق ئايلانما ئۇۋىلاشنىڭ تۆۋەندىكىدەك ئەۋزەللىكى بار: ① يەككە تاق يەككە ئۇۋىلاش ماشىنىسى 300 مىللىمېتىردىن ئاشىدىغان چوڭ تىپتىكى كرېمنىيلىق ۋافېرلارنى بىر تەرەپ قىلالايدۇ. Actual ئەمەلىي ئۇۋىلاش رايونى B ۋە كېسىش بۇلۇڭى constant تۇراقلىق ، تارتىش كۈچى بىر قەدەر تۇراقلىق. چاق ئۇلاش چاقى بىلەن كرېمنىيلىق ۋاف ئوق ئارىلىقىدىكى يانتۇ بۇلۇڭنى تەڭشەش ئارقىلىق ، يەككە خرۇستال كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ سىرتقى شەكلىنى ئاكتىپ كونترول قىلىپ ، تېخىمۇ ياخشى بولغان يەر شەكلىنىڭ توغرىلىقىغا ئېرىشكىلى بولىدۇ. ئۇنىڭدىن باشقا ، كرېمنىيلىق ۋافېرلىق ئايلانما ئۇۋىلاشنىڭ ئۇلاش رايونى ۋە كېسىش بۇلۇڭىمۇ چوڭ گىرۋەك ئۇۋىلاش ، تورنىڭ قېلىنلىقى ۋە يەر يۈزىنىڭ سۈپىتىنى بايقاش ۋە كونترول قىلىش ، ئىخچام ئۈسكۈنىلەرنىڭ قۇرۇلمىسى ، كۆپ بېكەتلىك توپلاشتۇرۇلغان ئۇلاش ۋە يۇقىرى ئۇلاش ئۈنۈمى قاتارلىق ئەۋزەللىككە ئىگە.
ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى يۇقىرى كۆتۈرۈش ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىنىڭ ئېھتىياجىنى قاندۇرۇش ئۈچۈن ، كرېمنىيلىق ۋافېر ئايلانما ئۇۋىلاش پرىنسىپىغا ئاساسەن سودا ئۇۋىلاش ئۈسكۈنىلىرى كۆپ ئايلانما كۆپ بېكەتلىك قۇرۇلمىنى قوللىنىدۇ ، بۇ يۈك قاچىلاش ۋە چۈشۈرۈشتە يىرىك ئۇۋىلاش ۋە ئىنچىكە ئۇۋىلاشنى تاماملىيالايدۇ. . ئۇ باشقا ياردەمچى ئەسلىھەلەر بىلەن بىرلەشتۈرۈلۈپ ، يەككە خرۇستال كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ «قۇرۇتۇش / قۇرۇتۇش» ۋە «كاسساغا كاسسات» نى پۈتۈنلەي ئاپتوماتىك ئۇۋىلاشنى ئەمەلگە ئاشۇرالايدۇ.

قوش يۈزلۈك ئۇۋلاش:

كرېمنىيلىق ۋافېرلىق ئايلانما ئۇۋىلاش كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ ئۈستۈنكى ۋە تۆۋەنكى يۈزىنى بىر تەرەپ قىلغاندا ، ئەسەرنى ئايلاندۇرۇپ باسقۇچلۇق ئېلىپ بېرىشقا توغرا كېلىدۇ ، بۇ ئۈنۈمنى چەكلەيدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، كرېمنىيلىق ۋافېرلىق ئايلانما ئۇۋىلاشتا يەر يۈزىدە خاتالىق (كۆچۈرۈلگەن) ۋە ئۇۋىلاش بەلگىسى بار (ئۇلاش بەلگىسى) بار ، سىم كېسىلگەندىن كېيىن يەككە خرۇستال كرېمنىي ۋافېر يۈزىدىكى دولقۇن ۋە لېنتا قاتارلىق كەمتۈكلۈكلەرنى ئۈنۈملۈك يوقىتىش مۇمكىن ئەمەس. . ئىككى تەرىپىگە سىممېترىك تارقىتىلغان بولۇپ ، ساقلاپ قېلىش ھالقىسىدىكى يەككە خرۇستال كرېمنىيلىق ۋافېرنى قىسىپ ، غالتەك بىلەن ئاستا-ئاستا ئايلىنىدۇ. بىر جۈپ ئىستاكان شەكىللىك ئالماس ئۇلاش چاقى يەككە خرۇستال كرېمنىي ۋافېرنىڭ ئىككى تەرىپىگە بىر قەدەر جايلاشقان. ھاۋا ئېقىمى توكلۇق ئايلانما ھەرىكەتلەندۈرگۈچ كۈچنىڭ تۈرتكىسىدە ئۇلار قارشى يۆنىلىشتە ئايلىنىدۇ ۋە ئوق بىلەن ئوزۇقلىنىدۇ ، يەككە خرۇستال كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ قوش يۆنىلىشلىك ئۇلىنىشى ئەمەلگە ئاشىدۇ. رەسىمدىن كۆرۈۋېلىشقا بولىدۇكى ، قوش يۈزلۈك ئۇلاش سىم كېسىلگەندىن كېيىن يەككە خرۇستال كرېمنىي ۋافېر يۈزىدىكى دولقۇن ۋە لېنتىنى ئۈنۈملۈك چىقىرىپ تاشلايدۇ. چاقلىق چاق ئوقىنىڭ ئورۇنلاشتۇرۇش يۆنىلىشىگە ئاساسەن ، قوش يۈزلۈك ئۇدۇل توغرىسىغا ۋە تىك بولىدۇ. بۇنىڭ ئىچىدە ، گورىزونتال قوش يۈزلۈك ئۇۋىلاش كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ ئۆلۈك ئېغىرلىقى كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان كرېمنىيلىق ۋافېر شەكلىنىڭ شەكىللىنىش ئۈنۈمىنى ئۈنۈملۈك تۆۋەنلىتىدۇ ، يەككە كىرىستال كرېمنىينىڭ ئىككى تەرىپىدىكى ئۇۋىلاش جەريانىنىڭ شارائىتىغا كاپالەتلىك قىلىش ئاسان. ۋافېر ئوخشاش ، سۈركىلىشچان زەررىچىلەر ۋە ئۇلاش ئۆزىكى يەككە خرۇستال كرېمنىيلىق ۋافېر يۈزىدە قېلىش ئاسان ئەمەس. بۇ بىر قەدەر كۆڭۈلدىكىدەك ئۇۋىلاش ئۇسۇلى.

4-رەسىم ، «خاتالىق كۆپەيتىلگەن» ۋە كرېمنىيلىق ۋافېر ئايلىنىش سۈركىلىشتە بەلگە كەمتۈكلۈكلىرى

5-رەسىم ، قوش يۆنىلىشلىك گىرىم قىلىش پىرىنسىپى

1-جەدۋەلدە يۇقارقى ئۈچ خىل يەككە كىرىستال كرېمنىي ۋافېرنىڭ ئۇلاش ۋە قوش يۈزلۈك ئۇۋىلاش ئوتتۇرىسىدىكى سېلىشتۇرما كۆرسىتىلدى. قوش يۈزلۈك ئۇۋىلاش ئاساسلىقى 200 مىللىمېتىردىن تۆۋەن كرېمنىيلىق ۋافېر پىششىقلاپ ئىشلەشكە ئىشلىتىلىدۇ ، ھەمدە ۋافېرنىڭ مەھسۇلات مىقدارى يۇقىرى. مۇقىم سۈركىلىشچان چاق ئۇلاش چاقى ئىشلىتىلگەنلىكتىن ، يەككە خرۇستال كرېمنىيلىق ۋافوننىڭ ئۇلىنىشى يەر يۈزى سۈپىتىگە قوش يۈزلۈك ئۇۋىلاشتىن كۆپ يۇقىرى بولىدۇ. شۇڭلاشقا ، كرېمنىيلىق ۋافېرلىق ئايلانما ئۇۋىلاش ۋە قوش يۈزلۈك ئۇۋىلاش ئاساسىي ئېقىندىكى 300 مىللىمېتىرلىق كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ پىششىقلاپ ئىشلەش سۈپىتىگە ماسلىشالايدۇ ، نۆۋەتتە ئەڭ مۇھىم تەكشى تۈزەش ئۇسۇلى. كرېمنىيلىق ۋافېر تەكشى پىششىقلاپ ئىشلەش ئۇسۇلىنى تاللىغاندا ، يەككە كرىستال كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ دىئامېتىرى چوڭلۇقى ، يەر يۈزى سۈپىتى ۋە سىلىقلاش ۋافېر پىششىقلاش تېخنىكىسىنىڭ تەلىپىنى ئەتراپلىق ئويلىشىش كېرەك. ۋافېرنىڭ ئارقا شالاڭلىشىشى پەقەت بىر تەرەپلىمە پىششىقلاپ ئىشلەش ئۇسۇلىنى تاللىيالايدۇ ، مەسىلەن كرېمنىيلىق ۋافېر ئايلانما ئۇۋىلاش ئۇسۇلى.

كرېمنىيلىق ۋافېر ئۇۋىلاشتا ئۇۋىلاش ئۇسۇلىنى تاللىغاندىن باشقا ، يەنە ئاكتىپ بېسىم ، چاق دانچىسى چوڭ-كىچىكلىكى ، چاق ئۇلىغۇچ ، چاقنىڭ چاق سۈرئىتى ، كرېمنىيلىق ۋافېر سۈرئىتى ، سۇيۇقلۇقنىڭ يېپىشقاقلىقى قاتارلىق مۇۋاپىق جەريان پارامېتىرلىرىنى تاللاش كېرەك. ئېقىش نىسبىتى قاتارلىقلار ھەمدە مۇۋاپىق جەريان يولىنى بەلگىلەيدۇ. ئادەتتە ، يىرىك ئۇۋىلاش ، يېرىم پىششىقلاپ ئىشلەش ، تۈگمە تۈگۈش ، ئۇچقۇنسىز ئۇۋىلاش ۋە ئاستا يۆلەش قاتارلىق بۆلەكلەرگە بۆلۈپ ئۇۋىلاش جەريانى يۇقىرى پىششىقلاپ ئىشلەش ئۈنۈمى ، يەر يۈزى تەكشىلىكى ۋە يەر يۈزىنىڭ بۇزۇلۇشى تۆۋەن بولغان يەككە كىرىستال كرېمنىيلىق ۋافېرغا ئېرىشىدۇ.